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氟化物氣體應用:二氟硅烷(專業(yè)版)

2024-11-17 05:32上一頁面

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【正文】 英文名二氟二氫硅;Difluorosilane.含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料氣。長時間放置時緩慢分解,但比SiHF3分解速度
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