【正文】 其中，英國的 BAE系統(tǒng)公司和韓國大田電子信息研究所與美國 Colorado大學和Nuvotronics公司開展了相關(guān)合作。但他們大都是近年來新開展的此項研究，目前還處于理論設(shè)計與仿真分析 及單項加工工藝實驗階段。 RF MEMS 開關(guān)的主要性能參數(shù)包括驅(qū)動電壓、插入損 耗、隔離度等，理想的開關(guān)具有極低驅(qū)動電壓、零插入損耗、無限大的隔離度。 表 1 各類 RF MEMS 器件及其應用方向和優(yōu)勢特點 目前， RF MEMS 領(lǐng)域的技術(shù)引領(lǐng)者主要是美國、日本及歐洲一些高科技企業(yè)，研究機構(gòu)主要有 HRL Laboratories、 LLC、 Royal Society of Chemistry、 Texas Instruments、 University of Michigan Ann Arbor、 UC Berkeley、 Northeastern University、 MIT Lincoln、 Analog Devices、 Raytheon、 Motorola等，主要供貨商包括 Avago、 Infineon、 Radent MEMS、 XCOM Wireless、 Panasonic MEW、WiSpry、 Epcos（ NXP Semiconductor）、 RFMD、 DelfMEMS、 OMRON、 Advantest、Toshiba、 MEMTronics、 SiTime、 Discera Silicon Clocks 等。它具有小型化、低功耗、低成本、集成化等方面的優(yōu)勢，逐漸廣泛應用于軍民各領(lǐng)域，包括： ① 個人通訊，如移動電話、 PDA（ Personal Digital Assistant）、便攜式計算機的數(shù)據(jù)交換； ② 車載、機載、船載收發(fā)機和衛(wèi)星通信終端、 GPS 接收機等； ③ 信息化作戰(zhàn)指揮、戰(zhàn)場通信、微型化衛(wèi)星通信系統(tǒng)、相控陣雷達等?；?MEMS 技術(shù)的可變電容、電感可以用于構(gòu)建可重構(gòu)濾波器、可重構(gòu)網(wǎng)絡(luò)等，對于實現(xiàn)可重構(gòu)射頻微波前端模塊具有重要的意義。 民用市場的射頻微波濾波器主要以 SAW、 BAW濾波器以及近年來的 FBAR濾波器為主， SAW濾波器主要供應商有日本 EPCOS、村田制作所、富士通MediaDevice、歐姆龍、 MUTATA 公司及國內(nèi)的中電 55所、中電 26所等。 20xx年，美國 Nuvotronics公司展示了其最新的 Ka頻段功率放大器及 10層以上工藝制造的天線模塊，如圖 8（ c）所示。 ④ 集成化程度進一步提高，例如各類無源器件（低損微型傳輸線、濾波器、移相器、功分器 、耦合器、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)、天線等）的單片集成，無源器件與射頻微波前段有源低噪聲放大芯片的異質(zhì)集成等。 圖 9 基于 RF MEMS 技術(shù)的高性能射頻前端模塊和子系統(tǒng) 20xx年，美國 Colorado大學的 Cullens E D 等人研制的基于 MEMS 技術(shù)的集成頻率掃描狹縫波導陣列，工作頻率為 130GHz~180GHz，整個頻率范圍內(nèi)的掃描角為 176。 微型同軸結(jié)構(gòu) 基于 RF MEMS 技術(shù)的全金屬微型同軸結(jié)構(gòu)， 可以構(gòu)建多種高性能的射頻微波器件和前端子系統(tǒng)，如功率調(diào)制器、耦合器、功分器、高性能濾波器、高功率天線陣列等。目前商業(yè)化的 MEMS 開關(guān)產(chǎn)品比較見表 2。未來，全