【正文】 通過上述分析，本項(xiàng)目的廠址選擇，從環(huán)保角度而言是合理的。（5）伴生、次生污染的預(yù)防危險(xiǎn)化學(xué)品庫(kù)房須按照《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》、《常用化學(xué)危險(xiǎn)品儲(chǔ)存通則》等國(guó)家安全標(biāo)準(zhǔn)的要求，按照?；凡煌再|(zhì)、滅火方法等進(jìn)行嚴(yán)格的分區(qū)分類和分庫(kù)存放；同時(shí)，廠房、庫(kù)房建（構(gòu)）筑物的結(jié)構(gòu)形式以及選用的建筑材料，應(yīng)符合相應(yīng)等級(jí)防火、防爆要求；發(fā)生事故時(shí)，及時(shí)將周邊具有危險(xiǎn)特性的化學(xué)品轉(zhuǎn)移。如果泄漏物具有易燃易爆性，事故中心區(qū)域應(yīng)嚴(yán)禁火種，同時(shí)采取切斷電源、禁止車輛進(jìn)入、立即在邊界設(shè)置警戒線。使用點(diǎn)設(shè)有局部排風(fēng)，保證室內(nèi)良好的工作環(huán)境，化學(xué)藥品設(shè)專人保管。因此待項(xiàng)目建成后，其周圍噪聲能夠達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求。6 環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評(píng)價(jià) 大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)與評(píng)價(jià)(a) 大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀（1）監(jiān)測(cè)布點(diǎn)、監(jiān)測(cè)項(xiàng)目在以建設(shè)項(xiàng)目所在地為中心的評(píng)價(jià)范圍內(nèi)，按環(huán)境功能區(qū)與主導(dǎo)風(fēng)向相結(jié)合的布點(diǎn)原則，共布設(shè)3個(gè)大氣監(jiān)測(cè)點(diǎn)，監(jiān)測(cè)點(diǎn)位、監(jiān)測(cè)項(xiàng)目及所屬功能區(qū)見表1。b、特種氣體三氯硅烷、磷化氫、乙硼烷、氯化氫存于進(jìn)口鋼瓶柜，氫氣、氮?dú)?、高純氮由大宗氣體供應(yīng)商在廠區(qū)內(nèi)建站制造，這些氣體通過氣體管道、分配閥供給，使用量相對(duì)較少，不與人體和環(huán)境接觸，具有泄漏警報(bào)裝置。表42 環(huán)保投資清單污染源環(huán)保設(shè)施名稱環(huán)保投資（萬(wàn)元）效 果進(jìn) 度廢 水廢水處理系統(tǒng)100達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求主體工程同時(shí)建成廢 氣有機(jī)廢氣吸附系統(tǒng)200達(dá)標(biāo)排放酸堿廢氣洗滌系統(tǒng)特種廢氣洗滌系統(tǒng)設(shè)備自帶噪 聲隔聲、采用低噪設(shè)備、防震基礎(chǔ)等100廠界達(dá)標(biāo)固體廢物外委處理、堆放場(chǎng)地10零排放綠化樹木、草坪等150%分析監(jiān)測(cè)水質(zhì)檢測(cè)儀器、設(shè)備4滿足有關(guān)要求與廢水處理設(shè)施同步排污口整治流量計(jì)、COD在線監(jiān)測(cè)儀、排污口標(biāo)志4與廢水、廢氣等處理設(shè)施同步管網(wǎng)建設(shè)生產(chǎn)廢水管網(wǎng)8與廠區(qū)基建同步合 計(jì)576表43 “三同時(shí)”驗(yàn)收表序號(hào)名 稱驗(yàn)收內(nèi)容處理效果1水污染防治設(shè)施生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)廢水處理站經(jīng)過有效預(yù)處理后與生活污水進(jìn)入真州污水處理廠統(tǒng)一處理。車間人行道兩側(cè)采用側(cè)柏、小葉黃楊等綠籬進(jìn)行綠化，亦可設(shè)置條帶花池，種植季節(jié)性花卉。發(fā)揮常綠與落葉之所長(zhǎng)，結(jié)合它們的高矮尺度合理組合。其中廢有機(jī)溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿、含氟污泥屬于危險(xiǎn)廢物，應(yīng)按照危險(xiǎn)廢物處置的有關(guān)規(guī)定，委托具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行無(wú)害化處理。真州污水處理廠尾水處理達(dá)到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB189182002)中的一級(jí)B標(biāo)準(zhǔn)后排入長(zhǎng)江儀征段。在反應(yīng)槽中投加NaOH（或Ca(OH)2）、H2SO4使廢水pH值調(diào)節(jié)為69。濕式外延清洗器設(shè)有手動(dòng)的旋轉(zhuǎn)刮板裝置，用于清理尾氣入氣口處的附著物粘附在入氣口的管壁造成堵塞；并采用氮?dú)饷芊庋b置，將入氣口清理裝置的尾氣與外界隔離，確保沒有尾氣泄漏；通過水流量表和調(diào)節(jié)閥，用于水流量調(diào)節(jié)，以滿足使用；采用不銹鋼做骨架，增加強(qiáng)度和仿腐蝕能力；其他均采用透明PVC材料，抗腐蝕和阻燃能力強(qiáng)，同時(shí)還便于觀測(cè)內(nèi)部的工作狀況；設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔、防爆、可靠性高。表311 擬建項(xiàng)目噪聲產(chǎn)生及排放情況序號(hào)設(shè)備名稱等效聲級(jí)dB（A）所在車間工段離最近廠界距離m治理措施降噪效果1冷凍機(jī)75~85綜合動(dòng)力站49選用技術(shù)新、低噪聲設(shè)備；采用隔聲、減震、降噪等措施；廠區(qū)內(nèi)綠化廠界噪聲達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB1234890)中的3類標(biāo)準(zhǔn)的要求2冷卻塔70~75拋光片、外延片車間703廢氣塔85~90拋光片、外延片車間684空調(diào)機(jī)組70~75拋光片、外延片車間615水泵70~75綜合動(dòng)力站906空壓機(jī)80~85綜合動(dòng)力站497鍋爐風(fēng)機(jī)80~85綜合動(dòng)力站908真空泵80~85綜合動(dòng)力站49對(duì)噪聲采取的主要防治措施為：選用技術(shù)先進(jìn)低噪聲的設(shè)備、對(duì)設(shè)備進(jìn)行隔聲減震、消聲吸聲等措施，使廠界噪聲達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB1234890)中的3類標(biāo)準(zhǔn)的要求。清潔排水通過雨水管網(wǎng)排入附近河流。此處產(chǎn)生硫酸霧和廢硫酸。腐蝕A/B：經(jīng)切片及研磨等機(jī)械加工后，晶片表面受加工應(yīng)力而形成的損傷層，通常采用化學(xué)腐蝕去除。研磨：用磨片劑除去切片和輪磨所造的鋸痕及表面損傷層，有效改善單晶硅片的曲度、平坦度與平行度，達(dá)到一個(gè)拋光過程可以處理的規(guī)格。設(shè)施主要包括供水系統(tǒng)、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、變配電系統(tǒng)、應(yīng)急電源、通信信息及生命安全系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、制冷及供熱系統(tǒng)、環(huán)保設(shè)施（廢水處理站、廢氣處理設(shè)施）、消防設(shè)施、勞動(dòng)保護(hù)安全設(shè)施以及室外工程等。通過環(huán)境影響評(píng)價(jià)，了解建設(shè)項(xiàng)目周圍的環(huán)境狀況，預(yù)測(cè)建成后對(duì)周圍水氣聲環(huán)境的影響程度和范圍，并提出防治污染措施，減緩建設(shè)項(xiàng)目對(duì)周圍環(huán)境的影響，為建成后的環(huán)境管理提供科學(xué)依據(jù)。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。此工序產(chǎn)生氯化氫和廢鹽酸。有99% 的SiHClPHB2H6參加反應(yīng)。(d) 純水制備項(xiàng)目設(shè)有一套超純水制備設(shè)施，其制備能力為110t/h，產(chǎn)生的濃水和反沖洗水642t/d作為清下水排放，其超純水制備工藝流程如下：自來(lái)水加絮凝劑原水箱原水泵機(jī)械過濾器活性炭吸附器熱交換器5μ保安過濾Ⅰ級(jí)高壓泵器Ⅰ級(jí)RO裝置器Ⅱ級(jí)高壓泵器Ⅱ級(jí)RO裝置器真空脫氣裝置中間水箱中間水泵EDI裝置氮封純水箱純水泵拋光樹脂床TOC殺菌器器超過濾器器生產(chǎn)工藝用水水箱水泵循環(huán)冷卻系統(tǒng)器冷卻器圖35 超純水制備工藝流程圖清洗裝置清洗裝置pH調(diào)節(jié)加阻垢劑(e) 排水項(xiàng)目采用雨污分流、清污分流的排水體制。建設(shè)項(xiàng)目水污染物的三本帳見表310。凈化后的廢氣通過排氣筒排入大氣。沉淀池污泥經(jīng)污泥濃縮，用污泥泵送至污泥脫水機(jī)干化后運(yùn)至指定地點(diǎn)填埋。真州污水處理廠服務(wù)范圍主要包括儀征主城區(qū)、汽車工業(yè)園、揚(yáng)州化學(xué)工業(yè)園（管道路以東）、儀征經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)（包括船舶工業(yè)園）等范圍。本項(xiàng)目根據(jù)各種固體廢物的產(chǎn)生來(lái)源、組成及性質(zhì)，對(duì)照《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》，將固體廢物分為危險(xiǎn)廢物和一般固體廢物。在配置中要綜合考慮整體中各樹木的平、立面關(guān)系，不同高度的樹木做到錯(cuò)落有致。主干道可以選用棕櫚、櫸樹、香樟等為骨干，輔之以女貞、廣玉蘭等常綠喬木。（4）固體廢物貯存（處置）場(chǎng)所規(guī)范化設(shè)置露天貯存工業(yè)固體廢物的，應(yīng)當(dāng)設(shè)置專用的貯存設(shè)施或堆放場(chǎng)地；并根據(jù)實(shí)際情況采取苫布遮蓋或適時(shí)灑水等，以防二次揚(yáng)塵污染。(a) 生產(chǎn)工藝與設(shè)備a、本項(xiàng)目為單晶硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)。（4）項(xiàng)目產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物全部委托處理，普通固廢最大限度的利用，各種固體廢物取向明確。 地表水環(huán)境影響預(yù)測(cè)正常排放：建設(shè)項(xiàng)目廢水經(jīng)預(yù)處理后排入真州污水處理廠處理，最終達(dá)標(biāo)排入長(zhǎng)江儀征段，在正常情況下，不會(huì)對(duì)長(zhǎng)江儀征段水質(zhì)產(chǎn)生大的影響。廠區(qū)設(shè)置環(huán)行通道，建筑物間距滿足規(guī)劃要求，保持充分緩沖空間和人物隔離距離。緊急停車的命令由現(xiàn)場(chǎng)指揮員下達(dá)，操作班人員執(zhí)行停止生產(chǎn)作業(yè)，保安人員負(fù)責(zé)災(zāi)區(qū)四周戒備和非應(yīng)變?nèi)藛T引導(dǎo)。廢棄處理：將收集的泄漏物運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。本項(xiàng)目的生產(chǎn)廢水經(jīng)過廠內(nèi)的廢水處理設(shè)施處理達(dá)到接管標(biāo)準(zhǔn)后與生活污水進(jìn)入真州污水處理廠做深度處理，處理達(dá)標(biāo)后排入長(zhǎng)江儀征段。12 綜合結(jié)論本項(xiàng)目符合國(guó)家相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策，符合當(dāng)?shù)乜傮w規(guī)劃和環(huán)境保護(hù)規(guī)劃的要求，廠址選擇環(huán)境合理。環(huán)境的應(yīng)急監(jiān)測(cè)由專業(yè)的環(huán)境監(jiān)測(cè)人員進(jìn)行，對(duì)事故現(xiàn)場(chǎng)污染物在下風(fēng)向的擴(kuò)散不斷進(jìn)行偵查監(jiān)測(cè)，配合相關(guān)的專業(yè)人士對(duì)事故的性質(zhì)、參數(shù)和后果作出正確的評(píng)估，為指揮部門提供決策的依據(jù)。立即在事故影響區(qū)域的邊界設(shè)置警戒線。（6）火災(zāi)的防范設(shè)有一套完整的火災(zāi)報(bào)警、消防聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)及消防滅火系統(tǒng)是重大的安全措施。 總量控制指標(biāo)根據(jù)工程分析核算結(jié)果，結(jié)合總量控制的基本原則和要求，該項(xiàng)目廢水污染物排放的總量進(jìn)行統(tǒng)一申報(bào)。 地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)及評(píng)價(jià)(a) 地表水環(huán)境質(zhì)量（1）斷面和監(jiān)測(cè)點(diǎn)布設(shè)斷面監(jiān)測(cè)點(diǎn)布設(shè)為：長(zhǎng)江斷面為每斷面布設(shè)3個(gè)測(cè)點(diǎn)，分別離北岸50m、100m、250m。(b) 單位產(chǎn)品的物耗和排放項(xiàng)目生產(chǎn)單位產(chǎn)品的能耗、物耗和單位產(chǎn)物量見表51。3噪聲污染防治措施選用低噪聲設(shè)備，并按照工業(yè)設(shè)備安裝的有關(guān)要求安裝。并布置花壇、花架，種植四時(shí)花草，沿步行小道兩側(cè)設(shè)植綠籬，花卉在整個(gè)廠區(qū)中的應(yīng)用不如樹木和草坪那樣廣泛，只是做重點(diǎn)裝飾的材料，但在辦公生活區(qū)布置比重應(yīng)大一些。（4）草地的配置廠區(qū)綠化中鋪植草坪是一項(xiàng)重要的、具有普遍意義的綠化項(xiàng)目。 非正常排放防范措施（1）對(duì)廢水處理裝置進(jìn)水水質(zhì)進(jìn)行常規(guī)監(jiān)測(cè)，及時(shí)調(diào)整運(yùn)行參數(shù)，確保穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。建設(shè)項(xiàng)目在污水收集范圍之內(nèi)。④一般廢水一般廢水來(lái)自拋光片的最后一道清洗和外延片的第一道清洗水，此類廢水較為清潔，直接排至混合廢水調(diào)節(jié)池中，與其他廢水一起處理。只要加強(qiáng)管理、嚴(yán)格按照廢氣治理措施進(jìn)行運(yùn)營(yíng)，本項(xiàng)目中產(chǎn)生的廢氣污染物在滿足達(dá)標(biāo)排放的前提下，會(huì)盡可能的減少向周圍環(huán)境的排放量，使其對(duì)大氣環(huán)境的影響得到合理的控制與減緩。表317 項(xiàng)目固體廢物產(chǎn)生及排放情況序號(hào)名稱分類編號(hào)產(chǎn)生量（t/a）形狀處置方式1廢有機(jī)溶劑S5HW42液委托有資質(zhì)的單位處理2廢硫酸SS1S20HW1730液3廢氫氟酸SSS1S1S2S24HW1796液4廢鹽酸SS1S21HW1720液5廢混酸S1S26HW17300液6廢堿液S12HW17111液7廢活性炭HW062固8含氟污泥HW32620固9廢氨水SS1S20188固由相應(yīng)的單位回收利用或處置10廢研磨劑141液11廢拋光劑170液12單晶硅渣71固13廢石墨固14廢石英固15廢品125固16生活垃圾固按環(huán)衛(wèi)部門要求處理合計(jì)4 污染防治措施 大氣污染防治措施評(píng)述(a) 大氣污染源根據(jù)工程分析，擬建項(xiàng)目的主要大氣污染源有：?jiǎn)尉Ч钂伖馄谱鳟a(chǎn)生的甲苯、異丙醇、HF、HCl、硫酸霧、NHNOx；硅外延片制作產(chǎn)生的硫酸霧、NHHCl、SiHCl3和微量的PHB2H6；外延爐的石英管清洗產(chǎn)生HF、NOx。一定的壓力下，碳分子篩對(duì)空氣中的氧的吸附遠(yuǎn)大于氮，因此通過可編程序控制氣動(dòng)閥的啟閉，A、B兩塔可以交替循環(huán)，加壓吸附、減壓脫附，完成氧氮分離，得到所需純度的氮?dú)?。此處?huì)產(chǎn)生一些廢品。分檔監(jiān)測(cè)：對(duì)硅片進(jìn)行損傷檢測(cè)，存在損傷的硅片重新進(jìn)行腐蝕。此工序產(chǎn)生有機(jī)廢氣和廢有機(jī)溶劑。供汽為了滿足生產(chǎn)中對(duì)熱源的需要和冬天采暖，本項(xiàng)目年消耗蒸汽量為的10萬(wàn)噸，有開發(fā)區(qū)的供氣管網(wǎng)提供。按照《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》、《中華人民共和國(guó)環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》和《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》的有關(guān)規(guī)定，應(yīng)當(dāng)在工程項(xiàng)目可行性研究階段對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋，產(chǎn)生廢水和硅渣。APM清洗： APM溶液由一定比例的NH4OH溶液、H2O2溶液組成，硅片表面由于H2O2氧化作用生成氧化膜（約6nm呈親水性），該氧化膜又被NH4OH腐蝕，腐蝕后立即又發(fā)生氧化，氧化和腐蝕反復(fù)進(jìn)行，因此附著在硅片表面的顆粒和金屬也隨腐蝕層而落入清洗液內(nèi)。包裝：將單晶硅拋光片進(jìn)行包裝。表35 主要設(shè)備清單類型設(shè)備名稱規(guī)格型號(hào)數(shù)量（臺(tái)、套）產(chǎn)地生產(chǎn)拋光機(jī)SILTEC 99美國(guó)雙面拋光機(jī)SPEEDFAM10美國(guó)拋光機(jī)STRASBAUGH10美國(guó)內(nèi)圓切片機(jī)QP－613ID SAWER10美國(guó)磨片機(jī)OKAMOTO12日本雙工位熱氧化爐Oxidation Furnace3美國(guó)全自動(dòng)硅片清洗機(jī)DNS4美國(guó)生產(chǎn)清洗機(jī)Verteq Cobra2美國(guó)清洗機(jī)AKRION2美國(guó)外延爐ASMEPSilon20006美國(guó)外延爐Epipro50006美國(guó)尾氣處理器DAS Epitaxy Scrubber2德國(guó)外延膜測(cè)厚儀ECO/RS2美國(guó)電阻測(cè)試儀RESMAP1782美國(guó)表面顆粒度檢測(cè)儀WITSCR822美國(guó)干涉顯微鏡M