led廠房的消防設(shè)計(jì)(專業(yè)版)
【正文】 因此：MOCVD設(shè)備間距3300mmMOCVD設(shè)備對(duì)工程的設(shè)計(jì)要求（設(shè)備廠家提供的技術(shù)規(guī)格書等）；Veeco K465MOCVD設(shè)備有害氣體泄露計(jì)算（設(shè)備的透視圖紙等）；MOCVD設(shè)備適用的規(guī)范條款，對(duì)規(guī)范條款的理解（1）關(guān)于MOCVD工藝間是否采取防爆泄爆措施的規(guī)范《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB504722008 附錄B“半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的外延間、化學(xué)氣相沉積間、清洗間、液晶顯示器件工廠的CVD間，房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸汽報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí)，應(yīng)按丙類設(shè)防。MOCVD設(shè)備是用來(lái)生長(zhǎng)半導(dǎo)體材料的重要設(shè)備，氣體通道都使用高質(zhì)量的不銹鋼材料制成，管道全部采用焊接或VCR方式連接，以確保管道和腔體具有相當(dāng)良好的氣密性，氣體泄漏的可能性極??；同時(shí)，MOCVD在現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)實(shí)施嚴(yán)格的氣密性檢查，確保設(shè)備系統(tǒng)的氣密性能?！薄峨娮庸I(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB
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