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微電子工藝面試問(wèn)答(專(zhuān)業(yè)版)

  

【正文】 ——?硅片的流程????——drain加工作電壓 source接地,測(cè)Ids好像 到一個(gè)值了就是VT。所以你在使用MOS管的時(shí)候,一定要看該型號(hào)MOS的DATASHEET,才能用好。EPI外延 PR光刻 CMP化學(xué)機(jī)械拋光 DIF擴(kuò)散 ETCH刻蝕 CVD化學(xué)氣象沉積l
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