【正文】 應(yīng)用於半導(dǎo)體 CDR生產(chǎn)設(shè)備。 在裝置設(shè)計(jì)階段，可同時(shí)使用 仿真軟體作電機(jī)品的選定，不 必等到實(shí)機(jī)測試。 伺服系統(tǒng)、位置決定控制的基礎(chǔ)： 單位： Pulse； mm； inch； degree 例）指令脈波頻率？ 〔 定位模組 〕 ?馬達(dá) 1回轉(zhuǎn)所需脈波數(shù) Pulse ?馬連 1回轉(zhuǎn)移動量 mm AMP電子齒輪比 ?電子齒輪比分子 ?電子齒輪比分母 速 度 控 制 模 式 AC伺服馬達(dá)與其它一般的可變速裝置： (變頻器、直流馬達(dá)、渦電流繼手形可 變速馬達(dá)等 )一樣，運(yùn)轉(zhuǎn)速度可變換。 位置控制單元 ：編碼器脈波信號 187。 停電再復(fù)電後不需再做原點(diǎn)復(fù)歸。 ，無法動態(tài)剎車。 〔 迴轉(zhuǎn)子：線圈；固定子：永久磁鐵；整流子：磁刷 〕 SM 同 步 形 伺 服 馬 達(dá) ※ 特長優(yōu)點(diǎn)： 。 。 。 構(gòu)造 價(jià)格 構(gòu)造簡單、且便宜。 速度控制單元 ：編碼器脈波信號 187。其特長： 、停止機(jī)能： 加減速時(shí)產(chǎn)生的衝擊，加速及減速的變動率。且不用依賴 感覺及經(jīng)驗(yàn)仍可進(jìn)行。 ?半導(dǎo)體製程中，洗淨(jìng)設(shè)備機(jī)械。 半 導(dǎo) 體 業(yè) 界 Ⅰ ?利用自轉(zhuǎn)特性，當(dāng)化學(xué)液體滴下時(shí)，利用 離心力原理依旋轉(zhuǎn)速度將液體，平均塗布 在圓盤表面。 時(shí)間的損耗大 既有之選定方法 於設(shè)計(jì)階段，模擬機(jī)械系、電 機(jī)品及運(yùn)轉(zhuǎn)模式，可獲得其特 性與性能並確認(rèn)之。 ?機(jī)械系統(tǒng)的間隙問題，機(jī)械精度。 伺 服 控 制 回 路 的 組 成 SERVO內(nèi)部信號流程圖 ： 依回饋方式可分為三種： ：編碼器脈波信號 187。 停止時(shí)的對應(yīng) 停電中孌動位置時(shí)，需於復(fù)電後重新做原點(diǎn)復(fù)歸。 DC形構(gòu)造複雜。 〔 迴轉(zhuǎn)子、固定子皆為線圈 〕 ： 直流伺服馬達(dá)，有碳刷運(yùn)轉(zhuǎn)磨耗所產(chǎn)生粉塵的問 題，於無塵要求的場所就不宜使用，以小容量為 主。 ，大轉(zhuǎn)矩。 MOTOR必需 1： 1 使用。 構(gòu)造複雜、且昂貴。 電流控制單元 ※ 各控制回路的響應(yīng)速度依序?yàn)椋弘娏? 187。 ： 從低速至高速之間的控制範(fàn)圍 (1： 1000 ~ 5000)速度控制範(fàn)圍內(nèi)、定轉(zhuǎn)矩 特性。 開發(fā)效率大幅提升 仿真軟體方式 由電腦作 最適調(diào)整 機(jī)械仿真軟體 (2) 指令系情報(bào)輸入 模擬結(jié)果 輸入機(jī)械系情報(bào) 亦可從機(jī)械分析 輸入 由電腦作 最適調(diào)整 通信介面 ?RS232C之場合 ?RS422之場合 (最大至 32軸 ) RS232C/RS422 轉(zhuǎn)換模組 擴(kuò)充性 由 J2至 J2Super 之變更內(nèi)容總結(jié) ?驅(qū)動器的演算處理高速化 應(yīng)答頻率 250Hz→550Hz ?使用更加方便 自動調(diào)諧機(jī)能提升 共振濾波器及適應(yīng)制振控制 增益搜尋、機(jī)械分析及仿真機(jī)能 顯示 LED 4位 → 5位 ?擴(kuò)充性 SSCNET對應(yīng)、 RS232C、 RS422 ?高解析度編碼器的標(biāo)準(zhǔn)化 13bit(8192)， 14bit(16384)→17bit(131072) ?耐環(huán)境性提升 馬達(dá)保護(hù) 小容量等級 IP44→IP55 耐振動性 小容量 2G→5G ?使用更加方便 高慣性馬達(dá) HCKFS系列 操作說明 驅(qū)動系種類 自動調(diào)諧機(jī)能 G ain調(diào)整功能Pr .2的設(shè)定負(fù)荷慣性矩比的推定自動設(shè)定的參數(shù) 使用者可調(diào)整的參數(shù)自動調(diào)諧模式1 010□ 常時(shí)推定PG 1( P r .6) , G D2 (P r .34)PG 2(Pr .35), V G 1( P r .36)VG 2( P r .37) ,VIC (P r .38)Pr .2的應(yīng)答性設(shè)定自動調(diào)諧模式2 020□PG 1( P r .6) ,P G 2( Pr .35 )VG 1( P r .36) ,V G 2( P r .37)VIC (P r .38)G D2 (P r .34)Pr .2的應(yīng)答性設(shè)定手動模式1 030□PG 2( P r .35)VG 1( P r .36)PG 1( P r .6) , G D2 (P r .34)VG 2( P r .37) ,VIC (P r .38)手動模式2 040□Pr .34值固定PG 1( P r .6) , G D2 (P r .34)PG 2( P r .35) ,V G 1( P