關(guān)于電子探針x射線顯微分析(更新版)
【正文】 衍射角，記錄該點(diǎn)不同元素的 x射線 λ 和 I。 CoK?是 SK?的 3倍，根據(jù) SK?電壓脈沖信號(hào)設(shè)置窗口電壓，通過(guò)脈沖高度分析器排除 CoK?的脈沖，從而使譜中 nm處僅存在 SK?線。NaCl的掃描形貌像及其能量色散譜EDS 特點(diǎn)：n 分析速度 快n 分辨率較 低 ： 150eVn 峰背比小 譜峰寬、易重疊，背底扣除困難，數(shù)據(jù)處理復(fù)雜n 分析元素范圍： 11Na－ 92Un 進(jìn)行低倍掃描成像，大視域的元素分布圖。 測(cè)量精度高，多用于超輕元素 Z9測(cè)量。n 由莫塞萊定律可確定被測(cè)物質(zhì)所含元素 。工作原理n 某種元素的特征 x射線 強(qiáng)度 與該元素在樣品中的濃度成比例，測(cè)出 x射線 I，就可計(jì)算出該元素的 相對(duì)含量 。 工作原理n 具有足夠能量的細(xì)電子束轟擊試樣表面，激發(fā)特征 x射線，其波長(zhǎng)為：n λ 與樣品材料的 Z有關(guān)，測(cè)出 λ ，即可確定相應(yīng)元素的 Z 。n 連續(xù)改變 ?，在與 X射線入射方向呈 2 ?的位置 上測(cè)到不同波長(zhǎng)的特征 X射線信號(hào)。n 分辨率 高 ： 10eV 譜儀分辨率是指分開、識(shí)別相鄰兩個(gè)譜峰的能力。能量為 E的 X射線光子所激發(fā)的電子 –空穴對(duì)數(shù) N為 N＝ E／ ? 入射 X射線光子 E不同，激發(fā)的 N不同，探測(cè)器輸出電壓脈沖高度由 N決定。n SK?和 CoK?具有不同的能量，使探測(cè)器輸出不同電壓脈沖幅度。 每種元素選擇 一根 譜線與已知成分純?cè)?標(biāo)樣 的同根譜線進(jìn)行比較，確定元素含量。n 準(zhǔn)確顯示與基體成分不同的 夾雜物 的形狀，定性顯示元素 偏析 。（冶金、材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古等）應(yīng)用舉例n 組分不均勻合金試樣的微區(qū)成分分析n 擴(kuò)散對(duì)試樣中成分梯度的測(cè)定n 相圖低溫等溫截面的測(cè)定n 金屬／半導(dǎo)體界面反應(yīng)產(chǎn)物其它電子顯微鏡掃描隧道顯微鏡 (STM)n 主要用于表面原子成象（導(dǎo)體）n STM的橫向分辨率高達(dá) 1197
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