【正文】 直接排到污水處理站的酸堿混合池中和，廢有機(jī)溶劑年產(chǎn)量為2t/a，危險(xiǎn)廢物目前已與西安高科環(huán)保有限公司簽訂了危廢處置合同；廢舊塑料和廢包裝材料等一般固廢年產(chǎn)量為5t/a，全部回收利用，生活垃圾已與高新技術(shù)開發(fā)區(qū)公共事業(yè)服務(wù)中心簽訂合同。項(xiàng)目將產(chǎn)生的生產(chǎn)廢水收集后經(jīng)酸堿調(diào)解中和處理，絮凝沉淀后經(jīng)過石英砂、生物炭過濾處理后排入城市污水管網(wǎng)。2014年5月，西安市環(huán)境保護(hù)科學(xué)研究院出具了《特高壓大功率6英寸晶閘管產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表變更說明》，變更內(nèi)容為：原工藝廢氣中的酸性廢氣和堿性廢氣分別經(jīng)過酸、堿性排氣筒排放，變更為工藝廢氣中的酸堿廢氣經(jīng)過酸堿排氣筒排放。評價(jià)對建筑施工噪聲的污染防治提出要求，減小施工擾民現(xiàn)象的發(fā)生；對項(xiàng)目建成后對設(shè)備局部進(jìn)行減震降噪和隔聲處理，并將噪聲源空壓機(jī)安置于室內(nèi)，房間安裝雙層隔聲門窗，運(yùn)行時(shí)關(guān)閉門窗等實(shí)現(xiàn)環(huán)境噪聲達(dá)到GB123482008《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》2類區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)。依托中興、華為、酷派等重點(diǎn)企業(yè)，帶動(dòng)整合智能終端整機(jī)及零部件、芯片、系統(tǒng)和應(yīng)用軟件研發(fā)設(shè)計(jì)制造企業(yè)，打造千億規(guī)模智能終端產(chǎn)業(yè)集群。七、組織定員與生產(chǎn)制度項(xiàng)目原有員工381人，本次新增生產(chǎn)人員50人，企業(yè)實(shí)行單班工作制，年工作日220天，日工時(shí)8小時(shí)，全年生產(chǎn)1760h。職工食堂廢水經(jīng)隔油池處理后和生活污水一起排入化糞池處理，最終排入第二污水處理廠。表2產(chǎn)品方案序號產(chǎn)品名稱新增年產(chǎn)量（萬只）備注1普通元器件2第一階段2直流輸電用超大功率5英寸晶閘管3直流輸電用超大功率6英寸晶閘管14直流輸電用特大功率8英寸晶閘管5碳化硅器件第二階段表3第一階段工藝設(shè)備清單（新增）序號設(shè)備名用途描述設(shè)備型號數(shù)量（臺(tái)）1高溫離子注入機(jī)碳化硅或硅片摻雜IH－860DSIC12激光動(dòng)態(tài)成像機(jī)實(shí)時(shí)電子版激光曝光ALDISLS138英寸3層擴(kuò)散爐高溫?fù)诫s　/548英寸雙面曝光機(jī)規(guī)準(zhǔn)曝光　/358英寸單面曝光機(jī)精準(zhǔn)曝光　/26套刻測量儀光刻對準(zhǔn)檢查KLA510517PECVD結(jié)終端鈍化　/18LPCVD沉積膜THERMCO 510419快速退火爐SHS2800離子注入退火SHS2800110涂膠顯影軌道機(jī)勻膠顯影MKVZ211干法去膠機(jī)去除光刻膠MATTSONASPEN2ICP212箱式高真空退火爐摻雜或金屬層退火　/2138英寸腐蝕機(jī)濕法去膠、腐蝕　/6148英寸清洗機(jī)硅片清洗　/6158英寸甩干機(jī)清洗甩干SEMITOOL D800616電子束鍍膜機(jī)電極制備　/317擴(kuò)展電阻測試儀擴(kuò)散結(jié)果檢測　/118少子壽命分布測試儀少子壽命分布檢測ELYMAT119臺(tái)階測試儀腐蝕輪廓測試DECTEK120IGCT靜態(tài)態(tài)參數(shù)測試臺(tái)IGCT動(dòng)態(tài)參數(shù)測試　/121IGCT動(dòng)態(tài)參數(shù)測試臺(tái)IGCT動(dòng)態(tài)參數(shù)測試　/1228英寸靜態(tài)態(tài)參數(shù)測試臺(tái)7英寸晶閘管參數(shù)測試　/1238英寸動(dòng)態(tài)參數(shù)測試臺(tái)8英寸晶閘管參數(shù)測試　/1248英寸浪涌電流測試臺(tái)8英寸分立半導(dǎo)體器件　/1258英寸冷焊機(jī)8英寸晶閘管封裝　/126電子掃描顯微鏡芯片微觀檢查S4500127全自動(dòng)硅片清洗機(jī)硅片清洗　/528仿真設(shè)備和軟件研發(fā)SIVACO129碳化硅工藝管芯片高溫?fù)诫s　/10308英寸高溫片藍(lán)芯片加熱酸洗　/100318英寸碳化硅舟芯片高溫?fù)诫s　/50328英寸源管高溫預(yù)沉積　/20338英寸舟高溫?cái)U(kuò)散　/50348英寸工裝、模具等8英寸后道工藝　/　358英寸冷焊模具和測試卡具等8英寸封裝測試　/　表4第二階段工藝設(shè)備清單（新增）序號設(shè)備名用途描述設(shè)備型號數(shù)量(臺(tái))1濺射臺(tái)(AL/TI)/VARIAN329012APCVD WJ999(BPSG)/WJ99913雙面刷洗機(jī)/DNS60A14酸堿清洗臺(tái)（金屬、無金屬）/國內(nèi)定制26光刻機(jī)/ NikonI1015OX 刻蝕LAM4520/LAM452016刻蝕 LAM4420/LAM442017金屬刻蝕 LAM TCP9600SE/LAM TCP9600SE18紫外線固膠PCU200 POLO/PCU200 POLO19立式淀積爐SVG7000/SVG7000110臥式爐BDF41（柵氧）/BDF41111臥式爐BDF41（場氧）/BDF41112臥式爐BDF41（場氧）/BDF41113臥式爐TMX9K（回流）/TMX9K114缺陷掃描電鏡KLA2135/KLA2135115線寬掃描電鏡H8840/H8840116膜厚儀UV1050/UV1050217顆粒儀SFS6200/SFS6200118顯微鏡OPSTATION V/OPSTATION V219膜厚橢偏儀OP2600/OP2600120B/P含量測量儀ECO1000/ECO1000121CP探針臺(tái)amp。項(xiàng)目地理位置見附圖1。并在此基礎(chǔ)上研制SIC基PIN二極管、IGBT和晶閘管及其相關(guān)器件和技術(shù)，逐步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。結(jié)論與建議——給出本項(xiàng)目清潔生產(chǎn)、達(dá)標(biāo)排放和總量控制的分析結(jié)論，確定污染防治措施的有效性，說明本項(xiàng)目對環(huán)境造成的影響，給出建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境可行性的明確結(jié)論。項(xiàng)目名稱——指項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)時(shí)的名稱，應(yīng)不超過30個(gè)字（兩個(gè)英文字段作一個(gè)漢字）。審批意見——由負(fù)責(zé)審批該項(xiàng)目的環(huán)境保護(hù)行政主管部門批復(fù)。2016年9月，西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司正式委托陜西企科環(huán)境技術(shù)有限公司承擔(dān)本項(xiàng)目環(huán)境影響評價(jià)工作，并編制建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表。本項(xiàng)目四鄰關(guān)系圖見圖1。供電為市政供電項(xiàng)目辦公區(qū)采用空調(diào)供暖依托現(xiàn)有工程5環(huán)保工程廢水處理生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理后排入第二污水處理廠依托原有污水處理站，生活污水經(jīng)廠區(qū)現(xiàn)有化糞池處理后排入第二污水處理廠處理依托現(xiàn)有化糞池，現(xiàn)有規(guī)格為G36SF（6m3）的化糞池2座，水力停留時(shí)間為12小時(shí)， m3/d，可以滿足排放需求廢氣處理酸堿廢氣（氯化氫、硫酸霧、氟化物、氨氣）經(jīng)過酸堿中和箱反應(yīng)后，堿性廢氣被中和去除，酸性廢氣經(jīng)洗滌塔（氫氧化鈉）處理達(dá)標(biāo)后通過15m高排氣筒排放依托現(xiàn)有處理裝置及排氣筒（原有2套設(shè)備，1用1備）有機(jī)廢氣（非甲烷總烴）經(jīng)廢氣處理裝置活性炭吸附塔處理達(dá)標(biāo)后由15m高排氣筒集中排放依托原有處理裝置及排氣筒，本次改造新增一套設(shè)施備用油煙廢氣經(jīng)型號為LJPD130000的油煙凈化設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)排放利用現(xiàn)有職工食堂，餐飲規(guī)模滿足本項(xiàng)目新增工作人員噪聲控制選用低噪聲設(shè)備，其次采用消聲、隔聲、減振等措施依托現(xiàn)有廠房、隔聲窗固體廢物處置生活垃圾由區(qū)環(huán)衛(wèi)局統(tǒng)一運(yùn)至城市生活垃圾處理場處理，廢舊塑料和廢包裝材料等，由相關(guān)單位收集回收利用依托現(xiàn)在垃圾存放點(diǎn)危險(xiǎn)廢物廢酸排入廢水處理站酸堿中和池中和，產(chǎn)生的沉淀物與廢有機(jī)溶劑委托西安高科環(huán)保技術(shù)有限公司集中處置（委托協(xié)議見附件）廢有機(jī)溶劑用桶存儲(chǔ)，大約1噸的時(shí)候開始清運(yùn)四、原輔材料及能源消耗本項(xiàng)目主要原材料為單晶硅片、鉬園片、金屬陶瓷管等，其他輔助材料主要為氮?dú)?、硫酸、鹽酸、硝酸等。六、總平面布置現(xiàn)有項(xiàng)目占地75937m2，整個(gè)廠區(qū)主要分為辦公區(qū)、生產(chǎn)區(qū)、儲(chǔ)存區(qū)和公用工程。主城區(qū)將形成虛實(shí)相當(dāng)?shù)男【艑m格局，中心為唐長安城，發(fā)展成商貿(mào)旅游服務(wù)區(qū)；東部依托現(xiàn)狀發(fā)展成國防軍工產(chǎn)業(yè)區(qū)；東南部結(jié)合曲江新城和杜陵保護(hù)區(qū)，發(fā)展成旅游生態(tài)度假區(qū)；南部為文教科研區(qū)；西南部拓展成高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)；西部發(fā)展成居住和無污染產(chǎn)業(yè)的綜合新區(qū)；西北部為漢城遺址保護(hù)區(qū)；北部形成經(jīng)濟(jì)技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)；東北結(jié)合浐灞河道整治，建設(shè)成高尚住宅、旅游生態(tài)區(qū)。表7 項(xiàng)目與西安市環(huán)境保護(hù)“十三五”規(guī)劃的符合性規(guī)劃內(nèi)容本項(xiàng)目與規(guī)劃的關(guān)系符合性分析水二氧化硫、氮氧化物、化學(xué)需氧量、氨氮、揮發(fā)性有機(jī)物排放量較“十二五”末分別下降（由國家和省級下達(dá)后確定）。符合與西安高新區(qū)總體規(guī)劃相符性《西安高新區(qū)發(fā)展總體規(guī)劃（2011年2030年）》中指出：西安高新區(qū)將發(fā)展形成“一心、二軸、三帶、五區(qū)”的結(jié)構(gòu)模式，形成居住、商務(wù)、產(chǎn)業(yè)三大功能主體和13個(gè)功能組團(tuán)，面積將擴(kuò)展至200平方公里。氟化物、氯化氫、硫酸霧以及非甲烷總烴監(jiān)測結(jié)果均符合GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》新污染源大氣污染物排放限值中最高允許排放濃度限值及最高允許排放速率二級標(biāo)準(zhǔn)限值；氨氣監(jiān)測結(jié)果均符合GB145541993《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》排放標(biāo)準(zhǔn)值。COD、氟化物和氨氮滿足DB61/2242011《黃河流域（陜西段）污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級排放標(biāo)準(zhǔn)，pH滿足GB89781996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)要求，再經(jīng)污水管網(wǎng)送至西安市第二污水處理廠處理。2）、對現(xiàn)有污水處理站進(jìn)行局部改造，增加沉淀時(shí)間和距離，進(jìn)一步提高對含氟廢水的處理效果。全年常年出現(xiàn)厚度為300400m的逆溫，最厚達(dá)520m，冬季更為突出。園區(qū)緊鄰市內(nèi)交通干道二環(huán)路，距西安咸陽國際機(jī)場35km，距隴海鐵路西安客運(yùn)站僅十幾公里，距市中心5km。該項(xiàng)目位于西安高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新區(qū)內(nèi)，緊鄰丈八三路，處于高新新區(qū)的中心地帶。2016年9月21日~9月23日，西安普惠環(huán)境檢測技術(shù)有限公司對項(xiàng)目現(xiàn)有工程所在地進(jìn)行環(huán)境監(jiān)測。由上表知，監(jiān)測期間項(xiàng)目地上游、下游、項(xiàng)目所在地的地下水監(jiān)測數(shù)據(jù)均滿足《地下水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T1484893）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348－2008）中2類標(biāo)準(zhǔn)。光刻主要使用光刻膠、環(huán)氧乙烷、乙酸等；（5）光刻后腐蝕：采用氫氟酸、氟化銨和純水等；光刻腐蝕后去膠采用硫酸和純水等；（6）蒸發(fā)：在硅片表面上鍍一層金屬膜，合金后具有良好的歐姆接觸。高溫離子注入和高溫退火：離子注入的方法就是在真空中、低溫下，把雜質(zhì)離子加速，獲得很大動(dòng)能的雜質(zhì)離子即可以直接進(jìn)入半導(dǎo)體材料中；同時(shí)也會(huì)在半導(dǎo)體中產(chǎn)生一些晶格缺陷，因此在離子注入后需用低溫進(jìn)行退火或激光退火來消除這些缺陷。營運(yùn)期（1）生產(chǎn)廢水：主要由以下三部分組成。項(xiàng)目主要污染物產(chǎn)生及預(yù)計(jì)排放情況內(nèi)容類型排放源（編號）污染物名稱濃度及產(chǎn)生量（單位）排放濃度及排放量（單位）廢水污染物職工生活污水和車間生產(chǎn)廢水COD氨氮氟化物SS5mg/石油類動(dòng)植物油大氣污染物工藝廢氣氨氣氟化物92mg/m3 4048kg/a氯化氫硫酸霧非甲烷總烴食堂廢氣油煙固體廢物車間廢舊塑料和廢包裝材料車間廢有機(jī)溶劑 t/a車間廢酸 t/a廢水處理站廢生物炭 t/a t/a車間廢機(jī)油辦公樓和食堂生活垃圾 t/a t/a噪聲該項(xiàng)目的主要噪聲源是風(fēng)機(jī)、空調(diào)機(jī)組、冷卻循環(huán)泵和真空泵等設(shè)備，噪聲級均在85dB（A）以下，噪聲級不高。設(shè)備的安裝均在廠房內(nèi)，在廠房的隔音效果下，噪聲影響比較小。人計(jì)算，日用水量將增加約為4m3/d，年用水量將增加880m3/a；生產(chǎn)用水：冷卻循環(huán)補(bǔ)充水660m3/a，純水站用水約3300m3/a，酸堿廢氣洗滌塔用水約22 m3/a；本項(xiàng)目總用水量約4862 m3/a，全年排水量將增加3630m3/a。本項(xiàng)目所在地位于西安市錦業(yè)二路與丈八三路交匯處東北角，在西安市第二（北石橋）污水處理廠的收納范圍之內(nèi)，項(xiàng)目污水能進(jìn)入該污水廠進(jìn)行處理。（2）產(chǎn)生者在轉(zhuǎn)移危險(xiǎn)廢物前，須向當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)主管部門提出申請，得到批準(zhǔn)后領(lǐng)取《危險(xiǎn)廢物轉(zhuǎn)移聯(lián)單》、季報(bào)表并嚴(yán)格按要求填寫聯(lián)單，并按要求跨省運(yùn)輸應(yīng)向省環(huán)保廳申報(bào)批準(zhǔn)。本次評價(jià)對項(xiàng)目地上游、下游、項(xiàng)目地的地下水進(jìn)行了現(xiàn)狀監(jiān)測（普惠檢（綜）字（2015）第047號），監(jiān)測結(jié)果見表12，監(jiān)測結(jié)果表明項(xiàng)目地上游、下游、項(xiàng)目地的地下水均滿足《地下水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T1484893）Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。此外，對廠區(qū)空地和廠界周圍進(jìn)行綠化，種植樹木，也可有效降噪。四、固體廢物影響分析項(xiàng)目運(yùn)行后，固體廢棄物主要有以下幾類：（1）廢舊塑料和廢包裝材料等，由相關(guān)單位收集回收利用（2）廢腐蝕液、去膠液、顯影液等各類廢有機(jī)溶劑產(chǎn)生量約3t/a，廢酸直接排入酸堿中和池進(jìn)行中和， t/a，中和后的沉淀物和廢有機(jī)溶劑均為危險(xiǎn)廢物，應(yīng)全部分類集中收集，密閉陰涼通風(fēng)存放，并委托西安高科環(huán)保技術(shù)有限公司集中處置。為了明確各部門工作職責(zé)，應(yīng)制訂規(guī)章制度，使經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)保工作、清潔生產(chǎn)工作聯(lián)系起來，真正調(diào)動(dòng)車間治理污染、清除污染的積極性。給水管上設(shè)置水表，計(jì)量用水，節(jié)