【正文】 D（）ND（）ND（）μg/L≤鉻(六價)ND()ND()ND()mg/L≤總硬度98112108mg/L≤550鉛ND()ND()ND()μg/L≤氟化物mg/L≤鎘ND()ND()ND()μg/L≤鐵ND（）ND（）ND（）mg/L≤錳ND（）ND（）ND（）mg/L≤溶解性總固體372413398mg/L/高錳酸鹽指數(shù)mg/L≤總大腸菌群未檢出2未檢出個/L≤細菌總數(shù)345277個/100mL≤100備注本次監(jiān)測數(shù)據(jù)僅對本次采樣點位所采集樣品有效。表13項目廢水監(jiān)測結(jié)果表單位：mg/L（除pH）項目日期pH氟化物化學(xué)需氧量氨氮監(jiān)測結(jié)果表明，項目排水COD、氟化物和氨氮滿足滿足DB61/2242011《黃河流域（陜西段）污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級排放標(biāo)準(zhǔn)，pH 滿足GB89781996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)要求。污染物排放標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)廢氣執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297－1996）中的二級標(biāo)準(zhǔn)及《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB1455493）表2中的相關(guān)要求；職工餐廳油煙排放執(zhí)行GB184832001《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)（試行）》中型規(guī)模標(biāo)準(zhǔn)；廢水排放執(zhí)行《黃河流域（陜西段）污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB61/2242011）二級標(biāo)準(zhǔn)及《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB89781996）二級標(biāo)準(zhǔn)?？偭靠刂浦笜?biāo)按照《全國主要污染物排放總量控制計劃》，本工程執(zhí)行污染物排放總量控制因子為COD、氨氮，其排放總量控制指標(biāo)采用本項目完成后治理后的實際排放量。（1）硅片腐蝕：主要是使用硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水等對硅片進行清洗和腐蝕等表面處理；（2）清洗：清洗主要使用氨水、氫氟酸、鹽酸和純水等進行表面清潔處理；（3）擴散：主要是進行高溫摻雜制造PN結(jié)，三次擴散摻雜各不相同；（4）光刻：主要是制造圖形，來形成特殊的電結(jié)構(gòu)功能，三次光刻制造的圖形也不同。根據(jù)工藝流程要求，項目每道工序表面處理所使用的化學(xué)品全部為單獨密封槽存儲，定期補充。主要研究方案和技術(shù)路線如圖圖5所示。圖4 4HSiC SBD器件研究方案和技術(shù)路線圖5 4HSiC MOSFET器件的研究方案和技術(shù)路線主要污染工序：施工期本項目使用原有廠房進行技術(shù)升級改造，僅購置設(shè)備安裝，施工期影響較小。4. 固體廢棄物施工人員生活垃圾和廢棄設(shè)備包裝物。（1）生產(chǎn)廢氣：項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣主要有三類，分別如下。4. 固體廢棄物項目運行后，固體廢棄物主要有：（1）廢舊塑料和廢包裝材料等；（2）廢腐蝕液、去膠液等各類廢有機溶劑和廢酸；（3）污水處理站的生物炭；（4）廢機油；（5）生活垃圾。環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響分析本項目使用原有廠房進行技術(shù)升級改造，僅購置設(shè)備安裝，施工期影響較小。3. 噪聲設(shè)備安裝噪聲。營運期環(huán)境影響分析一、水環(huán)境影響分析地表水環(huán)境影響分析（1）本項目排水量及排水水質(zhì)本項目廢水來自生產(chǎn)廢水和生活污水，其中，生產(chǎn)廢水主要是元器件表面處理的清潔水、廢氣處理的酸堿水和純水制備酸堿水，主要污染因子為pH、化學(xué)需氧量、氟化物、氨氮和石油類。圖6廢水處理站工藝流程圖本項目將增加定員50人，按照生活用水量80L/d本項目廢水處理工藝不變，類比原有項目驗收監(jiān)測報告（陜環(huán)驗（表）字[2015]第006G號）和例行監(jiān)測報告（高環(huán)監(jiān)字（水）2016HJ321）污染物產(chǎn)生情況， mg/L， mg/L，；， ， mg/L，廢水處理后的水質(zhì)排放情況見表16。于2011年10月正式開工建設(shè)，2012年12月底建成投入試運行。地下水環(huán)境影響分析本項目用水來自市政供水，不抽取地下水，因此，對地下水水位、流場及水文不會產(chǎn)生影響。建設(shè)單位做好運行期危險廢物管理工作，可有效防止地下水污染，具體要求如下：（1）項目應(yīng)在項目審批登記時填寫《危險廢物申報登記表》，如在生產(chǎn)活動中產(chǎn)生變更（包括增減），應(yīng)到當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護行政管理部門辦理變更登記。（4）危險廢物的暫存設(shè)施應(yīng)設(shè)立危險廢物警告標(biāo)志，盛裝危險廢物的包裝容器應(yīng)張貼規(guī)范的危險廢物標(biāo)簽。（8）應(yīng)建立危險廢物倉庫檢查維護制度，定期檢查，發(fā)現(xiàn)墻體、地面等有損壞可能或異常，應(yīng)及時采取必要措施。所有工藝廢氣經(jīng)過處理后，主要污染物氯化氫、氟化物、硫酸霧、氨和非甲烷總烴的排放濃度類比原有項目《特高壓大功率6英寸晶閘管產(chǎn)業(yè)化項目》的例行監(jiān)測報告（高環(huán)監(jiān)字（氣）2016HJ325），、 mg/ mg/m3， kg/a、 kg/a、 kg/a、 kg/ kg/a，主要污染物氯化氫、氟化物、硫酸霧和非甲烷總烴的排放濃度均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB162971996）表2中的二級標(biāo)準(zhǔn)，氨的排放濃度符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB1455493）中的相關(guān)要求。針對主要噪聲源，對設(shè)備局部進行減震降噪和隔聲處理，并將噪聲源風(fēng)機安置于室內(nèi)，房間安裝雙層隔聲門窗，運行時關(guān)閉門窗，均可有效的隔聲。表19項目主要噪聲源及其治理措施噪聲源名稱數(shù)量（臺）安裝位置聲級dB(A)治理措施熱排風(fēng)風(fēng)機11建筑晶閘管工藝廠房廠房內(nèi)85基礎(chǔ)減振、隔聲、消聲有機廢氣風(fēng)機185基礎(chǔ)減振、隔聲、消聲空調(diào)機組185基礎(chǔ)減振、隔聲、消聲工藝真空泵270基礎(chǔ)減振、隔聲冷卻循環(huán)泵15建筑動力站廠房內(nèi)70基礎(chǔ)減振、隔聲（1）預(yù)測模式① 廠房內(nèi)設(shè)備對廠界噪聲預(yù)測根據(jù)《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則聲環(huán)境》（）推薦的室內(nèi)聲源的聲傳播模式，將室內(nèi)聲源等效為等效室外點聲源，據(jù)此，室內(nèi)聲源傳播衰減公式為：式中：——距離噪聲源rm處的聲壓級，dB（A）；——為距聲源中心r0處測的聲壓級，dB（A）；TL——墻壁隔聲量，本項目中取25dB（A）；——平均吸聲系數(shù)，；r——參考位置距噪聲源的距離，m；r0——墻外1m處至預(yù)測點的距離，參數(shù)距離為1m。表20廠界噪聲預(yù)測結(jié)果單位：dB（A）項目東廠界南廠界西廠界北廠界監(jiān)測點噪聲貢獻值晝背景值晝預(yù)測值晝標(biāo)準(zhǔn)值晝60由廠界噪聲預(yù)測結(jié)果可知，項目東、北廠界噪聲晝間預(yù)測值均符合《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB123482008）中2類標(biāo)準(zhǔn)，其中西、南廠界由于緊挨丈八三路和錦業(yè)二路，因車輛較多晝間噪聲背景值有所超標(biāo)，營運期對聲環(huán)境影響較小。(5)生活垃圾，生活垃圾的產(chǎn)生量類比原有項目《特高壓大功率6英寸晶閘管產(chǎn)業(yè)化項目》。（1）建立和完善清潔生產(chǎn)制度由于清潔生產(chǎn)的全過程的污染控制，涉及到各個部門，因此必須由企業(yè)主要負責(zé)人全面負責(zé)，長抓不懈，并由負責(zé)人出面，按照分工負責(zé)原則，確定各職能部門的職責(zé)和責(zé)任人員。降低原料及能源的耗用量。④供水系統(tǒng)采用防滲、防漏措施，采用節(jié)水閥門，采取措施避免跑冒滴漏現(xiàn)象；采用節(jié)水型衛(wèi)生器具，節(jié)約用水；提高水的循環(huán)和回收利用，工藝設(shè)備的冷卻水均循環(huán)重復(fù)使用，其重復(fù)率可達98％。表23環(huán)保投資概算序號污染源環(huán)保設(shè)施數(shù)量投資（萬元）1.廢水改造處理站含氟廢水處理設(shè)施，增加延長沉淀時間和距離設(shè)備1套2.廢氣有機排風(fēng)系統(tǒng)（包括管路等）1套油煙凈化器1套3噪聲低噪設(shè)備、基礎(chǔ)減振等若干合計八、項目竣工環(huán)保驗收管理（1）驗收范圍：環(huán)評報告表、批復(fù)文件和有關(guān)設(shè)計文件規(guī)定應(yīng)采取的各項環(huán)保治理設(shè)施與措施。環(huán)境管理建立擬建工程車間環(huán)境保護措施與治理設(shè)施、環(huán)境管理規(guī)章制度、環(huán)境風(fēng)險應(yīng)急預(yù)案等建設(shè)項目擬采取的防治措施及預(yù)期治理效果內(nèi)容類型排放源（編號）污染物名稱防治措施預(yù)期治理效果廢水污染物研發(fā)中心等生活污水和車間工藝廢水COD工藝廢水經(jīng)污水處理站處理，食堂廢水經(jīng)隔油池處理后，與生活污水經(jīng)化糞池處理后集中排入市政污水管網(wǎng)COD、氟化物和氨氮滿足DB61/2242011《黃河流域（陜西段）污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級排放標(biāo)準(zhǔn)，pH滿足GB89781996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)要求氨氮氟化物大氣污染物工藝廢氣氨氣經(jīng)過前級酸堿中和處理箱處理后，排至現(xiàn)有酸堿廢氣處理塔處理后通過高度15m的排氣筒集中排放氯化氫、氟化物、硫酸霧和非甲烷總烴的排放濃度達到《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB162971996）表2中的二級標(biāo)準(zhǔn)，氨的排放濃度達到《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB1455493）中的相關(guān)要求氟化物氯化氫硫酸霧非甲烷總烴全部收集后經(jīng)活性炭吸附塔處理后通過高度15m的排氣筒集中排放食堂廢氣油煙通過油煙凈化裝置處理后經(jīng)排氣筒排放達到食堂油煙執(zhí)行GB184832001《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)》中的排放標(biāo)準(zhǔn)固體廢物車間廢舊塑料和廢包裝材料全部回收利用全部綜合利。營運期環(huán)保竣工驗收建議清單見表24。環(huán)評要求：嚴格按照清潔生產(chǎn)措施要求，不斷改進現(xiàn)有的原料、設(shè)備、工藝，企業(yè)通過不斷的創(chuàng)新、技術(shù)改造，提高清潔生產(chǎn)水平。嚴格實行固廢分類存放制度，將現(xiàn)場產(chǎn)生的可回收固廢最大限度的收集，全部送相應(yīng)的回收單位進行回收，提高固廢的資源化利用率。（2）清潔生產(chǎn)措施及反饋意見為更好的執(zhí)行清潔生產(chǎn)方針，建設(shè)方應(yīng)按照以下提出的清潔生產(chǎn)措施，使其滿足清潔生產(chǎn)相關(guān)要求。表21固體廢物產(chǎn)生量及利用處置方式序號固廢名稱產(chǎn)生工序?qū)傩詮U物代碼產(chǎn)生量（t/a）利用處置方式是否符合環(huán)保要求1生活垃圾生活、辦公固態(tài)/垃圾填埋場衛(wèi)生填埋是2廢舊塑料和廢包裝材料倉庫固態(tài)/3t/a回收再利用是3廢有機溶劑車間液態(tài)HW069004030654t/a交有危廢處理資質(zhì)單位處理是4廢酸中和沉淀物污水處理站固態(tài)HW3490030034是5廢生物炭污水處理站固態(tài)/是6廢機油車間液態(tài)HW0990000609是五、擴建項目“三本帳”本次改擴建工程完成后與現(xiàn)有工程污染物排放變化情況見表22。（3） t/a。則擬建工程聲源對預(yù)測點產(chǎn)生的貢獻值（）為：式中:T——用于計算等效聲級的時間；——在T時間內(nèi)i聲源工作時間；為室外聲源個數(shù)；N為室內(nèi)聲源個數(shù)；——在T時間內(nèi)j聲源工作時間；N——室外聲源個數(shù)；M——等效室外聲源個數(shù)。經(jīng)過降噪處理后，噪聲對廠界影響不大，廠界噪聲能夠基本達標(biāo)。廢氣主要污染物排放量預(yù)測見表18。二、空氣環(huán)境影響分析（1）工藝廢氣項目營運后，源于工藝流程中使用各種酸堿性化學(xué)品產(chǎn)生的酸堿廢氣，經(jīng)過前級酸堿中和處理箱處理后，排至現(xiàn)有酸堿廢氣噴淋塔處理后通過高度15m的排氣筒集中排放，處理效率大于95%，酸堿性廢氣排放量約1000m3/h，現(xiàn)有二套酸堿廢氣處理系統(tǒng)，1用1備，單套容量為25000m3/h。（6）按危廢收集、運輸處置的規(guī)范和三聯(lián)單程序報審。（3）危險廢物的操作人員、管理人員須經(jīng)環(huán)境保護部門培訓(xùn)并經(jīng)考核合格取得上崗證后，方可上崗?，F(xiàn)已經(jīng)采取地下水防治措施：①對廠區(qū)內(nèi)地面進行了水泥硬化處理，對生產(chǎn)車間、物料存儲區(qū)、固體廢物臨時貯存等設(shè)施區(qū)域均采取了地面硬化、導(dǎo)流措施，對污水管線、處理設(shè)施等采取環(huán)氧樹脂貼在四壁，防腐蝕防滲，滿足一般防滲區(qū)等效黏土防滲層Mb≧，K≤1107cm/s的防滲技術(shù)要求。項目污水排放量占污水處理廠設(shè)計處理水量份額較小，廢水水質(zhì)簡單，廢水可生化降解性較好。表17污水主要污染物排放量預(yù)測項目污染物現(xiàn)有工程排放量以新帶老量擴建工程排放量擴建工程完成后全廠排放量增減量廢水廢水量（m3/a）93600363012990+3630COD（t/a）0+氨氮（t/a）0+氟化物（t/a）+SS（t/a）0+石油類（t/a）0+動植物油（t/a）0+從表16可以看出，本項目生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理、生活污水經(jīng)化糞池處理后，滿足DB61/2242011《黃河流域（陜西段）污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級排放標(biāo)準(zhǔn)和GB89781996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)要求，再經(jīng)污水管網(wǎng)送至西安市第二污水處理廠處理。項目水平衡圖見圖7。食堂餐飲污水先經(jīng)隔油處理，再與辦公區(qū)生活污水一起經(jīng)化糞池處理后排入城市污水管網(wǎng)，主要污染因子為pH、化學(xué)需氧量、氨氮和動植物油。4. 固體廢棄物施工人員生活垃圾和廢棄設(shè)備包裝物。汽車運輸揚塵及尾氣。項目原輔材料、產(chǎn)品運輸過程中將產(chǎn)生搬運、車輛噪聲，噪聲值在70～80dB(A)。（2）職工食堂產(chǎn)生的油煙廢氣。，主要污染物為pH、COD、氟化物和氨氮等；，主要污染指標(biāo)為SS；，主要污染物為pH、COD、氟化物和氨氮等。汽車運輸揚塵及尾氣。鈍化層的形成：就是在半導(dǎo)體器件表面覆蓋保護介質(zhì)膜，以防止表面污染。同時要求項目所有使用的金剛砂和研磨粉全部循環(huán)使用，生產(chǎn)使用各種酸、堿及有機溶劑也全部密閉循環(huán)使用，定期更換，更換下來的廢液全部單獨收集，廢酸直接進入酸堿中和池中和，產(chǎn)生的沉淀