【正文】 氮化硅減反射膜，不但可以減少光的反射，由于在制備 SiNx 減反膜過程中大量的氫原子進(jìn)入，能夠起到很好的表面鈍化和體鈍化的效果，這對(duì)于具有大量晶界的多晶硅材料而言，由于晶界的懸掛健被飽和，從而降低了復(fù)合中心的作用。 太陽能電池硅片生產(chǎn)工藝流程圖如下： 圖 41 太陽能電池生產(chǎn)工藝流程圖 主要工藝流程說明： ① 清洗、制絨：首先用堿（或酸）腐蝕硅片，以去除硅片表面機(jī)械損傷。庫內(nèi)的保管應(yīng)按批號(hào)分存、建立嚴(yán)格的分發(fā)料制度、杜絕混批號(hào)等問題造成不必要的事故。企業(yè)可根據(jù)市場(chǎng)價(jià)格自行在專業(yè)市場(chǎng)采購解決。光伏太陽能行業(yè)主要的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)包括國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) GB/T95351998：地面用晶體硅光伏組件設(shè)計(jì)鑒定和定型，相對(duì)應(yīng)的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)是 IEC6121591993標(biāo)準(zhǔn)。隨著環(huán)境保護(hù)的理念的深入和化石燃料價(jià)格的波動(dòng)，以及我國(guó)和世界各國(guó)政府都紛紛制定了鼓勵(lì)太陽能光伏發(fā)電發(fā)展的政策，并對(duì)太陽能光伏發(fā)電的建設(shè)進(jìn)行補(bǔ)貼；太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)迎來年產(chǎn) 100MW 晶體硅太陽能電池片項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 了發(fā)展的良好機(jī)遇。（詳見表 26） 表 25 國(guó)家有關(guān)光伏發(fā)電方面的政策 政策 時(shí)間 內(nèi)容 《可再生能源法》 國(guó)家中長(zhǎng)期科技 發(fā)展規(guī)劃綱要 “十一五”規(guī)劃 能源發(fā)展“十一 五”規(guī)劃 中國(guó)應(yīng)對(duì)氣候變 化國(guó)家方案 可再生能源中長(zhǎng) 期規(guī)劃 能源法（征求意 見稿） 可再生能源“十 一五規(guī)劃” 年產(chǎn) 100MW 晶體硅太陽能電池片項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 明確鼓勵(lì)和支持可再生能源并網(wǎng)發(fā)電；規(guī)定電網(wǎng)公司必 須購買區(qū)域內(nèi)再生能源并網(wǎng)發(fā)電項(xiàng)目所發(fā)電力；鼓勵(lì)單 位及個(gè)人安裝太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng) 將高性價(jià)比太陽能光伏電池及利用技術(shù)、太陽能建筑一 體化技術(shù)列入了重點(diǎn)優(yōu)先研發(fā)領(lǐng)域；太陽能電池相關(guān)材 料及關(guān)鍵技術(shù)被列入重點(diǎn)研究領(lǐng)域 列入積極開發(fā)利用的再生能源行列，僅次于風(fēng)能和生物 質(zhì)能的發(fā)展優(yōu)先度 明確發(fā)展重點(diǎn)為資源潛力大 ，技術(shù)基本成熟的風(fēng)電、生 物質(zhì)能和太陽能利用等再生能源，以規(guī)模化建設(shè)帶動(dòng)產(chǎn) 業(yè)化；全面落實(shí)可再生能源法，并制定相關(guān)國(guó)家和地方 的配套法規(guī)政策；積極發(fā)展太陽能發(fā)電，在偏遠(yuǎn)地區(qū)推 廣戶用光伏發(fā)電系統(tǒng)或建設(shè)小型光伏電站，在城市推廣 普及太陽能一體化建筑；重點(diǎn)研究低成本規(guī)模化的高性 價(jià)比光伏電池及利用技術(shù)、太陽能建筑一體化技術(shù)等 規(guī)劃太陽能發(fā)電裝機(jī)總?cè)萘吭?20xx 年達(dá)到 30 萬千瓦， 2020 年達(dá)到 180 萬千瓦 對(duì)鼓勵(lì)發(fā)展的太陽能等新能源依法實(shí)行激勵(lì)型價(jià)格政 策；根據(jù)能源戰(zhàn)略、規(guī)劃的需要，設(shè)立可再生能源、農(nóng) 村能源發(fā)展專項(xiàng)資金 規(guī)劃太陽能光伏發(fā)電重點(diǎn)：開展無電地區(qū)電力建設(shè)，啟 動(dòng)光伏發(fā)電城市應(yīng)用工程，開展光伏電站試點(diǎn)；開展技 術(shù)研發(fā)和裝備制造、產(chǎn)業(yè)體系的建設(shè) 26 我國(guó)太陽能裝機(jī)容量及發(fā)電量規(guī)劃 產(chǎn)業(yè)規(guī)劃 20xx 年 20xx 年 2020 年 2030 年 2050 年 19 裝機(jī)容量 年發(fā)電量 發(fā)電比例 萬 KWp 億 KWH 3% 30 萬 KWp 億 KWH % 180 萬 KWp 億 KWH 8% 1000 萬 KWp 年產(chǎn) 100MW 晶體硅太陽能電池片項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 140 億 KWH % 10000 萬 KWp 1500 億 KWH % 國(guó)內(nèi)光伏市場(chǎng)概況 我國(guó)光伏發(fā)電的市場(chǎng)主要集中在通信和工業(yè)應(yīng)用、農(nóng)村電氣化和邊遠(yuǎn)地區(qū)的脫網(wǎng)獨(dú)立發(fā)電應(yīng)用等領(lǐng)域（詳見表27），其中偏遠(yuǎn)農(nóng)村地區(qū)電氣化所占的比例最高（ 20xx 年的比例為 33%），與國(guó)外不同的是我國(guó)用于并網(wǎng)發(fā)電的比例相對(duì)較少，僅占 4%。日本朝日計(jì)劃補(bǔ)貼政策已經(jīng)結(jié)束，近年安裝量有所下滑，其 20xx 年年裝機(jī)容量為 230MWp，占全球份額為 %，比上年減少12 個(gè)百分點(diǎn)，預(yù)計(jì) 20xx 年基本維持 20xx 年的安裝水平。 而按照西方發(fā)達(dá)國(guó)家的規(guī)劃，至 2030 年全球光伏發(fā)電裝年產(chǎn) 100MW 晶體硅太陽能電池片項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 機(jī)容量將達(dá)到 300GW（屆時(shí)整個(gè)產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)值有可能突破 3000 億美元），至 2040 年光伏發(fā)電將達(dá)到全球發(fā)電總量的 15～20%。太陽能電池需求年均增長(zhǎng)率高達(dá) 30%，可預(yù)見的高速增長(zhǎng)將持續(xù) 40年以上。如何降低成本是太陽能電池產(chǎn)業(yè)最重要的目標(biāo)。晶隆太陽能是國(guó)內(nèi)最大的單晶硅片生產(chǎn)企業(yè)。項(xiàng)目盈虧平衡點(diǎn)為%，抗風(fēng)險(xiǎn)能力相對(duì)較強(qiáng)。項(xiàng)目既切合實(shí)際又符合國(guó)家有關(guān)投資方向政策，項(xiàng)目的建設(shè)是必要的。壓力要求 ，平均用氣量約為 40立方米 /分，壓縮空氣質(zhì)量要求干燥、無油、無塵。主廠房呈長(zhǎng)方形東西向布置。 (4) 合理配置公用工程及動(dòng)力設(shè)施，并符合有關(guān)規(guī)定。太陽能電池屬高技術(shù)光電產(chǎn)業(yè)，是國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)品。 專家預(yù)測(cè)，在下世紀(jì) 50 年代，新能源與可再生能源在整個(gè)能源構(gòu)成中會(huì)占到 50%。把可持續(xù)發(fā)展作為國(guó)家的基 本發(fā)展戰(zhàn)略， 20xx 年 8 月在南非召開的世界首腦峰會(huì)上，可再生能源成為主要議題之一。目前全球光電 能產(chǎn)業(yè)年均增長(zhǎng)率高達(dá) 30%，據(jù)預(yù)測(cè)， 2050 年世界人口將增至 89 億，屆時(shí)的能源需求將是目前的 3 倍，而可再生能源要占 50%，確切地說， 2050 年可再生能源供應(yīng)量將是現(xiàn)在全球能耗的 2 倍。截止 20xx 年底，公司擁有總資產(chǎn) 263339 萬元，20xx 年實(shí)現(xiàn)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入 159013 萬元，利潤(rùn)總額 17707 萬元。公司已連續(xù)多年成為金華市第一納稅大戶，為國(guó)家和地方經(jīng)濟(jì)建設(shè)作出了較大貢獻(xiàn)。中國(guó)能源界的權(quán)威人士預(yù)測(cè) ,到 2050 年，中國(guó)能源消費(fèi)中煤只能提供總能耗的 30～ 50%，其余 50～ 70%將靠石油、天然氣、水電、核電、生物質(zhì)能和其它可再生能源。因此，走可持續(xù)發(fā)展道路已成為各國(guó)共同的長(zhǎng)期發(fā)展戰(zhàn)略，發(fā)展新能源和可再生能源已成為一項(xiàng)緊迫的戰(zhàn)略性任務(wù)。因此開發(fā)利用包括太陽能在內(nèi)的可再生能源、實(shí)現(xiàn)能源工業(yè)的可持續(xù)發(fā)展更具有迫切性、更具有重大戰(zhàn)略意義。實(shí)施本項(xiàng)目將是高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要，項(xiàng)目建設(shè)是必要的。 (5) 嚴(yán)格執(zhí)行防治污染及其他危害的規(guī)定，在與主體工程“三同時(shí)”的原則下，堅(jiān)持可持續(xù)發(fā)展的方針。廠房?jī)?nèi)擬放置制絨機(jī)、擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、 PECVD、全自動(dòng)印刷機(jī)、燒結(jié)爐、測(cè)試分選及生產(chǎn)配套設(shè)備。廠區(qū)已建有空壓站，需購置安裝 5 套 10立方米 /分的螺桿空壓機(jī)，滿足本項(xiàng)目的需要。 項(xiàng)目的建設(shè)是可行的 本項(xiàng)目符合國(guó)家相 關(guān)行業(yè)“十一五”發(fā)展規(guī)劃的發(fā)展重點(diǎn)類別及《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（ 20xx 年本）》的相關(guān)類別，項(xiàng)目受國(guó)家相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策的支持。 項(xiàng)目具有良好的社會(huì)效益 本項(xiàng)目實(shí)施后，不僅增強(qiáng)企業(yè)的應(yīng)變能力和競(jìng)爭(zhēng)能力而且對(duì)推動(dòng)我國(guó)太陽能電池產(chǎn)品的生產(chǎn)，擴(kuò)大企業(yè)生產(chǎn)能力，擴(kuò)大就業(yè)崗位，積極參與國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，都具有重大的現(xiàn)實(shí)意義。 單晶硅片通過清洗 、制絨、擴(kuò)散、刻蝕、去磷硅、 PECVD、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)制成多晶 /單晶電池片，公司投資的太陽能電池片就是這道工序。降低成本已成為太陽能電池產(chǎn)業(yè)的最重要目標(biāo)，無疑太陽能電池制造的重心將轉(zhuǎn)到 亞洲低制造成本的地區(qū)。 《京都協(xié)議》簽訂以后，西方發(fā)達(dá)國(guó)家為履行控制溫室氣體排放的義務(wù)，紛紛推出了雄心勃勃的可再生能源發(fā)展計(jì)劃，推動(dòng)光伏工業(yè)的發(fā)展。按此計(jì)劃推算， 20xx～ 2040 年，光伏行業(yè)的復(fù)合增長(zhǎng)率將高達(dá) 25%以上。目前，中國(guó)的光伏發(fā)電市場(chǎng)較小 ， 20xx 年裝機(jī)容量?jī)H為20MWp，僅占 %（詳見表 23）。相比政府補(bǔ)貼項(xiàng)目，我國(guó)商業(yè)化市場(chǎng)所占份額相對(duì)較高， 20xx 年達(dá)到 43%（包括通信與工業(yè)應(yīng)用27%和太陽能光伏產(chǎn)品 16%）。雖然金融 危機(jī)對(duì)經(jīng)濟(jì)的影響依然存在，但從長(zhǎng)遠(yuǎn)來看太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)世界光伏市場(chǎng)的政策推動(dòng)力依然存在，光伏產(chǎn)業(yè)的市場(chǎng)成長(zhǎng)依然強(qiáng)勁。目前，晶體硅太陽能電池片的主要標(biāo)準(zhǔn)為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《單晶硅太陽電池總規(guī)范》（ GB1263290）， 該規(guī)范對(duì)單晶硅太陽電池的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)項(xiàng)目制訂了相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目的主要采購地為江蘇、江西、上海等地，企業(yè)目前已建立了長(zhǎng)期供貨協(xié)議，以穩(wěn)定產(chǎn)品的質(zhì)量和供應(yīng)數(shù)量，來保障本項(xiàng)目的需要。各類倉庫應(yīng)符合所存物品的存放條件、建立責(zé)任體系、保證存放安全。而后進(jìn)行硅片表面絨化，現(xiàn)在常用的硅片的厚度 180 m 左右。 由于具有明顯的表面鈍化和體鈍化作用，因此可以用比較差一些的材料來制作太陽電池。 產(chǎn)品質(zhì)量 本項(xiàng)目建成投產(chǎn)后，生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢測(cè)，國(guó)際客戶有要求的應(yīng)按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求控制，要求成品出廠合格率達(dá) 99%以上。油墨在移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。太陽能電池在爐子出口處的溫度不超過 40℃。 地震設(shè)防 根據(jù)國(guó)家地震局 1990 年的《 中國(guó)地震烈度區(qū)劃圖》，該地區(qū)地震 基本烈度為 6 度，按國(guó)家 GB5001120xx 建筑抗震設(shè)計(jì)規(guī)范考慮抗震措 施。 本地的原輔材料均采用汽車運(yùn)輸。供 水管沿廠區(qū)四周 敷設(shè)環(huán)狀給水管網(wǎng)，各部門進(jìn)水管設(shè)水表進(jìn)行考核， 水表后為枝狀供水至各用水點(diǎn)。因此，生產(chǎn)廠區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)及生活污水經(jīng)處 理達(dá)標(biāo)后，經(jīng)污水總管排入橫店污水廠。 35 用電負(fù)荷計(jì)算 根據(jù)項(xiàng)目設(shè)計(jì)的產(chǎn)品方案，本項(xiàng)目組織生產(chǎn)所需的主要用電設(shè)備 為太陽能電池減反射膜噴涂爐、全自動(dòng)太陽能電池印刷設(shè)備、硅片清 洗機(jī)、等離子刻蝕機(jī)等，以及配套工程設(shè)備，總裝機(jī)容量約為 5933kW， 采用需要系數(shù)法進(jìn)行計(jì)算用電負(fù)荷，經(jīng)計(jì)算：本項(xiàng)目有功功率 Pj=，補(bǔ)償前無功功率 Qj=，視在功率為 ， 年產(chǎn) 100MW 晶體硅太陽能電池片項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 自然功率因素為 ，由于自然功率因素不足 ，宜采用低壓靜電電 容器柜，在低壓配電室 集中進(jìn)行補(bǔ)償。 車間內(nèi)動(dòng)力配電箱到各用電設(shè)備一般采用 BV500 型銅芯塑料絕 緣導(dǎo)線，采用穿管埋地、沿墻、樓板等方式暗敷。生產(chǎn)線接地保護(hù)采 用 TNCS 接地系統(tǒng)。空調(diào)機(jī)組選用 40STDE670WS 四臺(tái)， 40STDE180WS 八 臺(tái)。 38 系統(tǒng)概述：為開式循環(huán)系統(tǒng)，以自來水為補(bǔ)水。 ⑥特種氣體系統(tǒng) 特種氣體供氣系統(tǒng)分類如下： 氨氣 (NH3)傳輸系統(tǒng)。2 ℃，水壓 3 kg/cm2，（均為使用點(diǎn)參數(shù)）。冷卻塔 進(jìn)出水管間設(shè)旁通管，并采用變速風(fēng)機(jī)，以使系統(tǒng)過渡季節(jié)時(shí)可節(jié)能 運(yùn)行。 (2) 本項(xiàng)目涉及的環(huán)境治理工程，均與生產(chǎn)裝置同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí) 施工、同時(shí)建成投產(chǎn)。每個(gè)反應(yīng) 池內(nèi)設(shè)置 pH儀，并配有酸堿加藥裝置。 磷擴(kuò)散及表面選擇性腐蝕、 SiN化學(xué)沉積等工藝中會(huì)產(chǎn)生普通廢 氣、酸堿廢氣、可燃性廢氣和少量有機(jī)廢氣等。 表 61 建設(shè)項(xiàng)目新增設(shè)備噪聲源強(qiáng)匯總 序號(hào) 設(shè)備名稱 噪聲源強(qiáng)（ dB） 1 風(fēng)機(jī) 80～ 90 2 水泵 70～ 80 3 空壓機(jī) 75～ 85 (4) 固體廢物 ① 廢品 項(xiàng)目采用電腦控制，加工精度高，廢品產(chǎn)生量較少，廢品由原材 料廠家回收處理。 (3) 廠區(qū)內(nèi)設(shè)置了廁所、更衣室、浴室等可供員工生活、休 息的空間； (4) 廠房四周外墻上設(shè)置了可開啟的窗戶，使廠房?jī)?nèi)具有良 好的通風(fēng)條件； (5) 生產(chǎn)車間設(shè)置了機(jī)械補(bǔ)、排風(fēng)裝置； (6) 生產(chǎn)車間區(qū)域內(nèi)的照明及辦公區(qū)采用節(jié)能燈，其照度均達(dá)到 規(guī)范要求； (7) 新上崗員工必須事先 經(jīng)操作規(guī)程培訓(xùn)及安全教育； (8) 發(fā)放勞動(dòng)防護(hù)用品。本項(xiàng)目利用的生產(chǎn)廠房及倉庫，設(shè)計(jì)的耐火等級(jí) 不低于二級(jí)。 環(huán)保投資 本項(xiàng)目環(huán)保投資為 1100 萬元。 對(duì)設(shè)備產(chǎn)生的一般廢氣和高溫廢氣，采用直接排放方式排入大氣。 — 含氟廢水處理系統(tǒng) 年產(chǎn) 100MW 晶體硅太陽能電池片項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 含氟廢水采用投藥、絮凝和沉淀分離的方法進(jìn)行處理。 生產(chǎn)污廢水系統(tǒng) 本項(xiàng)目在硅料清洗、硅片清洗、表面制絨等生產(chǎn)工藝中會(huì)產(chǎn)生一 定量的普通酸性廢水、堿性廢水、氫氟酸廢水等。 ⑤生活生產(chǎn)污廢水 生活污廢水系統(tǒng)：生活污水經(jīng)廠區(qū)內(nèi)的化糞池處理后，達(dá)一級(jí)排 放標(biāo)準(zhǔn)后排入市政污水管道，其他生活廢水直接排入廠區(qū)內(nèi)的污水管 道。 ③工藝設(shè)備冷卻水 工藝?yán)鋮s水夏天所需冷量來自空調(diào)冷凍水系統(tǒng)，冬天用冷卻塔制 備的冷水供給板換熱，提供工藝?yán)鋮s水所需的冷量，以達(dá)到節(jié)能的目 的。 特種氣體均由各廠房?jī)?nèi)特氣室的氣體柜 /氣體盤將特種氣體分配 至各廠房支管閥門箱 /分支管。 ④真空系統(tǒng) 為滿足工藝生產(chǎn)過程中硅片傳遞等對(duì)真空的需求而設(shè)置。制冷量： 720KW，水溫控制范圍 10～ 25 ℃。 年產(chǎn) 100MW 晶體硅太陽能電池片項(xiàng)目可行性研究報(bào)告 (3) 消防設(shè)計(jì) 消防設(shè)備的電源均實(shí)現(xiàn)雙回路末端自動(dòng)切換。生產(chǎn)車間 一般照明采用高壓光效金屬鹵化物燈具，車間局部照明與辦 公室照明 一般均選用熒光燈。 補(bǔ)償后的功率因素為 以上，變壓器容量 4200KVA。 工藝要求供電電壓為 380/220 伏，電壓波動(dòng)不超過額定電壓的177。 用水量測(cè)算：本項(xiàng)目生產(chǎn)用水主要是硅片清洗制絨、去磷硅用水， 平均小時(shí)用水量 25 噸，日用水量為 576