【正文】 a gas. Advantages: high reliability and low power (energy) cost. 高穩(wěn)定性和低能耗Disadvantage: the gas can be heated only to ambient ?Sized by both peak and continuous flow. 根據(jù)持續(xù)的最大流量來選擇蒸發(fā)器規(guī)格。 steel, 鋼（使用最普遍）167。 Cylinder gas delivery line is supplied from the gas cylinder to the customer’s production tool.167。l Each branch operates independently各個(gè)分支獨(dú)立控制l Manual or automatic operationl Replaces as many as 8 cylinder gas cabis 最大可至 8個(gè) sticks，即 1進(jìn) 8出。 Hastelloy C22 Bellows Seal Valve　波紋管密封閥187。 Semi gas167。 Monel，鎳合金lSteel construction is the most inexpensive and monel is the most costly to produce.58Fab Gas Handling Equipment lCylinder gas cabi 氣柜lValve manifold box/P VMB/P閥組箱 /盤lValve stand lGas isolation boxlGas jungle 混氣盒59 Gas Flow60Distribution Piping1. Bulk Gas Piping167。– Boiling points range 沸點(diǎn)范圍 from 130oF(90oC) to 30oF(1oC). – At 70oF the cylinder contains both liquid and gas. 在室溫 20oC時(shí)，鋼瓶內(nèi)為液氣共存。IDLH (Immediately Dangerous to Life and Health) － NIOSH（ 國立職業(yè)安全與健康研究所）允許的30分鐘最高接觸濃度。1氣體輸送系統(tǒng)安全 2氣體輸送系統(tǒng)安全After this training, you will be able to:l了解半導(dǎo)體 /電子行業(yè)氣體種類及特性l了解低溫氣體的危害及防護(hù)l了解如何確保氣體輸送系統(tǒng)安全l了解如何正確操作鋼瓶l了解 gashandling設(shè)備及其功能l了解系統(tǒng)輸送系統(tǒng)的部件及其功能l了解 gas cabi和 VMB/P3設(shè)計(jì)準(zhǔn)則l氣體輸送系統(tǒng)的三大設(shè)計(jì)準(zhǔn)則– Safety– Process Control 工藝控制（流量、壓力等）– Purity Control 純度控制（純度 /顆粒度）4氣體分類一根據(jù)氣體儲(chǔ)存形式不同，分為：1. Bulk Gas 大宗氣體（特指 Ar, N2, O2, He, H2）2. Specialty Gas 特種氣體 (SiH4, NH3, CF4, etc.)3. Compressed Dry Air干燥壓縮空氣5 氣體分類一 — 大宗氣體l Bulk Gas 大宗氣體 N2/Ar/O2l 通常半導(dǎo)體工廠，廠務(wù) N2/ Ar/ O2以液態(tài)儲(chǔ)存在槽罐內(nèi)6氣體分類一—大宗氣體l 低溫液體– 在常壓下沸點(diǎn)低于 240oF (115oC)l 例如　 O2液化溫度 (297 oF) (183oC)　 Ar液化溫度 (302 oF) (186oC)　 N2液化溫度 (320 oF) (196oC)　　 oC=(oF32)*5/97氣體分類一—大宗氣體l低溫液體危險(xiǎn)性– 低溫– 蒸氣擴(kuò)散l低溫液體可能引起凍傷8氣體分類一—大宗氣體l低溫氣體的其它危險(xiǎn)低 溫可能會(huì)引起周圍物品的損傷危險(xiǎn)危危 險(xiǎn)險(xiǎn)包包括括l 過冷l 過大的體積膨脹l 霧9氣體分類一—大宗氣體低溫引起的破裂10膨 脹 率11氣體分類一 — 大宗氣體l低溫危險(xiǎn)防護(hù)– 提供排風(fēng)系統(tǒng)– 正確操作氣瓶– 正確的系統(tǒng)設(shè)計(jì)– 適當(dāng)?shù)膫€(gè)人防護(hù)設(shè)備12氣體分類一—大宗氣體l Bulk Gas 大宗氣體 H2 /Hel 由于 H2和 He的液化溫度極低，加之自然界游離態(tài)氣體極少，故 H2和 He一般以高壓氣態(tài)形式儲(chǔ)存在鋼瓶內(nèi)（國外使用液態(tài)儲(chǔ)存），并且以鋼瓶組供應(yīng)l H2常用電解水得到， He從礦石中提煉得到（絕大部分產(chǎn)自美國）l H2液化溫度 (423 oF) (253oC), He液化溫度 (452 oF) (269oC)l 絕對零度為 273oC13氣體分類一—特種氣體什么是 Specialty Gas特種氣體l 大宗氣體 CDA以外的氣體l 空氣中極稀有氣體（如 Xe 氙氣）l 不存在空氣中，人工合成之氣體 （如 AsH3砷烷）l 特殊用途之超高純氣體（又稱電子級(jí)氣體） 14氣體分類二根據(jù)氣體危險(xiǎn)性，氣體分為：1. 不可燃?xì)怏w (N2, SF6, NF3等 )2. 可燃性氣體 (H2, SiH4, CH4等 )3. 氧化性氣體 (O2, N2O等 )4. 毒性氣體 (AsH3, PH3等）5. 腐蝕性氣體 (Cl2, DCS等）15氣體分類二—常見危險(xiǎn)符號(hào)不可燃性等級(jí) 可燃性等級(jí) 氧化性等級(jí) 毒性等級(jí) 腐蝕性等級(jí)16氣體分類二—不可燃?xì)怏wl 常見不可燃?xì)怏w種類（通常指類似的惰性氣體）l 不可燃?xì)怏w之危險(xiǎn)性窒息性 —— 取代肺中的氧氣壓強(qiáng) —— 單位面積所承受的壓力能量 —— 氣體在狀態(tài)轉(zhuǎn)變過程中產(chǎn) 生的能量17氣體分類二—不可燃?xì)怏w氧氣被其他氣提所取代之危害 :l % 人類正常生活所需要的最低氧氣濃度極限l % 工作能力下降，冠狀動(dòng)脈，肺部和循環(huán)系統(tǒng)出現(xiàn)先期癥狀，l 1214% 呼吸，脈搏加快，漸漸失去知覺l 1012% 呼吸，脈搏進(jìn)一步加快，喪失判斷能力，嘴唇發(fā)紫l 810% 無意識(shí)，嘔吐l 68% 8 分鐘死亡率 100%， 6分鐘死亡