昆明理工大學(xué)開(kāi)題報(bào)告-三維微納米精密位移平臺(tái)及微小力測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)(完整版)
【正文】 日 期： 2014年3月 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）的主要內(nèi)容：一、本課題研究背景和意義隨著量子力學(xué)、微觀物理等現(xiàn)代科學(xué)的日臻完善和微電子技術(shù)、掃描隧道顯微技術(shù)等先進(jìn)技術(shù)的不斷發(fā)展，電子計(jì)算機(jī)、原子能、激光、航天和國(guó)防等高新技術(shù)部門(mén)對(duì)機(jī)械零件的加工精度和表面質(zhì)量要求越來(lái)越高，因此超精密加工，包括納米加工是人們目前面臨的重要課題之一。但在微型機(jī)械制造、掃描隧道顯微鏡微測(cè)量等諸多尖端科技領(lǐng)域中，當(dāng)運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到亞微米級(jí)或納米級(jí)時(shí)，壓電驅(qū)動(dòng)微位移機(jī)構(gòu)以其響應(yīng)快、易于微型化、重復(fù)性好、分辨率高、剛度好無(wú)磁場(chǎng)干擾等特點(diǎn)在微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的研究中體現(xiàn)出了自身的優(yōu)勢(shì)。Trumper D The long range scanning stage:a novel platform for scanned probe microscopy2000(03) HoLMES M?；谝陨蠁?wèn)題，本設(shè)計(jì)主要完成以下兩個(gè)方向的研究工作：（1）實(shí)驗(yàn)裝置的建模及其運(yùn)動(dòng)仿真： (a)完成粗動(dòng)平臺(tái)X、Y、Z三個(gè)方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的參數(shù)設(shè)計(jì)及微動(dòng)平臺(tái)的選型工作； (b)運(yùn)用三維建模軟件（Solid works）完成粗動(dòng)平臺(tái)X、Y、Z三個(gè)方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的三維建 模及裝配工作； (c)運(yùn)用Auto CAD軟件，完成重要零件的零件圖以及裝配圖的繪制； (d)對(duì)所搭建的三維微納米精密位移平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)畫(huà)仿真；（2） 設(shè)計(jì)一套一單以機(jī)為核心的微小力測(cè)量裝置，完成對(duì)該切削裝置的在加工過(guò)程中切削力的測(cè)量和監(jiān)控： (a)結(jié)合研究對(duì)象確定所用單片機(jī)型號(hào)以及傳感器檢測(cè)方式和微小力的測(cè)量方式； (b)完成包含振蕩時(shí)鐘電路、模擬量輸入通道中各個(gè)模塊電路以及和顯示電路等硬件電路的
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