【正文】 con Oxide Gate Highk Gate Dielectric Terahertz Transistor Structure Fully Depleted Channel 90nm 1999 1997 1995 .13?m 50nm .20?m .35?m 67 68 69 集成 電 路技 術 是近 50年來 發(fā) 展最快的技 術 微 電 子技 術 的 進 步 按此比率下降，小汽 車 價格不到 1美分 年份特征參數(shù)1 9 5 9 1 9 7 0 1 9 7 1 2 0 0 0 比率設計規(guī)則 ? m 25 8 0 .1 8 1 4 0電源電壓VDD( 伏）5 5 1 .5 3硅片直徑尺寸（ mm ）5 30 3 0 0 60集成度 6 2 ? 1032 ? 1093 ? 108DRAM 密度 （ b i t) 1K 1G 106微處理器時鐘頻率 ( Hz)7 5 0 K 1G 1 03平均晶體管價格 $ 10 0 .3 106107From 70 集成電路分類 71 集成電路分類 ?集成電路的分類 ?器件結構類型 ?集成電路規(guī)模 ?使用的基片材料 ?電路形式 ?應用領域 72 按器件結構類型分類 ?雙極集成電路：主要由雙極晶體管構成 ?NPN型雙極集成電路 ?PNP型雙極集成電路 ?金屬 氧化物 半導體 (MOS)集成電路：主要由MOS晶體管 (單極晶體管 )構成 ?NMOS ?PMOS ?CMOS(互補 MOS) ?雙極 MOS(BiMOS)集成電路：同時包括雙極和MOS晶體管的集成電路為 BiMOS集成電路，綜合了雙極和 MOS器件兩者的優(yōu)點，但制作工藝復雜 優(yōu)點是速度高、驅動能力強， 缺點是功耗較大、集成度較低 功耗低、集成度高，隨著特征 尺寸的縮小，速度也可以很高 73 74 按集成電路規(guī)模分類 ?集成度：每塊集成電路芯片中包含的元器件數(shù)目 ?小規(guī)模集成電路 (Small Scale IC， SSI) ?中規(guī)模集成電路 (Medium Scale IC， MSI) ?大規(guī)模集成電路 (Large Scale IC， LSI) ?超大規(guī)模集成電路 (Very Large Scale IC， VLSI) ?特大規(guī)模集成電路 (Ultra Large Scale IC， ULSI) ?巨大規(guī)模集成電路 (Gigantic Scale IC， GSI） 75 劃分集成電路規(guī)模的標準數(shù)字集成電路類 別MOS IC 雙極 IC模擬集成電路SSI ＜ 102＜ 100 ＜ 30MSI 102～ 103100 ～ 500 30 ～ 100LSI 103～ 105500 ～ 2021 100 ～ 300VL S I 105～ 107＞ 2021 ＞ 300UL S I 107～ 109G S I ＞ 10976 基于市場競爭 ， 不斷提高產(chǎn)品的性能價格比是微電子技術發(fā)展的動力 。 微電子：信息社會發(fā)展的基石 45 ?實現(xiàn)社會信息化的網(wǎng)絡及其關鍵部件不管是各種計算機和 /或通訊機，它們的基礎都是 微電子 ?1946年第一臺計算機： ENIAC 46 第一臺通用電子計算機：ENIAC Electronic Numerical Integrator and Calculator 1946年 2月 14日 Moore School，Univ. of Pennsylvania 18,000個電子管組成 大小：長 24m，寬 6m，高 速度： 5000次 /sec；重量： 30噸； 功率： 140KW；平均無故障運行時間： 7min 47 ?實現(xiàn)社會信息化的網(wǎng)絡及其關鍵部件不管是各種計算機和 /或通訊機，它們的基礎都是 微電子 ?1946年第一臺計算機： ENIAC ?這樣的計算機能夠進入辦公室、車間和家庭？當時有的科學家認為全世界只要 4臺 ENIAC ?目前，全世界計算機不包括微機在內(nèi)有幾百萬臺，微機總量約 6億臺，每年由計算機完成的工作量超過 4000億人年工作量 48 49 集成電路的作用 ?小型化 ?價格急劇下降 ?功耗降低 ?故障率降低 50 信息技術的領域 基礎： 軟件、 微（納）電子與光電子 關鍵技術：微（納）電子與光電子、軟件、計算機和通信 核心和基礎： 微電子 51 ? 在信息經(jīng)濟時代，產(chǎn)