chapter04自動化技術(完整版)
【正文】 技術 半導體自動化搬運系統(tǒng)構成 ? 晶舟為物料搬運的最小單位 ? 灣內的搬運工作是從機臺到機臺、機臺到儲存設備、儲存設備到機臺 ? 灣間自動化搬運是從一個隧道搬至另一隧道 ? 物料控制系統(tǒng)（ materialcontrol system） : 其主要的工作就是 接收由主控端傳來的搬運訊息 ，確認協調下層的搬運系統(tǒng)作搬運工作 ? 協調各處理系統(tǒng)的主要工作 ? 判斷哪個製程要被執(zhí)行 ? 提供保養(yǎng)及報告 第四章 自動化技術 ? 與產品相關的物料 ? 原物料 , 採購零件 , 在製品（ WIP） , 最終產品 , 廢料（ scrap） ? 與製程相關的物料 ? 渣滓（ refuse） , 工具（ tooling） , 備料（ spare part） ? 與所有的工廠營運有關的物料 ? 辦公室日用品 ? 自動儲存／取回系統(tǒng) （ Automated Storage/Retrieval Systems，簡稱 AS/RS ) 儲存設備 第四章 自動化技術 工業(yè)用機器人 ? 機器人的組成元件 ? 手臂本體（ manipulator） ?
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