【正文】 報告書 22 4 污染防治措施 大氣污染防治措施評述 大氣污染源 根據工程分析， 擬建 項目的主要大氣污染源有： 單晶硅拋光片 制作產生的甲苯、異丙醇、 HF、 HCl、硫酸霧、 NH NOx；硅外延片制作產生的硫酸霧、 NH HCl、 SiHCl3 和微量的 PH B2H6；外延爐的石英管清洗產生 HF、 NOx。 廢氣 吸附設備 風管 集氣罩 引風機 排放 圖 41 有機廢氣處理系統(tǒng)流程圖 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 23 洗滌塔采用氣液逆向吸收方式處理，即吸收液霧撒而下形成小水滴，氣體由塔底向上逆流而上，使氣體充分接觸。只要加強管理、嚴格按照廢氣治理措施進行運營，本項目中產生的廢氣污染物在滿足達標排放的前提下，會盡可能的減少向周圍環(huán)境的排放量，洗滌液 廢氣 洗滌塔 主風管 支風管 引風機 廢氣洗滌循環(huán)水池 進入廢水處理系統(tǒng) 排放 圖 42 酸、堿廢氣處理系統(tǒng)流程圖 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 24 使其對大氣環(huán)境的影響得到合理的控制與減緩。廢水先進入混凝反應槽，在凝反應槽內投加 H2SO PAC、 PCM、Ca(OH)2，然后進入沉淀池進行固液分離。 ④ 一般廢水 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 25 一般廢水來自拋光片的最后一道清洗和外延片的第一道清洗水，此類廢水較為清潔，直接排至混合 廢水 調節(jié) 池 中，與其他廢水一起處理。 含氟廢水 廢水調節(jié)池 沉淀槽 混凝反應槽 HF 調節(jié)池 出水槽 自動過濾帶 酸性廢水 堿性廢水 一般廢水 混凝反應槽 中間水槽 沉 淀槽 Ca(OH)H2SO4 、PAC、 PAM P1 P2 P3 P4 污泥槽 外運處理 壓濾機 達標排放 研磨廢水 拋光廢水 沉淀池 圖 43 廢水處理工藝流程圖 Na(OH)H2SO4 、PAC、 PAM 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 27 真州污水處理廠概況 真州污水處理廠一期工程設計規(guī)模為 萬 t/d,主要接納生活污水和工業(yè)廢水。 建設項目在污水收集范圍之內。經上述治理后可有效的減少各類噪聲源在廠區(qū)內外的擴散，降低噪聲對環(huán)境造成的污染，廠區(qū)附近環(huán)境噪聲基本能達到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標準》中的 Ⅲ 類標準。 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 29 非正常排放防范措施 （ 1）對廢水處理裝置進水水質進行常規(guī)監(jiān)測，及時調整運行參數，確保穩(wěn)定達標 。 喬木、灌木、草地組合遵循以下幾放面的協(xié)調與統(tǒng)一： （ 1）樹木的大小 喬木與灌木均有大小之分，各種 樹又表現不同的高矮尺度。 （ 4）草地 的配置 廠區(qū)綠化中鋪植草坪是一項重要的、具有普遍意義的綠化項目。形成行列式的林蔭道。并布置花壇、花架，種植四時花草，沿步行小道兩側設植綠籬，花卉在整個廠區(qū)中的應用不如樹木和草坪那樣廣泛，只是做重點裝飾的材料，但在辦公生活區(qū)布置比重應大一些。 （ 2）廢氣排氣筒（煙囪）規(guī)范化設置 建設項目廢氣排放口必須進行規(guī)范化建設，按要求裝好標志牌，廢氣排氣筒高度應符合國家大氣污染物排放標準的有關規(guī)定。 3 噪聲污染防治措施 選用低噪聲設備，并按照工業(yè)設備安裝的有關要求安裝。 廠界達標 4 固體廢物治理措施 危險固廢委托有資質的單位進行處理，一般工業(yè)固體廢物由相應單位回收利用，生活垃圾按照環(huán)衛(wèi)部門要求處置。 （ 4）固體廢物貯存（處置）場所規(guī)范化設置 露天貯存工業(yè)固體廢物的，應當設置專用的貯存設施或堆放場地；并根據實際情況采取苫布遮蓋或適時灑水等，以防二次揚塵污染。一般用一、二年生草花和宿根性花卉，不同花卉應彼此參差交錯，疏密相間，并注意景觀的層次要求。主干道可以選用棕櫚、櫸樹、香樟等為骨干，輔之以女貞、廣玉蘭等常綠喬木。 2．綠化方案 廠區(qū)綠化采用集中與分散相結合的方式進行。在配置中要綜合考慮整體中各樹木的平、立面關系，不同高度的樹木做到錯落有致。 （ 3）對水泵、閥門等定期檢修維護，防止跑、冒、滴、漏。 本項目根據各種固體廢物的產生來源、組成及性質，對照《國家危險廢物名錄》，將固體廢物分為危險廢物和一般固體廢物。本項目廢水經廠區(qū)自建廢水處理設施處理后各項污染物濃度均低于接管標準限值。 真州污水處理廠服務范圍主要包括儀征主城區(qū)、汽車工業(yè)園、揚州化學工業(yè)園（管道路以東）、儀征經濟開發(fā)區(qū)（包括船舶工業(yè)園）等范圍。 經過廢水處理設施處理過的廢水達到真州污水處理廠的接管標準， 與生活污水 接入真州污水處理廠處理達到 《城鎮(zhèn)污水處理廠排放標準》（ JB181982021）表 1 中一級 B 級標準 后，統(tǒng)一排入長江儀征段，廢 水排放標準見表 41。沉淀池污泥經污泥濃縮，用污泥泵送至污泥脫水機干化后運至指定地點填埋。 根據工程中廢水來源、廢水水質的不同，將廢水按種類分為 切片倒角廢水、 研磨廢水、拋光廢水、酸性廢水、堿性廢水、含氟廢水、含氨 廢水、一般 清洗 水、廢氣洗滌水、生活污水和清下水 （包括鍋爐排水、純水制備產生的濃水、空調系統(tǒng)排水） 。 凈化后的廢氣通過排氣筒排入大氣。廢氣處理主要工藝具體如下： （ 1） 有機廢氣 清洗工序產生 的有機廢氣甲苯、異丙醇通過集氣罩、風管導入吸附設備，利用活性炭的表面吸附力去除甲苯 、異丙醇 ，凈化后的廢氣通過排氣筒直接排入大氣。 建 設項目水污染物的三本帳見表 310。 ?有組織排放廢氣 自來水 加絮凝劑 原水箱 原水泵 機械過濾器 活性炭吸附器 熱交換器 5μ保安過濾 Ⅰ級高壓泵器 Ⅰ級 RO裝置器 Ⅱ級高壓泵器 Ⅱ 級 RO裝置器 真空脫氣裝置 中間水箱 中間水 泵 EDI裝置 氮封純水箱 純水泵 拋光樹脂床 TOC殺菌器器 超過濾器 器 生產工藝用水 水箱 水泵 循環(huán)冷卻系統(tǒng)器 冷卻器 圖 35 超純水制備工藝流程圖 清洗裝置 清洗裝置 pH調節(jié) 加阻垢劑 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 17 項目在生產過程中產生的有組織排放廢氣的種類與產生環(huán)節(jié)見表 36。 純水制備 項目設有一套超純水制備設施， 其制備能力為 110t/h，根據生產需要每天制備純水 ，產生的濃水和反沖洗水 642t/d 作為清下水排放，其超純水 制備工藝流程 如下： 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 16 排水 項目采用雨污分流、清污分流的排 水體制。 外延爐石英管清洗：在 外延生長中會在外延爐的石英管上沉積一些雜質。 有 99% 的 SiHClPH B2H6 參加反應。此處產生 粗拋廢液。 此工序產生氯化氫和廢鹽酸。具體工藝流程 如下 ： SPM 清洗 ： 用 H2SO4 溶液 和 H2O2 溶液 按比例配成 SPM 溶液， SPM 溶液具有很強的氧化能力，可將 金屬氧化后溶于清洗液，并將有機污染物氧化成 CO2和 H2O。 此過程中產生的硅粉采用水淋，產生固定 切片 快速退火 倒角 分檔檢測 研磨 磨片檢測 腐蝕 A/B 分檔檢測 粗拋光 RCA 清洗 檢測 純水 洗 檢測 包裝 出貨 單晶硅棒 水 S1 W1 S2 W2 S3 純水洗 氮氣氧氣 磨片劑 S4 水 W3 水 純水洗 A：混酸 B：堿液 氮氣 A： G 8 S11 B： S12 水 A： W11 B： W12 純水洗 水 W13 純水洗 精拋光 研磨劑 S13 精磨劑 S14 水 W14 RCA 清洗 W4~10 S6~10 G2~6 圖 31 單晶硅拋光片工藝流程及產污節(jié)點圖 溶劑 G1 S5 清洗 W15~21 S15~19 G9~13 水 W22 銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 10 廢水和硅渣 。 綠化 為美化環(huán)境、凈化空氣、降低噪聲，廠內在空閑地帶、道路兩 側進行種草植樹， 綠化面積 51979 m2， 綠化 達到 % 環(huán)保工程 廢氣處理 對工程中產生的各種廢氣采用技術可行、經濟合理的治理措施，即酸性廢氣進入采用堿液進行淋洗；堿性廢氣采用酸液進行淋洗；甲苯采用活性炭吸附；特性廢氣采用專門的濕式外延氣體清洗器處理，各種廢氣均達標排放 廢水處理 公司建設一套廢水處理設施，針對不同水質，采用不同方式，對生產廢水進行有效處理，達到接管標準后和生活污水進入真州污水處理 廠處理，經處理達標后，統(tǒng)一排入長江儀征段 噪聲處理 采用低噪聲設備、隔聲減震、綠化吸聲等措施 固廢處理 按照規(guī)定對產生的固體廢物進行處置 占地面積、廠區(qū)布置 占地面積： 本項目總占地面積 133334m2， 所占土地為儀征經濟開發(fā)區(qū)銀笛（揚州）微電子有限公司建設項目環(huán)境影響報告書 8 新區(qū)高新技術產業(yè)用地 。通過環(huán)境影響評價，了解建設項目周圍的環(huán)境狀況，預測建成后對周圍水氣聲環(huán)境的影響程度和范圍，并提出防治污染措施，減緩建設項目對周圍環(huán)境的影響，為建成后的環(huán)境管理提供科學依據。 結論 ......................................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 經濟效益分析 ......................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 總量控制因子 ....................................................................................................... 39 總量控制指標 ....................................................................................................... 39 總量平衡方案 ....................................................................................................... 39 10 環(huán)境風險評 價 ..................................................................................... 41 風險評價等級的確定 ............................................................. 錯誤 !未定義書簽。 建設項目環(huán)境保護目標 ......................................................... 錯誤 !未定義書簽。 評價范 圍 ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 編制依據 ................................................................................. 錯誤 !未定義書簽。 自然環(huán)境概況 ......................................................................... 錯誤 !未定義書簽。 4 污染防治措施 ..................................................................................... 22 大氣污染防治措施評述 ....................................................................................... 22 水污染防治措施評述 ........................................................................................... 24 噪聲污染防治措施評述 ....................................................................................... 28 固體（廢液）污