電池車間工藝流程培訓(xùn)講義(完整版)
【正文】 玻 璃透 明 導(dǎo) 電 層 非 晶 硅 A lNIPT C OA n o d eC a t h o d e+ 532nm波長 可見綠色 + 使用綠光原因：因為非晶硅在 光吸收系數(shù)比較高 + 將硅刻劃掉而沒有傷到導(dǎo)電層，將導(dǎo)電層保留用于電池電極之間的連接用 + 與一次激光之間的距離和刻劃線寬是一個重要的管控點 + 已激光一為基準(zhǔn)線向右偏移 5080um，刻劃激光刻線二 激光刻劃的基本原理（ laser 2） 玻 璃透 明 導(dǎo) 電 層 非 晶 硅5 3 2 n m 綠 激 光+ 做一層或多層結(jié)構(gòu)的金屬材料做電池收集電荷 + 使用鋁材料做一層高放射層，將第一次通過硅層而為被吸收的光放射回硅層，二次吸收 + 將二次激光刻劃的溝道填充，做成內(nèi)聯(lián)電極，形成集成電路 玻 璃導(dǎo) 電 層非 晶 硅 鋁 背 電 極入 射 光鋁 背 電 極 的 鏡 面 反 射 作 用+ 532nm波長的綠激光器 + 刻劃背電極的鋁膜 ,形成內(nèi)部串聯(lián)集成電路 + 不能劃傷透明導(dǎo)電層 + 鋁膜必須完全刻斷 + 線距和刻劃效果 三次激光 c玻 璃導(dǎo) 電 層非 晶 硅 鋁 背 電 極5 3 2 n m 綠 激 光+ 降低薄膜制備過程中的材料內(nèi)應(yīng)力 ,提高材料的品質(zhì) + 改善薄膜成膜結(jié)構(gòu)狀態(tài) ,降低材料缺陷 + 提高薄膜穩(wěn)定
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