【正文】 從那時(shí)起半導(dǎo)體工程取得了重大進(jìn)展但也提出來反問題，即從檢測(cè)半導(dǎo)體的電物理特性的變化檢測(cè)氣體雜質(zhì)。 它們的主要缺點(diǎn)是半導(dǎo)體傳感器的選擇性差，但它們的所具有的優(yōu)點(diǎn)，即靈敏度高， 靈捷 性，體積小和大規(guī)模生產(chǎn)成本低，仍然使它們?cè)跉怏w分析的應(yīng)用中具有很強(qiáng)的競爭力。 在這里，我們將討論半導(dǎo)體金屬氧化物電阻傳感器。 測(cè)量電極 覆蓋在 感測(cè)層 上 。因此，半導(dǎo)體氣體傳感器響應(yīng)的 闡述 是通過理論相互關(guān)聯(lián)的分子過程及半導(dǎo)體表面的電子進(jìn)程。傳感器的設(shè)計(jì)意味著 在特定條件特定參數(shù)下對(duì)傳感器層的參數(shù)和準(zhǔn)備的仿真 。 應(yīng)該指出氮氧化合物 傳感器的研究都是在相當(dāng)高的 NOx濃度中進(jìn)行的 （約 一 百萬分之一） ,目的是為了分析汽車尾氣。 Obvintseva 通過研 究 傳感器（氧化銦 或氧化鋅為基礎(chǔ)的） HCl 暴露產(chǎn)生的特點(diǎn)信號(hào)表面，空氣濕度，工作溫度的不同能使傳感器產(chǎn)生不同的信號(hào)，具體而言，傳感器電阻可以減少或者增加。 最佳的工作溫度是 指 既能可以規(guī)模實(shí)現(xiàn)并使傳感器靈敏工作的溫度。為了提高傳感器的靈敏度，最后兩個(gè)提到的因素的作用必須越小越好。 表 2 列出所有 在信號(hào) /噪聲的比等于 2 的氣體中雜質(zhì)的 最小 濃度，以及在С minR/R0 信號(hào)比例， 在工作區(qū)氣體雜質(zhì)允許的高大濃度 （ .）， 和 日平均濃度空氣（ .）（多個(gè)傳感器采樣。 （ R/R0）相關(guān) 分析信號(hào)。以 In2O3或者 ZnO為基礎(chǔ)的傳感器對(duì) HCL最不敏感。 表 臭氧，二氧化氮，二氧化氯，氯氣和鹽酸濃度產(chǎn)生的信號(hào)方程。圖 3是在計(jì)算 X值的基礎(chǔ)上（見表 1） 例證對(duì)比目標(biāo)雜質(zhì)濃度傳感器的信號(hào)圖。 如圖 所見，在溫度低于240176。 半導(dǎo)體傳感器的氣體分析儀是否適合空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè) 取決于其選擇性。在這一領(lǐng)域的發(fā)展努力是沿著兩條路線進(jìn)行：設(shè)計(jì)用于飛行（短期）和長期應(yīng)用表面大氣監(jiān)測(cè)儀器?？梢钥闯?，這些數(shù)據(jù)吻合。 本研究團(tuán)隊(duì)所開發(fā)的另一個(gè)方面是用于地面的臭氧監(jiān)測(cè)，也是用三氧化鎢為基礎(chǔ)的傳感器。 NIFKHI 在 臭氧的基礎(chǔ)上開發(fā)的半導(dǎo)體傳感器是一個(gè)新的臭氧濃度測(cè)量儀 —— 半導(dǎo)體臭氧計(jì)，由 IFA 和NIFKHI 設(shè)計(jì)。首先，當(dāng) 臭氧濃度產(chǎn)生變化時(shí)半導(dǎo)體臭氧儀產(chǎn)生的信號(hào)通過 DASIB1008AH 記錄下。 盡管如此，大量的研究動(dòng)作正在進(jìn)行，并研究出更多的氣體分析方法，為未來半導(dǎo)體化學(xué)傳感器的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。例如，圖 .7a顯示了臭氧濃度的離散頻譜， ppb，以及半導(dǎo)體臭氧儀生成一個(gè)此濃度范圍內(nèi)的連續(xù)變化的信號(hào)（見圖 .7b 項(xiàng)）。三氧化鎢傳感器 對(duì)于 大氣臭氧 剖面 的記錄 [1999 年 5 月 14 日再阿伯里斯特威斯（英國）附近的一個(gè)臭氧探測(cè) ] [9]：數(shù)據(jù)與（實(shí)線）電化學(xué)氣體分析儀和（虛線）半導(dǎo)體傳感器獲得。在英國幾個(gè)工業(yè)中心進(jìn)行了為期 30 天的一系列的測(cè)量 。 實(shí)驗(yàn) 使 用半天時(shí)間，并揭示了一種氧化銦為基礎(chǔ)的半導(dǎo)體傳感器的電阻變化和大氣臭氧濃度明顯的相關(guān)性。 20世紀(jì) 70 年代以來開展的相關(guān)研究表明，這種分析的做法是完全可能的。在這里討論的氣體雜質(zhì)，需要對(duì) O3 和 NO2進(jìn)行測(cè)量 [4, 20]。值得注意的是， 確認(rèn)在 溫度范圍 [12]內(nèi)金屬氧化物半導(dǎo)體對(duì)氧的 解離 吸附和 非解離吸附 的 已知 數(shù)據(jù)：在高，中，低溫度下 觀察 吸附和非解離 [1, 11, 34]。 圖 吸附 （對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)） [12]）：（○）計(jì)算， 非解離吸附 。 表 ，二氧化氮，氯氣，二氧化氯和氯化氫的最低可檢查濃度在臨界濃度的 R / R 信號(hào) 參 數(shù) C 的指數(shù) X提供了傳感器傳感層與吸附分子之間的相互作用 。 對(duì)傳感器檢測(cè)已知的雜質(zhì)含量，進(jìn)行校準(zhǔn)的相關(guān)實(shí)驗(yàn)。 對(duì)于同樣的化學(xué)成分和氣體制作的傳感器，不同的作者給出的表達(dá)式中的參數(shù) x和 k的值相差很大。傳感器（一）：（ 1）三氧化鎢， 250℃（工作溫度） [15]（ 2）氧化銦：鐵（ 3％）， 420℃ [5， 6]，（ 3）氧化銦，氧化鐵 （ 3％）， 240℃ [18]（ 4）三氧化鎢， 530℃ [9]。在數(shù)十時(shí)間常數(shù)或者幾秒或者十幾分子內(nèi)能檢測(cè)出，這種結(jié)果是可以接受的。在 HCl 檢測(cè) 中 ，對(duì)受體信號(hào)觀察到的最大靈敏度為≤ 200℃ ,發(fā)出的信號(hào)在℃。 為了闡明這種氧化的合適條件，我們計(jì)算了下，在 HCl轉(zhuǎn)換過程中氧化的НС l 在不同的溫度和濕的度大氣中的氧氣反應(yīng)的熱力學(xué)平衡條件。 與此同時(shí)，重要的是與臭氧接觸后 半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)生較大和完全可逆的信號(hào) ，可以可靠地計(jì)量精度高的信號(hào)。傳感器：（一）三 氧化鎢， 250℃ （工作溫度） [15]。模型描述了在空氣中處理傳感器信號(hào) 考慮到傳感器表面上的吸附氧的存在 [2， 12]。 ） [9]。 電阻性傳感器的輸出信號(hào)分析傳感