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陶瓷基板的現(xiàn)狀與發(fā)展分析-文庫吧在線文庫

2025-07-27 14:14上一頁面

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【正文】 熱性能要求苛刻的電路中做導熱通路以及用來制造各種電子元件。本文簡要介紹了目前陶瓷基板的現(xiàn)狀與以后的發(fā)展。   AlN  AlN有兩個非常重要的性能值得注意:一個是高的熱導率,一個是與Si相匹配的膨脹系數(shù)。與其他工藝相比這是一種低壓的工藝?!     ?HTCC (HighTemperature Cofired Ceramic)  HTCC又稱為高溫共燒多層陶瓷,生產制造過程與LTCC極為相似,主要的差異點在于HTCC的陶瓷粉末并無加入玻璃材質,因此,HTCC的必須再高溫1300~1600℃環(huán)境下干燥硬化成生胚,接著同樣鉆上導通孔,以網(wǎng)版印刷技術填孔與印制線路,因其共燒溫度較高,使得金屬導體材料的選擇受限,其主要的材料為熔點較高但導電性卻較差的鎢、鉬、錳…等金屬,最后再疊層燒結成型?! 榱颂岣呋宓膶嵝阅?,一般是減少基板的厚度,超薄型()DBC板可替代BeO,這樣直接敷銅陶瓷基板就能承載較大的電流且溫度升高不明顯,溫升約17℃;,溫升僅5℃左右。雖然目前國內制造技術還需改進,價格也比較昂貴,但其年產增率比Al2O3陶瓷高4倍以上,以后可以取代BeO和一些非氧化物陶瓷?! ′X和銅相比,具有較低的熔點,低廉的價格和良好的塑性,純鋁的熔點只有660℃,′ 106/℃,金屬鋁和氧化鋁陶瓷基板的敷接是物理濕潤,在界面上沒有化學反應,而且純鋁所具有的優(yōu)良的塑性能夠有效緩解界面因熱膨脹系數(shù)不同引起的熱應力,研究也證實Al/Al2O3陶瓷基板具有非常優(yōu)良的抗熱震性能。DAB基板在對高可靠性有特殊要求的器件上具有巨大的潛力,這就使其非常適合優(yōu)化功率電子系統(tǒng)、自動化、航空航天等。此外,HTCC與LTCC在工藝后對必須疊層后再燒結成型,使得各層會有收縮比例問題,為解決此問題相關業(yè)者也在努力尋求解決方案中。一般而言,DPC金屬線路的分辨率在金屬線路深寬比為1:1的原則下約在10~50um之間。然而,DBC產品因受工藝能力限制,使得線路分辨率上限僅為150~300um,若要特別制作細線路產品,必須采用研磨方式加工,以降低銅層厚度,但卻造成表面平整度不易控制與增加額外成本等問題,使得DBC產品不易于共晶/復晶工藝高線路精準度與高平整度的要求之應用。雖LTCC、HTCC、DBC、與DPC等陶瓷基板都已廣泛使用與研究,然而,在高功率LED陶瓷散熱領域而言,DPC在目前發(fā)展趨勢看來,可以說是最適合高功率且小尺寸LED發(fā)展需求的陶瓷散熱基板。再者,LTCC使用網(wǎng)印方式印制線路,使線路本身具有線徑寬度不夠精細、以及網(wǎng)版張網(wǎng)問題,導致線路精準度不足、表面平整度不佳等現(xiàn)象,加上多層疊壓燒結又有基板收縮比例的問題要考量,并不符合高功率小尺寸的需求,因此在LED產業(yè)的應用目前多以高功率大尺寸,或是低功率產品為主。LTCC散熱基板在LED產品的應用上,大多以大尺寸高功率以及小尺寸低功率產品為主,基本上外觀大多呈現(xiàn)凹杯狀,且依客戶端的需求可制作出有導線架 amp。LTCC與HTCC均是采用厚膜印刷技術完成線路制作,厚膜印刷本身即受限于網(wǎng)版張力問題,一般而言,其線路表面較為粗糙,且容易造成有對位不精準與累進公差過大等現(xiàn)象。檢視表一,由四種陶瓷散熱基板的比較可明看出,雖然Al2O3材料之熱傳導率約在20~24之間,LTCC為降低其燒結溫度而添加了30%~50%的玻璃材料,使其熱傳導率降至2~3W/mK左右;而HTCC因其普遍共燒溫度略低于純Al2O3基板之燒結溫度,而使其因材料密度較低使得熱傳導系數(shù)低Al2O3基板約在16~17W/mK之間。直接敷鋁基板以它的高的抗熱震性
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