試談半導(dǎo)體銅線工藝流程-文庫(kù)吧在線文庫(kù)
【正文】 斷裂荷載（g） 510 815 1020 1222 2030 4055 6080 80120 銅焊線的包裝與存放 銅具有較強(qiáng)的親氧性，因此必須對(duì)銅焊線進(jìn)行保護(hù)以延長(zhǎng)其保存期。 F16 Tail control (減少tail too short 報(bào)警) amp。 Menu A 8 amp。 Menu 3 0 amp。61656。61548。61548。61557。61548。 6 Less Contact Power, use force to deform the ball during the contact stage then apply more base power Production issue amp。 銅線開(kāi)封后防止時(shí)間太長(zhǎng)．線有氧化（７２小時(shí)） amp。 調(diào)整吹氣裝置和ETORCE位置，保證保護(hù)良好 amp。 1st amp。 Action: amp。 Bond power 太小或者太大 amp。 如果焊接后有明顯壓斷痕跡，應(yīng)該調(diào)小 base power and force Production issue amp。 Bond power 太小或者太大 amp。 如果報(bào)警后可以直接從capillary 穿下線，應(yīng)該是base power 較小，應(yīng)該調(diào)大base power 或者減小base force amp。 D、及時(shí)和客戶溝通，銅線產(chǎn)品Pad測(cè)試點(diǎn)（探針印）小于20%，同時(shí)要保證一定的鋁層厚度，鋁層厚度對(duì)照表如下圖所示： Wire Thickness Bond pad thickness Metallization Composition amp。m Al, Si, Cu amp。m Al, Si, Cu amp。 建議選擇同城當(dāng)面交易、二手商家的信息，提高警惕。 公司當(dāng)時(shí)準(zhǔn)備的時(shí)候，升級(jí)版本，更改EFO BOX ，加N2H2保護(hù)氣，優(yōu)化參數(shù)。m Al, Si, Cu amp。m Al, Si, Cu amp。 不粘產(chǎn)生頻繁由于銅線的特殊性，鍵合過(guò)程中不粘現(xiàn)象較為嚴(yán)重，在銅線鍵合過(guò)程中出現(xiàn)不粘，應(yīng)從以下方面解決： A、要保證拆封的銅線無(wú)氧化，沾污，拆封的銅線要在48小時(shí)內(nèi)用完。 Action: amp。 tail too short 原因： amp。 Action: amp。 2nd amp。 Bond power 太小 amp。 調(diào)整２nd 焊接參數(shù)（base power and base force)保證tail length 穩(wěn)定． amp。 Capillary 選擇型號(hào)不對(duì) amp。 球不良原因： amp。 4 Longer Time factor amp。61548。61656。61548。61548。 Search high ( 減少 NSOP amp。 F15 (2002)10803 amp。 Menu 1 1216
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