大學(xué)物理薄膜干涉-文庫吧在線文庫
【正文】 紋） ??nb 2?1 22niiee n??? ? ? ?2）相鄰明紋（暗紋）間的厚度差 LD??bn 2?? ??Ln1nD劈尖干涉 nn ?12/n?bb 每一條 紋對應(yīng)劈尖 內(nèi)的一個厚 度，當(dāng)此厚 度位置改變 時，對應(yīng)的 條紋隨之移 動 . 4 ）干涉條紋的移動 Ln?b 例 3 有一玻璃劈尖 , 放在空氣中 , 劈尖夾角 r a d108 5???? , 用波長 的單色光垂直入射時 , 測得干涉條紋的寬度 , 求 這玻璃的 折射率 . nm589???b解 nbbn22??? ???357??????????nbn??2??2）測膜厚 ise1n2n2ios1）干涉膨脹儀 0l 劈尖干涉的應(yīng)用 12 nNe ??l?2?Nl ??1nn1nLd空氣 1?ne? 3）檢驗光學(xué)元件表面的平整度 2aeb???ba4）測細絲的直徑 bLnd ??2?b 例 4 在半導(dǎo)體元件生產(chǎn)中，為了測定硅片上 SiO2薄膜的厚度，將該膜的一端腐蝕成劈尖狀，已知 SiO2 的折射率 n =，用波長 ? =5893埃的鈉光照射后，觀察到劈尖上出現(xiàn) 9條暗紋，且第 9條在劈尖斜坡上端點M處， Si的折射率為 。的綠光全部通過。94 薄膜干涉 一 薄膜干涉 二 薄膜干涉的應(yīng)用 1 . 增透膜和增反膜 2 . 劈 尖 3 . 牛頓環(huán) P 1n1n2n1M2MeL 一 薄膜干涉 ADCD ?ADnBCABnΔ 1232 )( ???c o sA B B C e ??? iACAD s in? 2 t a n s i nei???12s ins innni??2??12 nn ?i D C 3 4 E 5 A 1 ??B 2 ? ?23 2 2 22 1 s in 2 c o sc o s 2 2eΔ n r n e rr ??? ? ? ? ?2 2 2r 2 12 s in 2Δ e n n i
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