【正文】 合工單要求後，方可進行蝕刻。 1. 檢查頻率：a. 首件取2 PNL AOI檢查。2. 使用AOI檢查。1. 檢查頻率：c. 首件取2 PNL AOI檢查。藥水維護：1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。3. 確認各水洗槽水閥是否開啟。4. 將電極移開，並用清水清洗乾淨(jìng)。2. 有鑽周圍孔，應(yīng)同一方向輕輕撕起PE膜，避免殘留PE膜。177。並重測藥液濃度。1. 海棉滾輪。2. 短路→將線路與另一線路不該導(dǎo)通之連接處，用檢修刀刮除；如果短路乃是大範(fàn)圍的（例如吸真空不良），則退洗重新壓膜曝光。Acid：～ N。2. 利用浮動式比重計測量比重。注意事項：1. 檢查齒輪是否損壞，惰輪是否鬆脫或傳動馬達鍊條過鬆。1. 阻抗控制料號，依製程管控表、及特性管製作業(yè)，作業(yè)前蝕刻2片首件、檢查線寬、線距符合管制要求才可進行量產(chǎn)作業(yè)。(3) 自主檢查:除首尾件檢查外，另DES每批量100片時量測2片確認線距、線寬是否符合工單及製程管控表要求直至整批量作業(yè)完成，並記錄於內(nèi)層DES線生產(chǎn)作業(yè)及自主檢驗報表（PSC05F132A）。1kg/cm2。顯影後中檢段放入蝕刻，3oz：177。2. 當(dāng)卡板時：。1. 確認參數(shù)是否在設(shè)定內(nèi)。1. 富有彈性，無破損。2. 藥液添加：2 min/200 PNL。2. 確認循環(huán)水是否打開?！?21. 噴壓：177。1. 富有彈性，無破損。序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 速度70177。4. 操作前先確定手動功能選項中的各項功能按鍵是否都有動作。2. 沖孔時放板方式為光學(xué)點朝上及光學(xué)點距板邊較短者在前。2. 層別銅厚是否正確。2. 解析度依據(jù)板面蝕刻後之最小線寬尺寸除以10為最佳設(shè)定選擇。序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 開路電阻10Ω。5. 每班均做檯面清潔及擦拭。1. 網(wǎng)路是否有連線。序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 非操作VRS人員勿將手置於檯面上，避免被夾傷。6. 當(dāng)有不可修復(fù)而須報廢時，必須告知工程師級以上之幹部，同意後再於密集線路區(qū)鑽3個孔，以利後製程之辨別。 記錄保存期限3年。 記錄保存期限3年。日期Date時間Time料號Part No.批號Lot No.數(shù)量QTY.交期 Delivery Date基板進料檢驗底片A/W作業(yè)者簽名 Operator1Copper THK23Board Size4Scratch On Copper5Board THK板 厚銅 厚Edge Roughness板 邊 粗 糙板 子 大 小板 面 刮 傷/ 撞 傷PSC05F136附件52：藥水分析結(jié)果與添加量報告。TY曝反D/FREVERSE曝偏D/FSHOFT殘銅(IP)缺口NICKS短路SHORT斷路OPEN線寬SIGNAL板厚 M/M小量AOI作業(yè)總數(shù)TOTAL作業(yè)者NAME量產(chǎn)首件批號 (sample註記)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　PSC05F20附件58：沖孔記錄表?！跞瞻?day) □夜班(night) 年(Y) 月(M) 日(D)作業(yè)開始時間Start Time料號Part No.批號Lot No.層別批量生產(chǎn)量曝光機臺樣品乾膜型號首件檢查數(shù)量自主檢查數(shù)量末件檢查數(shù)量底片編號123456上燈下燈燈管使用時數(shù)底片髒點底片刮傷保護膜破損底片顆粒壓傷曝光臺面髒點曝光臺面刮傷能量計數(shù)值設(shè)定光量計數(shù)值顯像後21格能量計數(shù)值設(shè)定光量計數(shù)值顯像後21格總計PSC05F135 審核： 作業(yè)者工號： 姓名：附件55：內(nèi)層DES線生產(chǎn)作業(yè)及自主檢驗報表。 記錄保存期限3年。 記錄保存期限3年。3. 檢修後不良板用紅色平?；@裝，以避免與OK板混到。缺口＜1/3線寬→Pass；缺口＞1/3線寬→送打線。5. 每班均做桌面校正、臺面清潔即擦拭。9. 使用完之治具應(yīng)連同測試程式及點位圖整齊放置於紙箱中並統(tǒng)一放置於測試治具室。5. 針碼為B碼1. 架設(shè)治具時應(yīng)兩人作業(yè)。6. 打點完後請於板面右下角板邊處寫上序號，以供之後VRS人員叫出料號檢修用。3. 解析度之選擇依據(jù)以板面蝕刻後之最小線寬尺寸除以10為最佳設(shè)定選擇。10刻度。8. 吸盤是否磨損嚴重不堪使用。2. ～。1. 烘乾溫度：90177。1. 無殘膜殘留。序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 噴壓：177。2. 抽檢以C＝0 AQL/，並記錄於表單上。2. 剝膜上噴壓力：177。3. 確認噴嘴無阻塞?！?1. 177。以此類推。；：177?！緝?nèi)層DES線生產(chǎn)作業(yè)及自主檢驗報表】【PSC05F132】序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 蝕刻溫度48℃177。另外由於面銅愈厚水池效應(yīng)相對愈大，故需由蝕刻中段撿起，翻面再做第2次蝕刻；翻面順序要求：內(nèi)層是先vcc面朝下為第一次蝕刻，第二次GND面朝下蝕刻。1. 確認各項參數(shù)是否在設(shè)定內(nèi)。6. 按meas。c. 比重控制：～。1. 顯影完之待修補板需每一片檢查固定缺點之地方。序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 針對有固定缺點而已曝光完成之板子。1. 將清水加入標(biāo)準(zhǔn)位置。2. 以手動按下每段所有控制鈕，並檢視輸送ROLLER是否順暢PH值自動添加是否正常。2. 。1. 每校正一次。3. 管制範(fàn)圍：～。5. 依規(guī)定更換水洗水。2. 【內(nèi)層首件檢查表】【PSC05F20】序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 生產(chǎn)前各槽須先加熱到所規(guī)定之溫度。3. 所有內(nèi)層板不論有無線路均應(yīng)以AOI進行首件檢查／末件檢查／自主檢查。序號流程產(chǎn)品、設(shè)備、製程重要之管制特性／作業(yè)條件參數(shù)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關(guān)文件、表單、推移圖、SPC1. 人員將曝光完之板子，由放至於臺車每50 PNL為一單位整齊排放在臺車上。5. PAD單邊需大於3MIL，才可以蝕刻，低於3MIL，退洗重量三次元，重新繪製底片。4. 搬運時輕拿輕放，避免將乾膜刮傷。2. 曝光人員於批量100 PNL時取2 PN