【正文】 用節(jié)水閥門，采取措施避免跑冒滴漏現(xiàn)象；采用節(jié)水型衛(wèi)生器具，節(jié)約用水；提高水的循環(huán)和回收利用，工藝設(shè)備的冷卻水均循環(huán)重復(fù)使用，其重復(fù)率可達(dá)98％。（1）建立和完善清潔生產(chǎn)制度由于清潔生產(chǎn)的全過程的污染控制，涉及到各個部門，因此必須由企業(yè)主要負(fù)責(zé)人全面負(fù)責(zé)，長抓不懈，并由負(fù)責(zé)人出面，按照分工負(fù)責(zé)原則，確定各職能部門的職責(zé)和責(zé)任人員。表20廠界噪聲預(yù)測結(jié)果單位：dB（A）項(xiàng)目東廠界南廠界西廠界北廠界監(jiān)測點(diǎn)噪聲貢獻(xiàn)值晝背景值晝預(yù)測值晝標(biāo)準(zhǔn)值晝60由廠界噪聲預(yù)測結(jié)果可知，項(xiàng)目東、北廠界噪聲晝間預(yù)測值均符合《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB123482008）中2類標(biāo)準(zhǔn)，其中西、南廠界由于緊挨丈八三路和錦業(yè)二路，因車輛較多晝間噪聲背景值有所超標(biāo)，營運(yùn)期對聲環(huán)境影響較小。針對主要噪聲源，對設(shè)備局部進(jìn)行減震降噪和隔聲處理，并將噪聲源風(fēng)機(jī)安置于室內(nèi)，房間安裝雙層隔聲門窗，運(yùn)行時關(guān)閉門窗，均可有效的隔聲。（8）應(yīng)建立危險廢物倉庫檢查維護(hù)制度，定期檢查，發(fā)現(xiàn)墻體、地面等有損壞可能或異常，應(yīng)及時采取必要措施。建設(shè)單位做好運(yùn)行期危險廢物管理工作，可有效防止地下水污染，具體要求如下：（1）項(xiàng)目應(yīng)在項(xiàng)目審批登記時填寫《危險廢物申報登記表》，如在生產(chǎn)活動中產(chǎn)生變更（包括增減），應(yīng)到當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)行政管理部門辦理變更登記。于2011年10月正式開工建設(shè)，2012年12月底建成投入試運(yùn)行。圖6廢水處理站工藝流程圖本項(xiàng)目將增加定員50人，按照生活用水量80L/d3. 噪聲設(shè)備安裝噪聲。4. 固體廢棄物項(xiàng)目運(yùn)行后，固體廢棄物主要有：（1）廢舊塑料和廢包裝材料等；（2）廢腐蝕液、去膠液等各類廢有機(jī)溶劑和廢酸；（3）污水處理站的生物炭；（4）廢機(jī)油；（5）生活垃圾。4. 固體廢棄物施工人員生活垃圾和廢棄設(shè)備包裝物。主要研究方案和技術(shù)路線如圖圖5所示。（1）硅片腐蝕：主要是使用硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水等對硅片進(jìn)行清洗和腐蝕等表面處理；（2）清洗：清洗主要使用氨水、氫氟酸、鹽酸和純水等進(jìn)行表面清潔處理；（3）擴(kuò)散：主要是進(jìn)行高溫?fù)诫s制造PN結(jié)，三次擴(kuò)散摻雜各不相同；（4）光刻：主要是制造圖形，來形成特殊的電結(jié)構(gòu)功能，三次光刻制造的圖形也不同。污染物排放標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)廢氣執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297－1996）中的二級標(biāo)準(zhǔn)及《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB1455493）表2中的相關(guān)要求；職工餐廳油煙排放執(zhí)行GB184832001《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)（試行）》中型規(guī)模標(biāo)準(zhǔn)；廢水排放執(zhí)行《黃河流域（陜西段）污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB61/2242011）二級標(biāo)準(zhǔn)及《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB89781996）二級標(biāo)準(zhǔn)。表12地下水監(jiān)測結(jié)果項(xiàng)目點(diǎn)位2016年9月5日單位標(biāo)準(zhǔn)值項(xiàng)目地上游（袁旗寨新村）項(xiàng)目地附近（傅村）項(xiàng)目地下游（逸翠園小區(qū)）K+mg/L/Na+mg/L/Ca2+mg/L/Mg2+mg/L/Clmg/L/SO42mg/L/pH/~氨氮mg/L≤硝酸鹽mg/L≤20亞硝酸鹽ND（）ND（）ND（）mg/L≤揮發(fā)性酚類ND（）ND（）ND（）mg/L≤氰化物ND（）ND（）ND（）mg/L≤砷ND（）ND（）ND（）μg/L≤汞ND（）ND（）ND（）μg/L≤鉻(六價)ND()ND()ND()mg/L≤總硬度98112108mg/L≤550鉛ND()ND()ND()μg/L≤氟化物mg/L≤鎘ND()ND()ND()μg/L≤鐵ND（）ND（）ND（）mg/L≤錳ND（）ND（）ND（）mg/L≤溶解性總固體372413398mg/L/高錳酸鹽指數(shù)mg/L≤總大腸菌群未檢出2未檢出個/L≤細(xì)菌總數(shù)345277個/100mL≤100備注本次監(jiān)測數(shù)據(jù)僅對本次采樣點(diǎn)位所采集樣品有效。表8 1小時均值統(tǒng)計結(jié)果監(jiān)測項(xiàng)目評價項(xiàng)目SO2NO2濃度范圍（μg/m3）21~3726~51超標(biāo)率（％）00最大超標(biāo)倍數(shù)00GB30952012《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)（μg/m3）500200表924小時均值統(tǒng)計結(jié)果監(jiān)測項(xiàng)目評價項(xiàng)目SO2NO2PM10濃度范圍（μg/m3）25~2836~3994~108超標(biāo)率（％）000最大超標(biāo)倍數(shù)000GB30952012《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)（μg/m3）15080150由監(jiān)測統(tǒng)計結(jié)果可以看出，監(jiān)測期間項(xiàng)目所在區(qū)域環(huán)境空氣中SONO2小時值、24小時均值，PM1024小時均值符合GB30952012《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》中二級標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目建設(shè)地位于高新新區(qū)中部，區(qū)域基礎(chǔ)設(shè)施和配套設(shè)施基本完善。西安高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)位于西安市南郊科研、文教區(qū)，始建于1988年，1991年3月被國務(wù)院批準(zhǔn)為國家級高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)。常年主導(dǎo)風(fēng)向?yàn)闁|北風(fēng)，全年平均東北風(fēng)和偏東風(fēng)頻率為40%；次主導(dǎo)風(fēng)向?yàn)槲髂巷L(fēng)，頻率為9%；靜風(fēng)頻率為29%。整改方案1）、為了更好地減少食堂油煙對大氣的影響，企業(yè)將采取以下措施：更換去除率達(dá)標(biāo)的油煙凈化設(shè)施。2016年9月，西安高新區(qū)中凱環(huán)境檢測有限公司對項(xiàng)目廢水進(jìn)行了監(jiān)測（高環(huán)監(jiān)字（水）2016HJ321）。2016年9月，西安高新區(qū)中凱環(huán)境檢測有限公司對項(xiàng)目廢氣進(jìn)行了監(jiān)測（高環(huán)監(jiān)字（氣）2016HJ325），、 mg/m3，；。本項(xiàng)目生活垃圾集中收集，統(tǒng)一清運(yùn)至生活垃圾填埋場填埋，生活垃圾處理率達(dá)到100%；廢有機(jī)溶劑等危險廢物交由資質(zhì)單位處置。3. 項(xiàng)目建設(shè)與西安市環(huán)境保護(hù)“十三五”規(guī)劃的符合性分析本項(xiàng)目與《西安市環(huán)境保護(hù)“十三五”規(guī)劃》符合性分析，見表7。九、與相關(guān)規(guī)劃、政策的符合性分析建設(shè)項(xiàng)目與西安市總體規(guī)劃的相容性《西安市20082020年城市總體規(guī)劃》中指出，為合理分布生產(chǎn)力和形成城鎮(zhèn)體系，有利于資源開發(fā)、生產(chǎn)發(fā)展和生態(tài)平衡，促進(jìn)城鎮(zhèn)建設(shè)和控制城市人口的增長，城市的布局原則是優(yōu)化布局結(jié)構(gòu)，完善城市功能；保護(hù)古城風(fēng)貌，實(shí)施新舊分治；降低中心密度，發(fā)展外圍新城；顯山露水增綠，塑造城市個性，城市布局形態(tài)為九宮格局，棋盤路網(wǎng)，軸線突出，一城多心。（4）供暖項(xiàng)目辦公區(qū)采用中央空調(diào)供暖。DTS1000222線寬掃描電鏡KLA8100/KLA8100123CV測試儀/NA124SiC高溫外延生長設(shè)備/VP508 GFR125高溫退火/Activator 15050，126碳膜濺射/ULVAC，SME－200127碳膜去除設(shè)備/ULVAC，NE550 128柵氧化高溫氧化爐/　129貼膜ADVANTEK TL/ADVANTEK TL130去膜TAKATORI ATRM2100/TAKATORI ATRM2100131貼膜ADVANTEK TL/ADVANTEK TL132去膜TAKATORI ATRM2100/TAKATORI ATRM2100133芯片參數(shù)測試系統(tǒng)/KEYSIGHT B1505A/B1506A134超聲波清洗機(jī)/　/235超聲波自動鍵合機(jī)/　/136鍵合拉力測試儀/　/137XRAY檢測儀/　/138真空干燥箱/　/339激光打標(biāo)機(jī)/　/140模塊動、靜態(tài)測試系統(tǒng)/定制141熱阻測試儀/定制142浪涌測試儀/定制1表5 項(xiàng)目主要組成情況序號項(xiàng)目組成建設(shè)名稱建設(shè)內(nèi)容與原有工程的依托關(guān)系1主體工程凈化空調(diào)機(jī)組增加FFU（風(fēng)機(jī)過濾器裝置）數(shù)量，將FFU布置占比提高至80%，同時改造回風(fēng)通道、鑄鋁鏤空地板等，新增1臺40000m3/h新風(fēng)機(jī)組（含變頻控制柜）依托現(xiàn)有廠房及空調(diào)凈化系統(tǒng)熱排風(fēng)機(jī)組增加一臺熱排風(fēng)機(jī)機(jī)組，形成1備1用，增加相應(yīng)的分支管路依托現(xiàn)有廠房與排氣筒工藝真空機(jī)組增加1套工藝真空系統(tǒng)（1備1用2臺WS501羅茨干泵組，1個真空儲氣罐，管路、閥門等）依托現(xiàn)有廠房工藝區(qū)改造增添工藝生產(chǎn)設(shè)備，配電、照明等生產(chǎn)輔助動力系統(tǒng)進(jìn)行改造依托現(xiàn)有廠房及生產(chǎn)線,增加生產(chǎn)設(shè)備2輔助工程純水區(qū)改造增10t/h純水處理系統(tǒng)與原系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行冷卻循環(huán)水改造增加1臺冷卻塔，新增1套循環(huán)系統(tǒng)（包括泵組、管道）依托現(xiàn)有冷凍站3儲運(yùn)工程原料儲存氫氣、氧氣改造現(xiàn)有匯流排（軟連接改為彈簧硬管連接）依托現(xiàn)有工程液氮罐區(qū)進(jìn)行改造增裝200m3/h氣化器1套(包括氣化器、管路改造等），備用液氮罐10m3一個，增強(qiáng)氮?dú)夤┙o能力依托現(xiàn)有工程產(chǎn)品儲存存放于成品庫房依托現(xiàn)有工程4公用工程項(xiàng)目供水來自市政供水項(xiàng)目排水系統(tǒng)包括生產(chǎn)廢水、生活污水、雨水排水系統(tǒng)。1建筑晶閘管工藝廠房位于廠區(qū)中部，緊挨西廠界，北側(cè)為汽車庫和綜合辦公樓；4建筑化學(xué)品庫位于1建筑東側(cè)靠北方向，東側(cè)為空地；5建筑動力站位于1建筑東側(cè)和4建筑南側(cè)，東側(cè)為空地。根據(jù)《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》、《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》、《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評價分類管理名錄》的有關(guān)規(guī)定，以及西安市環(huán)境保護(hù)局高新分局對工程環(huán)境管理的要求，該建設(shè)項(xiàng)目應(yīng)進(jìn)行環(huán)境影響評價，編制環(huán)境影響報告表。預(yù)審意見——由行業(yè)主管部門填寫答復(fù)意見，無主管部門項(xiàng)目，可不填。西企科環(huán)境技術(shù)有限公司　　　　　　　　 評價證書類別：乙 級環(huán)評報告－2016　　　　　　　　 評價證書編號：第3604號　　　　　　　　　　　西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報告表（送審稿） 陜西企科環(huán)境技術(shù)有限公司二○一六年十一月三十日建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報告表項(xiàng) 目 名 稱：特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升 和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目建設(shè)單位(蓋章)：西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司 編制日期：2016年11月30日國家環(huán)境保護(hù)總局制47 / 52《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報告表》編制說明《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報告表》由具有從事環(huán)境影響評價工作資質(zhì)的單位編制。同時提出減少環(huán)境影響的其他建議。通過本項(xiàng)目的實(shí)施，建立一個覆蓋晶閘管、SiC器件研制生產(chǎn)基地，將派瑞公司打造成為具有世界一流技術(shù)水平的、能夠提供完整特大功率電力半導(dǎo)體器件產(chǎn)品及其應(yīng)用解決方案的供應(yīng)商。建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模本項(xiàng)目對現(xiàn)有1建筑晶閘管工藝廠房、4建筑化學(xué)品庫、5建筑動力站進(jìn)行技術(shù)升級改造，不涉及土建工程。測試儀/EG2001amp。（3）供電本項(xiàng)目年用電量約為176萬kwh，由市政電網(wǎng)供給。八、項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)政策符合性分析根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）》（2013年修正），本項(xiàng)目為第一類，鼓勵類二十八條信息產(chǎn)業(yè)21新型電子元器件制造，符合國家產(chǎn)業(yè)政策。本項(xiàng)目主要為半導(dǎo)體分立器件制造，其建設(shè)符合西安市國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十三個五年規(guī)劃綱要（草案）的要求。符合固體廢物做好城市污水處理、生活垃圾無害化處理、污泥綜合處置等環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的實(shí)施和日常管理工作，促使項(xiàng)目盡快發(fā)揮環(huán)境效益。本次環(huán)評將現(xiàn)有工程的主要污染物產(chǎn)生及排放情況分析如下：廢氣原有項(xiàng)目在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的工藝廢氣主要包括：表面清洗過程中產(chǎn)生的少量氯化氫、氟化物、硫酸霧以及氨氣，先經(jīng)酸堿中和箱反應(yīng)，然后排入酸堿廢氣洗滌塔（氫氧化鈉）處理達(dá)標(biāo)后通過15m高排氣筒排放；表面處理過程和表面清洗過程中使用的有機(jī)溶劑少量揮發(fā)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣非甲烷總烴，經(jīng)廢氣活性炭吸附塔處理后，由通風(fēng)系統(tǒng)經(jīng)過15m的排氣筒集中排放；食堂產(chǎn)生的廢氣主要為油煙，通過油煙凈化器凈化后排放。食堂餐飲污水先經(jīng)隔油處理，再與辦公區(qū)生活污水一起經(jīng)化糞池處理后排入城市污水管網(wǎng)，主要污染因子為pH、懸浮物、化學(xué)需氧量、氨氮和動植物油。二、現(xiàn)有工程存在的問題及整改方案存在的問題食堂油煙凈化設(shè)施最低去除效率不符合《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB184832001）中75%的要求；現(xiàn)有廢水處理站對含氟廢水處理能力較低。最大積雪深度22cm，年平均氣壓97030Pa。西安是我國內(nèi)陸對外開放城市，是承東啟西、連接南北的地理中心和東西交通大動脈和新歐亞大陸橋的樞紐，享受沿海開發(fā)城市和西部開發(fā)的各項(xiàng)優(yōu)惠政策。擁有高標(biāo)準(zhǔn)的路網(wǎng)、通訊、水、電、氣、暖等公用設(shè)施，有全市一流的中學(xué)、小學(xué)、幼兒園，％。監(jiān)測項(xiàng)目為PMSON