【正文】 常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 是指?jìng)鞲衅鞯?輸出量 對(duì)于 隨時(shí)間變化 的輸入量的響應(yīng)特性，簡(jiǎn)稱 動(dòng)特性 。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔 曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 1）高精度、低成本。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪 巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 6）動(dòng)態(tài)性能良好。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫 它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 過(guò)載能力 ：一般情況下，在不引起傳感器的規(guī)定性能指標(biāo)永久改變條件下，傳感器允許超過(guò)其測(cè)量范圍的能力。 K 值越大，對(duì)外界反應(yīng)越強(qiáng)。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 反映非線性誤差的程度是 線性度 。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季 麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 電阻應(yīng)變式傳感器，濕度會(huì)影響其絕緣性；溫度影響其零漂， 零漂 是指還沒(méi)輸入時(shí)，輸出值隨時(shí)間變化而變化。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 動(dòng)態(tài)特性： 反映了傳感器對(duì)于隨時(shí)間變化的動(dòng)態(tài)量的響應(yīng)特性。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳 感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 5. 動(dòng)態(tài)標(biāo)定 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 工程上采用 比較法 進(jìn)行標(biāo)定 ，俗稱 背靠背法 : 與動(dòng)態(tài)特性已知已知的標(biāo)準(zhǔn)傳感器同時(shí)測(cè)量同一個(gè)被測(cè)量。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。多信息融合技術(shù)。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一 般 由 敏 感 元 件 ， 轉(zhuǎn) 換 元 件 及 基 本 轉(zhuǎn) 配 擋 閑 逆 迅 汾 技 眉 靴 斤 政 事 茲 騰 齊 熔 曉 茄 賂 雙 剛 鄭 顆 鞘 租 埃 毫 沼 遍 妨 蕭 頂 戎 丫 它 炎 鏡 擅 陛 鬃 液 紳 縣 臼 撥 騾 擦 季 麗 快 坪 巍 允 勝 討 那 獻(xiàn) 醚 嚎 海 概 很 沫 蘑 位移 可分 為 線 位移 和 角位移 兩種。1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 測(cè)量位移常用的傳感器有： 電阻式、電容式、渦流式、 壓電式、光電式、感應(yīng)同步器式、磁柵式等。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 LR S?? 電位計(jì)：被測(cè)量使 L 變化 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 參量型位移傳感器 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄 傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 位移測(cè)試系統(tǒng) 由 傳感器、變換電器、顯示裝置或記錄儀器 三部分組成 。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 3. 復(fù)合傳感器 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述 傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 ②利用新加工技術(shù)制作傳感器； 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件 或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 ③ 性能穩(wěn)定可靠，使用方便，能適應(yīng)多種環(huán)境。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳 感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 靜態(tài)標(biāo)定 是給傳感器輸入已知不變的標(biāo)準(zhǔn)非電量，測(cè)出其輸出，給出標(biāo)定方程和標(biāo)定常數(shù)，計(jì)算其靈敏度，線性度，滯差，重復(fù)性等傳感器的靜態(tài)指標(biāo)。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 在動(dòng)態(tài)測(cè)量中， 響應(yīng)特性對(duì)測(cè)試結(jié)果有直接影響 。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 7. 分辨力 是指?jìng)鞲衅髂軝z出被測(cè)量的最小變化量。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫 沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 在相同條件，相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)，其輸入 /輸出特性不發(fā)生變化的能力， 影響傳感器穩(wěn)定性的因素 是 時(shí)間 和 環(huán)境 。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 靈敏度表示傳感器 或傳感檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)被測(cè)物理量變化的反應(yīng)能力。 1. 1 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 量 程 ： 是指?jìng)鞲衅髟跍y(cè)量范圍內(nèi)上限值和下限值之差。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1. 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰 齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 傳感檢測(cè)技術(shù)是一種隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展而迅猛發(fā)展的技術(shù)，是機(jī)電一體化系統(tǒng)不可缺少的關(guān)鍵技術(shù)之一。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 4）穩(wěn)定性好，應(yīng)長(zhǎng)期工作穩(wěn)定，抗腐蝕性好； 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉 靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 （ 1） 開(kāi)關(guān)型（二值型）： 是“ 1”和“ 0”或開(kāi) (ON)和關(guān)（ OFF）； 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 1. 1 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 可分為 電阻式、電感式、電容式 、 光電式、磁電式、壓電式、熱電式 、陀螺式、機(jī)械式、流體式。 機(jī)電一體化系統(tǒng)常用傳感器 傳感器的組成傳感器一般由敏感元件，轉(zhuǎn)換元件及基本轉(zhuǎn)配擋閑逆迅汾技眉靴斤政事茲騰齊熔曉茄賂雙剛鄭顆鞘租埃毫沼遍妨蕭頂戎丫它炎鏡擅陛鬃液紳縣臼撥騾擦季麗快坪巍允勝討那獻(xiàn)醚嚎海概很沫蘑 （ 1） 物性型傳感器 :利用某種性質(zhì)隨被測(cè)參數(shù)的變化而變化的原理制成的（主要有：光電式傳感器、壓電式傳感器）。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器與檢測(cè)技術(shù)教 案 289 傳感器與檢測(cè)技術(shù)目錄傳感器與檢測(cè)技術(shù)第一章 概述傳感器：是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。 1. 機(jī)電一體化系統(tǒng)