稀土磁致伸縮薄膜ppt課件(存儲版)
【正文】 大其應(yīng)用范圍。在 TbDyFe薄膜中獲得納米晶結(jié)構(gòu)可采用： ①首先制備非晶態(tài)薄膜，然后對薄膜進(jìn)行熱處理以形成納米晶；②在濺射過程中對襯底進(jìn)行加熱直接獲得納米晶結(jié)構(gòu)。 分子束外延生長 (MBE)法 離子束濺射 (IBS)法 制備方法 三、研究現(xiàn)狀 真空輝閃蒸鍍 (FE) 磁控濺射法 脈沖激光輔助沉積 三、研究現(xiàn)狀 設(shè)備能長時間連續(xù)地工作 成分易于控制 可得到大面積均勻的膜 易形成高熔點(diǎn)物質(zhì)的膜法 磁控濺射法優(yōu)點(diǎn) 膜與基片之間的粘著力強(qiáng) 三、研究現(xiàn)狀 對于稀土磁致伸縮單層膜，通過改變薄膜成分或優(yōu)化制備條件如濺射功率、 Ar氣壓、退火溫度、襯底溫度，可以改變磁致伸縮單層膜的磁致伸縮和磁學(xué)性能。XXX XXXXX 目錄 ☆ 二 應(yīng)用領(lǐng)域 ☆ 三 研究現(xiàn)狀 ☆
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