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微波放電zzppt課件(2)(存儲版)

2025-02-13 16:57上一頁面

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【正文】 USTC ABCD Lab USTC ABCD Lab USTC ABCD Lab USTC ABCD Lab USTC ABCD Lab USTC ABCD Lab USTC ABCD Lab USTC ABCD Lab 。 E型放電和 H型放電 USTC ABCD Lab 感應(yīng)耦合放電( H型放電) Matching Box RF Power Gas Vacuum chamber USTC ABCD Lab 微波放電( E型放電)簡介 ? 微波放電:微波放電是將微波能量轉(zhuǎn)換為氣體分子的內(nèi)能,使之激發(fā)、電離以發(fā)生等離子體的一種氣體放電形式。 ? 高頻放電中正離子在陰極引起的次級電子發(fā)射過程對氣體擊穿和維持放電沒有重要作用,這是其與直流放電的明顯區(qū)別。
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