電鏡第二期理論知識培訓(xùn)(存儲版)
【正文】 22 二 、 掃描電鏡的構(gòu)造 ? 電子光學(xué)系統(tǒng) ? 信號收集 ?圖象顯示記錄系統(tǒng) ? 真空系統(tǒng) 2/10/2022 電子光學(xué)系統(tǒng) ? 電子槍 ? 電磁透鏡 ? 掃描線圈 ? 樣品室 2/10/2022 電子槍 Electron Gun ? Flament ?Wehnelt Cap ? Anode 2/10/2022 電磁透鏡 Electron Lenses 功能：把電子槍的束斑逐級聚焦縮小，使原來直徑約為 50 ?m束斑縮小成一個只有數(shù)納米的細(xì)小斑點。 2/10/2022 ? 景深是指一個透鏡對高低不平的試樣各部位能同時聚焦成像的一個能力范圍。 樣品制備 2/10/2022 ? 離子濺射也是常用的表面鍍膜方法 ? 其濺射原理見圖。 樣品制備 2/10/2022 電鏡的使用技巧及注意事項： 下面結(jié)合我們的實際總結(jié)一下電鏡的使用技巧及注意事項： 做電鏡圖片一般在高倍數(shù)下就行調(diào)節(jié)，調(diào)好后直接可以轉(zhuǎn)到低倍數(shù)拍攝，無需重新聚焦。 ②圖像畸形。生物樣品幾乎都采用這種方法，但不是能完全消除。另外，應(yīng)盡可能使用低倍觀察。 以盡快的速度觀測和拍攝，使荷電效應(yīng)影響不大時結(jié)束。 2/10/2022 2/10/2022 ? 通過長期、大量的實驗，我們發(fā)現(xiàn)減少荷電效應(yīng)的方法： ①導(dǎo)電法。它會對圖像產(chǎn)生一系列的影響： ①異常反差。 ? 對于需要進(jìn)行元素組成分析的樣品，一般在表面蒸發(fā)輕元素作為導(dǎo)電層如：金屬鋁和碳薄膜層。 ? 鍍層太厚就可能會蓋住樣品表面的細(xì)微 ，得不到樣品表面的真實信息。 二次電子像的分辨率約為 510nm，背反射電子像的分辨率約為 50200nm。 2/10/2022 背散射電子像 如果 A區(qū)的 原子序數(shù)大于 B區(qū)的原子序數(shù) ，則 A區(qū)相對于圖象上是 亮區(qū) ， B區(qū)為 暗區(qū) 。 ? 特征 X射線 ： 當(dāng)樣品原子的內(nèi)層電子被入射電子激發(fā)或電離時，原子就會處于能量較高的激發(fā)狀態(tài)，此時外層電子將向內(nèi)層躍遷以填補(bǔ)內(nèi)層電子的空缺，從而使具有特征能量的 X射線釋放出來。 2/10/2022 掃描電鏡工作原理 電子槍發(fā)射的電子束 經(jīng)過 3個電磁透鏡聚焦 在樣品表面按順序逐行 掃描，激發(fā)樣品產(chǎn)生各種物理信號 :二次電子、背散射電子、特征 X射線等。 因為隨著 θ角增大，入射電子束作用體積更靠近表面層，作用體積內(nèi)產(chǎn)生
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