電鏡第二期理論知識(shí)培訓(xùn)(存儲(chǔ)版)
【正文】 22 二 、 掃描電鏡的構(gòu)造 ? 電子光學(xué)系統(tǒng) ? 信號(hào)收集 ?圖象顯示記錄系統(tǒng) ? 真空系統(tǒng) 2/10/2022 電子光學(xué)系統(tǒng) ? 電子槍 ? 電磁透鏡 ? 掃描線圈 ? 樣品室 2/10/2022 電子槍 Electron Gun ? Flament ?Wehnelt Cap ? Anode 2/10/2022 電磁透鏡 Electron Lenses 功能：把電子槍的束斑逐級(jí)聚焦縮小，使原來(lái)直徑約為 50 ?m束斑縮小成一個(gè)只有數(shù)納米的細(xì)小斑點(diǎn)。 2/10/2022 ? 景深是指一個(gè)透鏡對(duì)高低不平的試樣各部位能同時(shí)聚焦成像的一個(gè)能力范圍。 樣品制備 2/10/2022 ? 離子濺射也是常用的表面鍍膜方法 ? 其濺射原理見(jiàn)圖。 樣品制備 2/10/2022 電鏡的使用技巧及注意事項(xiàng)： 下面結(jié)合我們的實(shí)際總結(jié)一下電鏡的使用技巧及注意事項(xiàng)： 做電鏡圖片一般在高倍數(shù)下就行調(diào)節(jié)，調(diào)好后直接可以轉(zhuǎn)到低倍數(shù)拍攝，無(wú)需重新聚焦。 ②圖像畸形。生物樣品幾乎都采用這種方法，但不是能完全消除。另外，應(yīng)盡可能使用低倍觀察。 以盡快的速度觀測(cè)和拍攝，使荷電效應(yīng)影響不大時(shí)結(jié)束。 2/10/2022 2/10/2022 ? 通過(guò)長(zhǎng)期、大量的實(shí)驗(yàn)，我們發(fā)現(xiàn)減少荷電效應(yīng)的方法： ①導(dǎo)電法。它會(huì)對(duì)圖像產(chǎn)生一系列的影響： ①異常反差。 ? 對(duì)于需要進(jìn)行元素組成分析的樣品，一般在表面蒸發(fā)輕元素作為導(dǎo)電層如：金屬鋁和碳薄膜層。 ? 鍍層太厚就可能會(huì)蓋住樣品表面的細(xì)微 ，得不到樣品表面的真實(shí)信息。 二次電子像的分辨率約為 510nm，背反射電子像的分辨率約為 50200nm。 2/10/2022 背散射電子像 如果 A區(qū)的 原子序數(shù)大于 B區(qū)的原子序數(shù) ，則 A區(qū)相對(duì)于圖象上是 亮區(qū) ， B區(qū)為 暗區(qū) 。 ? 特征 X射線 ： 當(dāng)樣品原子的內(nèi)層電子被入射電子激發(fā)或電離時(shí)，原子就會(huì)處于能量較高的激發(fā)狀態(tài)，此時(shí)外層電子將向內(nèi)層躍遷以填補(bǔ)內(nèi)層電子的空缺，從而使具有特征能量的 X射線釋放出來(lái)。 2/10/2022 掃描電鏡工作原理 電子槍發(fā)射的電子束 經(jīng)過(guò) 3個(gè)電磁透鏡聚焦 在樣品表面按順序逐行 掃描，激發(fā)樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào) :二次電子、背散射電子、特征 X射線等。 因?yàn)殡S著 θ角增大，入射電子束作用體積更靠近表面層，作用體積內(nèi)產(chǎn)生
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