微機電系統(tǒng)第二章mems設(shè)計基礎(chǔ)(存儲版)
【正文】 LAB天生的無縫連接能力。噴頭工藝比較成熟成本也很低廉，但是效果相對前者而言較差。 。 ? 熱噴墨技術(shù)是讓墨水通過細噴嘴，在強電場的作用下，將噴頭管道中的一部分墨汁氣化，形成一個氣泡，并將噴嘴處的墨水頂出噴到輸出介質(zhì)表面，形成圖案或字符。 ? OMSOL Multiphysics 提供豐富的工具，供用戶在圖形化界面中構(gòu)建自己的幾何模型，例如 1D 中通過點、線， 2D中可以通過點、線、矩形、圓 /橢圓、貝塞爾曲線等， 3D中通過球 /橢球、立方體、臺、點、線等構(gòu)建幾何結(jié)構(gòu)，另外，通過鏡像、復(fù)制、移動、比例縮放等工具對幾何對象進行高級操作，還可以通過布爾運算方式進行幾何結(jié)構(gòu)之間的切割、粘合等操作。它能與多數(shù) CAD軟件接口，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的共享和交換，如 Pro/Engineer, NASTRAN, AutoCAD等， 是現(xiàn)代產(chǎn)品設(shè)計中的高級 CAE工具之一。 ? 總體而言， 掌握相關(guān)技術(shù) 無論對哪種目的的設(shè)計都十分重要。 階段： 概念設(shè)計、基本設(shè)計、詳細設(shè)計以及 CAD和仿真 等 3）多能量域耦合 ?要求知識學(xué)科跨度大 ?建模、分析難度大 ?計算量大 特點： 目的： 設(shè)計階段比較方案，檢驗掩模 /工藝可行性 MEMS的 CAD 1）微小結(jié)構(gòu)尺寸 ?尺度效應(yīng)對工作機理的影響 ?晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)對材料性質(zhì)的影響 2） MEMS制造工藝 ?工藝可能改變材料機械 /電性質(zhì) ?與微電子聯(lián)系緊密 設(shè)計時需要考慮的幾個因素 ? 對商業(yè)產(chǎn)品而言，五個因素都很重要；對儀器研發(fā)而言，有必要關(guān)注以上所有的因素，而且與使用的制作技術(shù)有關(guān)；對于技術(shù)探索來說，則可暫不必考慮市場需求。 MEMS設(shè)計軟件 ? ANSYS ? MEMSPRO ? Intellisuite ? CoventerWARE ? C
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