鍍鋁機(jī)結(jié)構(gòu)及功能原理(存儲(chǔ)版)
【正文】 描方式。 ： 包括真空罩，晶片，被蒸發(fā)材料，烘烤加熱裝置，行星盤旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，膜厚監(jiān)控裝置等 。 在真空系統(tǒng)中名詞定義： ? 極限真空 （極限壓強(qiáng)）： 指在給定的條件下，經(jīng)充分抽氣后真空泵所能達(dá)到的最低壓強(qiáng)（最高真空度）。 ? 5坩鍋可做幾個(gè)小的，挑成一圈，盛放不同膜材，要鍍式就轉(zhuǎn)到電子束打擊位置，因此可鍍多層膜。 根據(jù)電子束軌跡，電子槍可分為直射式或偏轉(zhuǎn)式，偏轉(zhuǎn)式電子槍又可分為環(huán)形、 L型和 E型，目前主要是 E型電子槍。 2）電子束的加速： 由于電子帶有電荷，所以可以施加電場(chǎng)加速，所以電子束擁有的功能為1/2mev2＝ eV ， me為電子質(zhì)量，一般 V
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