【正文】 因?yàn)椋鞣N形式的有油真空泵在工作過程中不可避免 的隨同排出的氣體一起排出了大量的油污，這些油污能夠嚴(yán)重的污染環(huán)境。吸附泵，不僅抽速小，液氮的費(fèi)用也很大。對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個(gè)等級(jí)。 ③ 動(dòng)力平衡性好。 螺桿式雙頭干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。容積式泵包括往復(fù)泵、轉(zhuǎn)子泵和齒輪泵等，離心泵和軸流泵等則屬于動(dòng)力式泵。 螺桿泵屬容積式轉(zhuǎn)子泵。 螺桿真空泵在國(guó)內(nèi)外的研究現(xiàn)狀與發(fā)展方向 自從第一臺(tái)工業(yè)上可運(yùn)行的雙頭干式泵 1984年在日本運(yùn)行以來，許多無油真空泵如雨后養(yǎng)筍般迅速發(fā)展起來，其中以日本、美國(guó)、法國(guó)、德國(guó)最為先進(jìn)。英國(guó) Rietschle有限公司根據(jù)螺桿式壓縮機(jī)原理設(shè)計(jì)出一種雙螺桿雙頭干式真空泵，采用了許多新技術(shù)，并已形成批量生產(chǎn) ,該公司已成為世界低壓與真空技術(shù)中的領(lǐng)軍人物之一。只有上海博匯真空設(shè)備有限公司的周寶洪研制了一種雙頭干式真空泵 ??4 ，并申請(qǐng)了專利，但是并未見有成品報(bào)道。當(dāng)然還有一個(gè)影響真空泵抽氣速率的因素，那就是轉(zhuǎn)速。螺桿真空泵的嚙合轉(zhuǎn)子型線必須是滿足嚙合定律的共扼型線，即不論在任何位置，經(jīng)過型線接觸點(diǎn)的公法線必須通過節(jié)點(diǎn)。 (4) 轉(zhuǎn)子型線應(yīng)使封閉容積較小。為了減少流體動(dòng)力損失，使型線 流線型化，又會(huì)增大泄漏三角形等。節(jié)圓的內(nèi)、外均有型線，稱雙邊型線。相對(duì)而言，螺桿壓縮機(jī)的研究國(guó)內(nèi)國(guó)外都進(jìn)行了很多，至今己經(jīng)形成了一些有著優(yōu)異性能的型線，這些型線也可以作為真空螺桿泵型線研究的有益參考。一般陽(yáng)轉(zhuǎn)子為四頭螺桿，陰螺桿為六頭螺桿。 綜合考慮各種型線的有缺點(diǎn)，本文決定選擇多頭雙邊對(duì)稱圓弧型線。對(duì)螺桿泵性能有重大影響的轉(zhuǎn)子型線要素有接觸線，泄漏三角形，封閉容積和齒間面積等 . a. 接觸線 螺桿泵的陰陽(yáng)轉(zhuǎn)子嚙合時(shí)，兩轉(zhuǎn)子齒面相互接觸而形成的空間曲線稱為接觸線 (圖 2. lb中 9)。所以，吸氣封 閉容積的存在，影響了齒間容積的正常充氣。因此，理論上 的接觸線就轉(zhuǎn)化成實(shí)際中的間隙帶。較大的齒間面積使泄漏量占的份額相對(duì)減少，效率得到提高。應(yīng)該指出，所謂對(duì)稱圓弧型線并非全由圓弧組成。 表 的組成齒曲線性質(zhì) 陰轉(zhuǎn)子 陽(yáng)轉(zhuǎn)子 齒曲線 曲線性質(zhì) 齒曲線 曲線性質(zhì) AB 圓弧 HI 圓弧 BC 擺線 I 點(diǎn) C 點(diǎn) IJ 擺線 CD 圓弧 JK 圓弧 D 點(diǎn) KL 擺線 DE 擺線 L 點(diǎn) EF 圓弧 LM 圓弧 FG 圓弧 MN 圓弧 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 12 圖 雙邊對(duì)稱圓弧型線的組成齒曲線圖 b. 轉(zhuǎn)子螺旋齒面方程 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 13 圖 轉(zhuǎn)子螺旋曲面及其坐標(biāo)系 一般曲面 S的直角坐標(biāo)參數(shù)方程用下式表達(dá) : ( , )( , )( , )x x ty y tz z t??????????? ， 或以矢量式 ( , )r r t?? 來表達(dá) 。 T是形成曲 線 c繞 z軸旋轉(zhuǎn)一周 (2? )后軸向前進(jìn)的距離，稱為軸節(jié)距或?qū)С獭Ｔ谧鴺?biāo)系 0039。更為重要的是，保護(hù)了擺線 IJ和 KL的形成點(diǎn) C和 D，有助于減少通過接觸線的泄漏。常用的組成齒曲線主要有點(diǎn)、直線、擺線、圓弧、橢圓及拋物線等。對(duì)稱型線并不存在這一問題。 。由于吸氣封閉容積的存在，使齒間容積在擴(kuò)大的初期，其內(nèi)的氣體壓力低于吸氣口處的氣體壓力。所不同的是普通斜齒輪的任務(wù)是在兩根平行軸之間的任意傳動(dòng)方向上，強(qiáng)制傳遞轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)矩及功率。單頭凹齒面型線的加工要比梯形齒型線稍復(fù)雜，但完全能 在通用的數(shù)控車床上完成，大批量生產(chǎn)時(shí)可以選用鑄造。頭等螺距凹面轉(zhuǎn)子進(jìn)一步采用內(nèi)凹畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 8 齒面法將嚙合齒面上可能發(fā)生干涉的部分全部去除，是齒面成為向內(nèi)凹曲的等螺距螺旋線共軛曲面。 國(guó)外的型線研究主要著重于不對(duì)稱型線，國(guó)內(nèi)也有學(xué)者進(jìn)行這方面的研究并取得了一定的成果。反之，齒頂中心線兩邊的型線不同時(shí)，稱為部對(duì)稱型線。值得指出的是，以上有些因索是相互制約的。 (3) 轉(zhuǎn)子型線應(yīng)形成較小面積的泄漏三角形。 2 螺桿雙頭干式真空泵轉(zhuǎn)子型線的研究 6 2 螺桿雙頭干式真空泵轉(zhuǎn)子型線的研究 常見轉(zhuǎn)子型線比較 目前雙頭干式螺桿真空泵的主要生產(chǎn)廠家多采用單頭等螺距型線，其他還有多頭雙邊對(duì)稱圓弧型線、單頭變螺距梯形螺紋型線、單頭等螺距梯形螺紋型線和等螺距凹齒型線。但是這一點(diǎn)與真空泵的抽氣速率相矛盾。另外還有其他一些文獻(xiàn)對(duì)螺桿真空泵的性能等方面進(jìn)行了較多的研究。在此種背景下誕生的雙頭干式螺桿真空泵則具有了其前輩真空泵類所不具各的很多優(yōu)點(diǎn)，而這些優(yōu)點(diǎn)則保證了雙頭干式螺桿真空泵的先進(jìn)性及在應(yīng)用中的優(yōu)勢(shì)。 螺桿泵按螺桿數(shù)目通常分為單、雙、三三和五螺桿泵，各有優(yōu)缺點(diǎn)，在應(yīng)用時(shí)必須根據(jù)所需要求進(jìn)行合理的選擇才能充分利用其各白特點(diǎn)，更好的實(shí)現(xiàn) I}能、節(jié)材、增效益或滿足某種特殊應(yīng)用要求?？鋸埖恼f，螺桿泵可以輸送任何介質(zhì)。應(yīng)用范圍極為廣泛。造成這一現(xiàn)象的主要原因是由于螺桿泵轉(zhuǎn)子型線較復(fù)雜，加工難度大，需用特制的刀具在專用機(jī)床上進(jìn)行加工。螺桿式雙頭干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長(zhǎng)?？偟膩碚f是兩種不同的需求推動(dòng)開發(fā)出兩種類型的干式泵。對(duì)于這些少數(shù)有著特殊需要的工業(yè)來說，就只能采用無油污的無油泵或水環(huán)式泵類 (濕式泵 )，但這類泵的真空度不高，耗水耗能嚴(yán)重，而且相應(yīng)的工作時(shí)帶有大量的水汽，因此對(duì)于有雙頭干式要求的，又不得不采用繁瑣的物理、化學(xué)吸附，冷凝低溫手段，從而使成本變得極其昂貴。 如需要完整文檔及 cad 圖 等其他文件，請(qǐng)加球球：一九八五六三九七五五 1 緒論 1 1 緒論 概述 1905年德國(guó)人沃爾夫崗 .蓋德發(fā)明了油封式旋片泵，從此各種以油為工作液、潤(rùn)滑劑、密封液的真空泵如雨后春筍般迅速普及，統(tǒng)治了真空設(shè)備市場(chǎng)近百年。 軸的強(qiáng)度計(jì)算 .................................................................. 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 螺桿基本尺寸 .................................................................. 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 curve, and leaks. Keywords： dry(oilfree)vacuum。國(guó)外已發(fā)展出諸多此類 真空泵產(chǎn)品，而在我國(guó)的發(fā)展卻相對(duì)落后。 多頭雙邊對(duì)稱圓弧型線方程 .............................................................. 11 3 螺桿雙頭干式真空 泵工作原理 .................................... 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 實(shí)際排氣量 ............................................................ 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 5 結(jié)論與展望 ..................................