【正文】 由還原尾氣回收的氯硅烷連續(xù)進(jìn)入第一個(gè)塔，塔頂分離出粗三氯氫硅進(jìn)入第二個(gè)塔繼續(xù)分離，塔釜為四氯化硅，去四氯化硅氫化車間。將粗三氯氫硅送入脫輕塔，在此進(jìn)行蒸餾脫二氯氫硅烷及其它輕組分。從濕氫處理塔下部出來(lái)，含固態(tài)雜質(zhì)的汽氣液混合物進(jìn)入鼓泡蒸餾釜并被引至液下。當(dāng)反應(yīng)爐停下維修或更換硅時(shí)，用溫度為 300℃的熱氮?dú)猓?4 小時(shí)內(nèi)將其吹入氯化氫合成工序的氯化氫廢氣處理系統(tǒng)。28三氯氫硅合成爐生產(chǎn)線冷卻系統(tǒng)：該系統(tǒng)是一個(gè)封閉的回路，包括熱水循環(huán)泵將熱水送入反應(yīng)爐夾套，在此處熱水部分蒸發(fā)，移去反應(yīng)熱。b．三氯氫硅合成系統(tǒng)原料硅粉用運(yùn)輸罐送入車間，用單梁吊車，將運(yùn)輸罐提升并安裝在硅粉驗(yàn)收槽的頂部，并將硅粉放入接收槽內(nèi)。在合成爐內(nèi)，用硅粉與氣態(tài)氯化氫反應(yīng)制得三氯氫硅。26b）氯氣處理系統(tǒng)吹洗設(shè)備的廢氣和氯氣輸送管道的廢氣，以及氯氣緩沖罐安全閥泄放的氯氣被送到氯氣處理系統(tǒng)。部分鹽酸由一級(jí)吸收液泵送至鹽酸貯槽。氫氣和氯氣在爐內(nèi)燃燒，反應(yīng)生成氯化氫，反應(yīng)式如下：H2+Cl2=2HCl爐內(nèi)的工作壓力為 到 。在合成爐內(nèi)，通過(guò)氫氣、氯氣混合氣體的燃燒反應(yīng)制得氯化氫。該工藝是大部分物料在系統(tǒng)內(nèi)部循環(huán)的相對(duì)封閉的系統(tǒng)，技術(shù)成熟，生產(chǎn)穩(wěn)定、安全、可靠、產(chǎn)品質(zhì)量最穩(wěn)定。摻雜金屬元素?fù)诫s金屬元素（Fe，Cu，Ni，Cr，Zn）總含量：500pptw表面金屬元素Fe：500pptw/250ppta（最大）Cu：50pptw/25ppta（最大）Ni：100pptw/50ppta（最大）Cr：100pptw/55ppta（最大）Zn：300pptw/130ppta（最大）Na：800pptw/980ppta（最大）表面金屬元素含量采用感應(yīng)耦合等離子體法（ICP）、原子發(fā)射光譜法（AES）或其它類似的方法，測(cè)定多晶硅塊酸腐蝕溶液而確定的。因此，本可研報(bào)告多晶硅價(jià)格按 100 美元/公斤計(jì)，與目前市場(chǎng)價(jià)格相比較低，但隨著全世界多晶硅項(xiàng)目的建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，最終價(jià)格應(yīng)保持在 80美元/公斤左右。七十年代多晶硅廠曾高達(dá) 20 多家，但生產(chǎn)規(guī)模小，年產(chǎn)量都在 30噸以下，生產(chǎn)裝備工藝落后、成本高、缺乏競(jìng)爭(zhēng)力，所以陸續(xù)停產(chǎn)。尤其從 2022 年開(kāi)始，世界太陽(yáng)能光伏發(fā)電市場(chǎng)的高速發(fā)16展帶動(dòng)了我國(guó)太陽(yáng)能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)的巨大發(fā)展。世界主要多晶硅廠情況公 司產(chǎn)能T/A原料：直拉原料；工藝 現(xiàn)反應(yīng)器、產(chǎn)品形狀技術(shù)研發(fā)動(dòng)向及對(duì)應(yīng)產(chǎn)品方向14公 司產(chǎn)能T/A原料：直拉原料；工藝 現(xiàn)反應(yīng)器、產(chǎn)品形狀技術(shù)研發(fā)動(dòng)向及對(duì)應(yīng)產(chǎn)品方向HEMLOCKUSA7400CLH冶金SI；SIHCL3；改良西門子工藝SIEMENS REOCTOR 棒狀研發(fā)能生產(chǎn)粒狀反應(yīng)器；SOG 硅ToKuYamaJap5200ClH 冶金Si；SiHCl 3；改良西門子工藝Siemens 反應(yīng)器；Reoctor 棒狀VLD 工藝技術(shù)，TuBRcator；SOG硅WackerGerman5000ClH 冶金Si；SiHCl 3；改良西門子工藝Siemens 反應(yīng)器；R 棒狀FRB 反應(yīng)器技術(shù)裝置；粒狀 SOG 多晶硅MitsubishiUSA1200ClH 冶金Si；SiHCl 3；改良西門子工藝Siemens 反應(yīng)器；R 棒狀MitsubichJap1600ClH 冶金Si；SiHCl 3；改良西門子工藝Siemens 反應(yīng)器；R 棒狀SumitomoJap700ClH 冶金Si；SiHCl 3；改良西門子工藝Siemens 反應(yīng)棒狀MemeItaly1100 SiHCl3；改良西門子工藝 Siemens 反應(yīng)棒狀MemeUSA2700Al、Na、H H 2SiF；SiH 4；SiH 4熱分解工藝FRB 反應(yīng)器 粒狀硅SGSUSA2300冶金硅、SiClH 2；SiH 4；SiH 4熱分解工藝Siemens 反應(yīng)棒狀研 發(fā) 新 型 反 應(yīng) 器 ；采 用 SiH4熱 分 解 生產(chǎn) 粒 狀 多 晶 硅AsimiUSA2400冶金硅、SiClH 2；SiH 4；SiH 4熱分解工藝Siemens 反應(yīng)棒狀世界高純度多晶硅材料的產(chǎn)量從 2022 年的 30680 噸增長(zhǎng)到 2022 年的 37500 噸左右。1994 年全世界太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)量只有 69MW，而 2022 年就達(dá)到，10 年間就增長(zhǎng)了 20 多倍，特別是 2022 年比上一年增長(zhǎng)了61%。硅材料是生產(chǎn)集成電路和分立器件，如二極管、三極管、大功率整流管（ZP） 、晶閘管（KP） 、電力半導(dǎo)體模塊（GLRIPM） 、功率集成電路（PGC）等的基礎(chǔ)材料。有 494613 公里的低壓線路形成輻射全縣 13 個(gè)鄉(xiāng)鎮(zhèn)，342 個(gè)行政村的輸變電及高壓供電網(wǎng)絡(luò)。老哈河屬遼河二級(jí)支流水系，發(fā)源于河北省七老圖山脈的光頭山，自甸子鄉(xiāng)七家入境與黑里河匯流后，由西南向東北穿越全縣。所用地位置應(yīng)盡量靠近三氯氫硅項(xiàng)目。根據(jù)目前的市場(chǎng)格局和發(fā)展趨勢(shì)，本項(xiàng)目采用立足電路級(jí)，主要面向太陽(yáng)能市場(chǎng)，暫不參與高端市場(chǎng)的建設(shè)方案。由于多晶硅材料嚴(yán)重供不應(yīng)求，高純多晶硅國(guó)際市場(chǎng)供貨價(jià)格 2022年上漲到了 250～300 美元/公斤，目前國(guó)際市場(chǎng)長(zhǎng)期供貨價(jià)格超過(guò)了300 美元/公斤，今年價(jià)格還將進(jìn)一步上漲到 350 美元/公斤。太陽(yáng)能作為最重要的可再生能源之一，由于其清潔、衛(wèi)生、安全、資源豐富等多方面的優(yōu)勢(shì)，其發(fā)展越來(lái)越得到人們的重視。 項(xiàng)目提出的背景及投資的必要性多晶硅材料作為制造集成電路硅襯底、太陽(yáng)能電池等產(chǎn)品的主要原料，是發(fā)展信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)的重要基石。1年產(chǎn) 3000 噸電子級(jí)多晶硅建設(shè)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告2目 錄第一章 總論 .....................................................1 概述 .........................................................1 項(xiàng)目名稱、主辦單位、建設(shè)地點(diǎn) ...........................1 編制依據(jù)和原則 .........................................1 項(xiàng)目提出的背景及投資的必要性 ...........................2 項(xiàng)目建設(shè)的有利條件 ...........................................5 概況 .............................................5 項(xiàng)目區(qū)水資源概況 .......................................6 供電情況 ...............................................7 當(dāng)?shù)亟煌ㄟ\(yùn)輸現(xiàn)狀 .......................................7 項(xiàng)目研究范圍 .................................................8 工藝生產(chǎn)裝置 ...........................................8 輔助生產(chǎn)裝置 ...........................................8 公用工程設(shè)施 ...........................................8 其它 ...................................................9 項(xiàng)目投資 .................................................9 項(xiàng)目主要經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo) .....................................9第二章 市場(chǎng)預(yù)測(cè) ...................................................11 產(chǎn)品用途 ....................................................11 市場(chǎng)預(yù)測(cè)分析 ................................................12 國(guó)外市場(chǎng)分析 ..........................................12 國(guó)內(nèi)市場(chǎng)分析 ..........................................14 產(chǎn)品市場(chǎng)價(jià)格分析 ............................................17第三章 生產(chǎn)規(guī)模和產(chǎn)品方案 .........................................19 生產(chǎn)規(guī)模 ....................................................19 產(chǎn)品方案 ....................................................19第四章 工藝技術(shù)方案 ...............................................213 工藝技術(shù)方案的選擇 ..........................................21 工藝技術(shù)概況 ..........................................21 工藝技術(shù)方案的確定 ....................................22 工藝流程 ..............................................23 工藝裝置 ....................................................24 三氯氫硅車間 ..........................................24 氯硅烷提純車間 ........................................29 多晶硅車間 ............................................32 高純多晶硅后處理工序 ..................................36 硅芯制備工序 ..........................................38 氫氣制備及凈化車間 ....................................38 產(chǎn)品產(chǎn)量和原材料、輔助材料及公用工程消耗定額及消耗量 .......40 產(chǎn)品產(chǎn)量 ..............................................40 原材料、輔助材料及公用工程消耗定額及消耗量 ............40 自控技術(shù)方案 ................................................41 簡(jiǎn)述 ..................................................41 控制水平 ..............................................42 儀表選型 ..............................................42 儀表電源及儀表空氣 ....................................43 主要設(shè)備的選擇 ..............................................43 設(shè)備選擇原則 ..........................................43 主要設(shè)備選型 ..........................................43 主要設(shè)備表 ............................................45第五章 原料、燃料及動(dòng)力供應(yīng) .......................................47 主要原材料 ..................................................47 工業(yè)硅粉 ..............................................47 液氯 ..................................................48 脫鹽水 ................................................48 氫氣 ..................................................494 輔助材料 ....................................................49 苛性鈉 ................................................49 生石灰 ................................................50 氫氟酸 .................................