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【正文】 TiO SiO2Al2O3 和 TiO2系統(tǒng)的分離膜 (3) 光學(xué)效應(yīng)膜 著色膜、減反射膜、高反射膜、電致變色膜 (4) 功能膜 鐵電、壓電、導(dǎo)電與超導(dǎo)膜等 溶膠 凝膠法 溶膠 凝膠法 溶膠 凝膠法的缺點 (1) 原料成本較高 (2) 存在殘留小孔洞 (3) 存在殘留的碳 (4) 較長的反應(yīng)時間 溶膠 凝膠法在鐵電薄膜 制備中的應(yīng)用 鐵電研究可大體分為四個階段 : 第一階段是從 1920年法國人 Valasek發(fā)現(xiàn)了羅息鹽的極化， 導(dǎo)致了“鐵電性”概念的出現(xiàn)開始 第一階段是 1940年 ~1958年。如離子 的擴散速率在以水為介質(zhì)的凝膠中與水溶液中差不多 實際上，凝膠的內(nèi)部是由固－液 (或固 氣 )兩相構(gòu)成的分散體 系，其中，分散介質(zhì)是連續(xù)的，分散相也是連續(xù)的 溶膠 凝膠法 凝膠可分為彈性凝膠和非彈性凝膠 凝膠 (Gel)是具有固體特征的膠體體系，被分散的物質(zhì)形成連續(xù)的網(wǎng)狀骨架，骨架空隙中充有液體或氣體，凝膠中分散相的含量很低，一般在 1％～ 3％ 之間 溶膠 凝膠法 由柔性的線型大分子物質(zhì)等所構(gòu)成的凝膠屬于彈性凝膠，又 稱為可逆凝膠 由剛性質(zhì)點 (如 SiO TiO V2O5等 )所組成的溶膠所形成的 凝膠屬于非彈性凝膠 可逆凝膠 非可逆凝膠 溶膠 凝膠法 形成凝膠的兩種途徑： 2. 膠體的形成 (1) 干凝膠吸收親和性液體 (溶劑 )形成凝膠 (2) 溶液或溶膠在適當?shù)臈l件下分散顆粒相聯(lián)成網(wǎng)絡(luò)而形成凝膠，這種過程稱為膠凝 溶膠 凝膠法 由溶液或溶膠轉(zhuǎn)變成凝膠的基本條件： (1) 降低被分散物質(zhì)在溶劑中的溶解度，以便分散相的析出 (2) 析出的分散顆粒相聯(lián)成連續(xù)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，而不是聚結(jié)成大顆粒沉降下來 溶膠 凝膠法 形成凝膠的主要方法： (1) 改變溫度 利用升降溫來實現(xiàn)膠凝過程是一種常用方法 (2) 轉(zhuǎn)換溶劑 用分散相溶解度較小的溶劑替換溶液或溶膠中原有溶劑可使體系膠凝 (3) 加電解質(zhì) (4) 化學(xué)反應(yīng) 交聯(lián)反應(yīng)：能使分子鏈相互聯(lián)接的化學(xué)反應(yīng)叫交聯(lián)反應(yīng) 進行交聯(lián)反應(yīng)是使高分子溶液或溶膠產(chǎn)生膠凝的主要手段 溶膠 凝膠法 影響膠凝的一些因素： (1) 溶膠的濃度 膠凝過程可以看作質(zhì)點間的相互吸引，濃度大時質(zhì)點間距離近，膠凝速度快。 PZT具 有非常優(yōu)秀的鐵電性能，被公認為最有前途的鐵電材料之一， 具有高的居里溫度和剩余極化值 溶膠 凝膠法在鐵電薄膜 制備中的應(yīng)用 Pt PZT Ti SiO2 Si PZT作為鐵電存儲材料的原理 在鐵電薄膜的許多應(yīng)用中，鐵電存儲器尤其引人注目 鐵電存儲器具有非易失性、快速存取與抗輻射等特點， 使得它在計算機、航空航天、軍工國防領(lǐng)域呈現(xiàn)廣闊的 應(yīng)用前景，引起全世界科技界的極大關(guān)注 圖 17 美國軍用飛機中的非揮發(fā)存儲器 (1988) Fig. 17 NVRAM used in fighter planes of U. S. A. 鐵電薄膜存儲器主要優(yōu)點是其非揮發(fā)、快速存取、抗輻射、 低工作電壓、寬工作溫度和與大規(guī)模集成電路工藝兼容等 鐵電薄膜制備方法 濕化學(xué)法：包括溶膠－凝前法（ SolGel）、金屬有機物分解 法 (MOD)和水熱法； 物理氣相
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