傳感器新技術(shù)ppt課件-免費(fèi)閱讀
【正文】 Optoelectro. Eng. 概述 (微型化、智能化、網(wǎng)絡(luò)化 ) 微機(jī)械傳感器 智能化傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) (小結(jié) ) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 智能化傳感器 傳感器技術(shù)智能化的含義 基本傳感器 智能化傳感器中的軟件 典型應(yīng)用 發(fā)展前景 ? 標(biāo)度變換技術(shù) ? 數(shù)字調(diào)零技術(shù) ? 非線性補(bǔ)償 ? 溫度補(bǔ)償 ? 數(shù)字濾波技術(shù) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 差動輸出的微結(jié)構(gòu)諧振式壓力傳感器 邊界結(jié)構(gòu)梁諧振子2梁諧振子1環(huán)形膜真空罩14. 10 .6 差 動輸出的微結(jié)構(gòu)諧振式壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖 硅諧振式壓力微傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖? ? ? ??????????? ???? SrSp yxpwyxSyxpwC0000 ,1ddεd,?????? ? 222222m a xS, 11, ???????? ????????? ?? AyAxHWyxpw42m a xS, 192)1(49 ????????HAEpW ?? 特性方程 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 3. 傳感器技術(shù)的發(fā)展趨勢。 Optoelectro. Eng. 傳感器技術(shù)及應(yīng)用 主講教師：樊尚春 教授 北京航空航天大學(xué) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. ? 敏感結(jié)構(gòu) ? 工作機(jī)理 ? 特性方程 ? 典型應(yīng)用 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硅電容式表面微機(jī)械陀螺
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