傳感器與檢測技術課件第二章-4光柵-免費閱讀
【正文】 此種方法被稱為四倍頻細分法 。 5. 細分技術 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 ?另一種方法是采用柵距細分技術，在一個柵距即一個莫爾條紋信號變化周期內 , 發(fā)出 n脈沖 , 每個脈沖代表原來柵距的 1/n。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 ? 由于采用不同形式的光柵，光學系統(tǒng)也各不相同，常采用的光學系統(tǒng)有： ? (1)透射式光路 ? (2)反射式光路 3. 光學系統(tǒng) 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 （ 1） 透射式光路 ? 光源 5發(fā)出的光線經準直透鏡 4變成平行光，入射到指示光柵3上，經過指示光柵3和標尺光柵 2，再透射到光敏元件 1上。 ? 光柵運動方向改變，莫爾條紋的運動方向也作相應改變。 如對于 25線 /mm長光柵而言， W=,若 θ=，則 BH =(這樣，可把肉眼看不 見的光柵位移變成為清晰可見的 莫爾條紋移動，可以用測量條紋 的移動來檢測光柵的位移。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 當指示光柵和標尺光柵的線紋相交一個微小的夾角時由于光的干涉效應，兩塊光柵的刻線相交處，光會從縫隙透過，形成亮帶（如圖 aa線），而在一塊光柵的刻線與另一塊光柵的縫隙相交處形成暗帶（ bb），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，這些條紋稱為莫爾條紋。第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 二、光柵式位移傳感器 ? 光柵式位移傳感器有測量 線位移 的 長光柵 和測量 角位移 的圓光柵 。 條紋方向與刻線方向近似垂直。可以 實現(xiàn)高靈敏的位移測量 ) 莫爾條紋的特點 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 誤差的平均效應 莫爾條紋由光柵的大量刻線形 成 ， 對線紋的刻劃誤差有平均抵 消作用 ， 能在很大程度上消除短 周期誤差的影響 。查看莫爾條紋的上下移動方向，即可確定主光柵左右移動方向 . ? 莫爾條紋的光強度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律變化。 ?一般標尺光柵固定不動，而光源、指示光柵和光敏元件固定在被測位移體上，莫爾條紋的移動信號被光敏元件接收。由于細分后計數脈沖頻率提高了 n倍 , 因此也稱之為 n倍頻。 5. 細分技術 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 光柵傳感器的應用 長度計 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感
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