【正文】 密表面垂直方向nm分辨率測量。測針隨表面起伏上下移動(dòng)，引起杠桿繞支點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)相位光柵轉(zhuǎn)動(dòng)，光電探測器探測入射到相位光柵的激光發(fā)生的衍射干涉條紋移動(dòng)，得到相位光柵位移，進(jìn)而得到測針起伏，從而得到表面高度分布。③邁克爾遜白光干涉顯微鏡白光干涉顯微鏡，是實(shí)現(xiàn)白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測量和基于白光干涉的可溯源原子力掃描探針顯微鏡的基礎(chǔ)。具體各部分技術(shù)方案如下：①基于雙正交衍射光柵干涉的二維位移同步計(jì)量當(dāng)一束準(zhǔn)直激光束垂直入射到柵線和工作面都互相平行的兩透射正交衍射光柵，它被它們多次衍射，在柵線方向產(chǎn)生衍射干涉特征。本項(xiàng)目擬開發(fā)高端表面形貌測量系列儀器，包括①大范圍觸針掃描表面形貌綜合測量儀； ②白光干涉垂直掃描表面形貌綜合測量儀；③可溯源原子力探針掃描顯微鏡。如星空探測、點(diǎn)火工程、同步輻射工程中，諸多超精密平面和曲面鏡面的制備，需要既有納米分辨率、又有大范圍的表面測量分析手段來進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)測和控制；在我國重大專項(xiàng)高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造裝備專項(xiàng)中，迫切需要大范圍、高精度自由曲面綜合測量、分析系統(tǒng)，以用于精密加工工藝分析；在極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)中，要求能對(duì)微結(jié)構(gòu)和微納形貌進(jìn)行測量分析的的儀器系統(tǒng)。表2序號(hào)名稱簡稱價(jià)格（萬）成本（萬）利潤（萬）技術(shù)利潤（萬）每年銷售（條）合作10年銷售（條）總技術(shù)利潤（萬）1圓錐滾子軸承全自動(dòng)全參數(shù)檢測裝配線完整版36030654181101802圓錐滾子軸承全自動(dòng)裝配線簡裝版120903063301803圓錐滾子軸承全自動(dòng)多參數(shù)檢測裝配線檢測版130~35090~260~～220240總超額技術(shù)利潤（萬）600（四） 高精度制造計(jì)量、測量器具與儀器該項(xiàng)目已獲得2011年國家重大科學(xué)儀器專項(xiàng)。所以，圓錐滾子軸承自動(dòng)裝配線處于發(fā)展的起步階段，市場前景良好，誰先抓住機(jī)遇，誰就會(huì)占領(lǐng)這一市場。 目前我國滾動(dòng)軸承年產(chǎn)量為80億套，其中，圓錐滾子軸承占的比重大約10%，年產(chǎn)量為8億套左右。預(yù)計(jì)每臺(tái)簡易自動(dòng)圓錐滾子軸承裝配線市場價(jià)在120萬元人民幣以上，利潤為20萬元人民幣，%。該裝配線為綠色環(huán)保產(chǎn)品，環(huán)保設(shè)計(jì)，無污染。進(jìn)入二十一世紀(jì)后，我國軸承制造商對(duì)軸承的自動(dòng)生產(chǎn)線要求日益迫切，現(xiàn)在勞動(dòng)力緊缺和勞動(dòng)力成本的大幅提高進(jìn)一步加劇了軸承行業(yè)自動(dòng)生產(chǎn)線擴(kuò)展的趨勢。進(jìn)入園區(qū)后，結(jié)合電磁探傷的領(lǐng)先技術(shù)，開拓汽車行業(yè)的自動(dòng)化探傷產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，研發(fā)取代曲軸凸輪軸磁粉探傷的數(shù)字化探傷機(jī)床、取代軸承鋼珠、滾子、軸承座等磁粉探傷的數(shù)字化探傷機(jī)床、汽車生產(chǎn)過程的測量和檢測設(shè)備等，保持在石油、煤礦行業(yè)領(lǐng)先水平，拓展汽車制造業(yè)的探傷設(shè)備與服務(wù)能力。依托學(xué)校和工程中心承擔(dān)的國家和省市重大科技項(xiàng)目，如“973”、“數(shù)控重大專項(xiàng)（04）”、 “IC重大專項(xiàng)(02)”、 “重大科學(xué)儀器專項(xiàng)”、 “數(shù)控一代專項(xiàng)”等，形成基礎(chǔ)突破、應(yīng)用領(lǐng)先、服務(wù)優(yōu)越的創(chuàng)新模式。先后研制出激光切焊一體化加工裝備、全身伽馬刀、數(shù)控曲軸磨床、重型七軸五聯(lián)動(dòng)車銑復(fù)合加工機(jī)床、高性能RFID標(biāo)簽封裝裝備、系列化檢測裝備等。所依托的主體學(xué)科——機(jī)械工程學(xué)科是華中科技大學(xué)創(chuàng)始學(xué)科之一。（三）建立高端制造裝備與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義重大因此，加快建立支持區(qū)域發(fā)展的高端制造裝備與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園意義十分重大：破解多學(xué)科交叉、創(chuàng)新鏈條銜接、產(chǎn)學(xué)研用合作的綜合性難題，走智能制造裝備自主創(chuàng)新之路，打破國外的技術(shù)封鎖和限制，確保我國的產(chǎn)業(yè)安全和國防安全；在制造裝備領(lǐng)域，培養(yǎng)和造就大量有創(chuàng)新意識(shí)、團(tuán)隊(duì)精神和實(shí)踐能力的高素質(zhì)高端人才，為實(shí)現(xiàn)2020年躋身創(chuàng)新型國家、人才資源強(qiáng)國目標(biāo)作出貢獻(xiàn)；突破我國制造裝備產(chǎn)業(yè)的技術(shù)瓶頸，用智能制造技術(shù)提升和改造傳統(tǒng)制造裝備，支撐我國高端裝戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，實(shí)現(xiàn)我國高端裝備制造業(yè)的躍升發(fā)展；創(chuàng)新發(fā)展節(jié)能、降耗、減排的智能制造共性技術(shù)，并在相關(guān)產(chǎn)業(yè)中加速推廣, 才能保證我國相關(guān)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展及傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的提升，促進(jìn)我國由中低端制造大國向高端制造強(qiáng)國轉(zhuǎn)變。是搶占制造裝備發(fā)展制高點(diǎn)的重點(diǎn)，它將引領(lǐng)裝備制造業(yè)發(fā)展的新潮流。（二）高端制造裝備與技術(shù)為產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)提供了發(fā)展良機(jī)高端制造裝備是具有感知、分析、控制、執(zhí)行、加工功能的制造裝備，它是先進(jìn)制造、信息和智能技術(shù)的集成和深度融合。然而，在我國無論是國家層面還是區(qū)域?qū)用?，制造業(yè)普遍面臨“大而不強(qiáng)”的格局，迫切需要通過技術(shù)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型升級(jí)。2010年，經(jīng)濟(jì)總量已躍居全球第二位。（一）制造業(yè)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的需求迫切制造業(yè)是國家的基礎(chǔ)和戰(zhàn)略支柱產(chǎn)業(yè)，在國民經(jīng)濟(jì)和區(qū)域發(fā)展中占有重要的地位。按單獨(dú)經(jīng)濟(jì)體排位，廣東制造業(yè)增加值位列世界第7位。作為制造業(yè)基礎(chǔ)的裝備制造業(yè)仍然薄弱，中低端產(chǎn)品居多，高端制造裝備主要依靠進(jìn)口，嚴(yán)重影響了東莞制造業(yè)的結(jié)構(gòu)調(diào)整和升級(jí)。智能化是裝備發(fā)展的必然發(fā)展趨勢：當(dāng)前信息技術(shù)、傳感技術(shù)快速發(fā)展，逐步融入制造裝備和過程，裝備的智能化和制造過程的自動(dòng)化，已成為必然發(fā)展趨勢。高端制造裝備是實(shí)現(xiàn)制造水平整體提升的有效保障：發(fā)展能制造裝備，推進(jìn)其在制造業(yè)中的應(yīng)用，可大大提高制造過程的自動(dòng)化和智能化水平，大幅度提高生產(chǎn)效率，降低能源資源的消耗，提高產(chǎn)品技術(shù)水平和質(zhì)量。早在1994年，就主持國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目“智能制造技術(shù)基礎(chǔ)”，2005年主持973項(xiàng)目“數(shù)字化制造基礎(chǔ)研究”，2010年獲滾動(dòng)支持。已經(jīng)聚集了一批“院士、千人學(xué)者、長江學(xué)者、國家杰青”領(lǐng)銜的優(yōu)秀團(tuán)隊(duì)，包括2名科學(xué)院院士、3名工程院院士、3名中組部千人學(xué)者、9名長江學(xué)者、5名國家杰青、12名教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才；擁有基金委“高性能數(shù)字制造裝備的基礎(chǔ)研究”創(chuàng)新群體和教育部“數(shù)字化設(shè)計(jì)與制造”創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，解決重大需求的能力較強(qiáng)。圍繞高端裝備的三大關(guān)鍵技術(shù)和裝備：感知、驅(qū)動(dòng)、控制，布局園區(qū)的產(chǎn)業(yè)和創(chuàng)新。（二）高速高精電磁無損檢測裝備及其附件該產(chǎn)品技術(shù)是華中科技大學(xué)長期研究的項(xiàng)目，獲得包括國家發(fā)明獎(jiǎng)在內(nèi)的多項(xiàng)獎(jiǎng)勵(lì)，2011年產(chǎn)值已達(dá)6000萬元，生產(chǎn)車間5000m2。（三）圓錐滾子軸承全自動(dòng)數(shù)字化裝配線隨著我國機(jī)械工業(yè)和汽車工業(yè)的發(fā)展，特別是中國成為世界的加工中心，國外供應(yīng)商在中國不斷地加大采購力度，對(duì)圓錐滾子軸承的產(chǎn)量和質(zhì)量都提出了更高的要求。該裝配線采用計(jì)算機(jī)數(shù)字化檢測技術(shù)，首次同時(shí)檢測了圓錐滾子軸承七項(xiàng)參數(shù)：漏滾子、摩擦力矩、裝配高、內(nèi)圈徑向跳動(dòng)、內(nèi)圈軸向跳動(dòng)、外圈徑向跳動(dòng)、外圈軸向跳動(dòng)。目前每臺(tái)全自動(dòng)圓錐