改善fab良率的最佳方案-全文預(yù)覽
【正文】 測(cè)試數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián) 要實(shí)現(xiàn)支持BKM，需要的功能之一便是：能夠連貫地將測(cè)試前后的顆粒檢測(cè)結(jié)果，與工藝區(qū)域、正在進(jìn)行的測(cè)試、以及正在檢驗(yàn)的設(shè)備的部件關(guān)聯(lián)起來(lái)，以便能夠準(zhǔn)確地計(jì)算正在檢驗(yàn)的工藝或者設(shè)備對(duì)于顆粒的貢獻(xiàn)。為了滿足這種鏈接的需求，以及滿足監(jiān)控處理、測(cè)試結(jié)果的特定組織報(bào)告的需求， 我們決定設(shè)計(jì)一種新的用戶界面，使用戶能夠進(jìn)入已經(jīng)存在的缺陷數(shù)據(jù)庫(kù)以及其他的數(shù)據(jù)庫(kù)，以便能夠以簡(jiǎn)單易用的界面對(duì)設(shè)備缺陷進(jìn)行控制。雖然擁有一個(gè)高級(jí)的在線SPC系統(tǒng)，但是在回顧了設(shè)備點(diǎn)檢使用的情況后，大家認(rèn)為，把SPC圖表功能添加到缺陷分析系統(tǒng)中，要比為SPC圖表系統(tǒng)研發(fā)缺陷分析能力更加有效?！ ?shù)據(jù)系統(tǒng) 針對(duì)缺陷監(jiān)控已經(jīng)建立的方法是，從每一次的檢測(cè)中取得顆粒增加的數(shù)量，將其加入到SPC控制圖中。并不是每一項(xiàng)措施都需要基礎(chǔ)架構(gòu)的變化，尤其是在第一個(gè)層次，因此應(yīng)該并行地實(shí)施BKM和架構(gòu)改進(jìn)?！ ?選擇能夠代表生產(chǎn)過(guò)程的測(cè)試方法。它們被收錄在兩個(gè)BKM文檔中?！ 』A(chǔ)架構(gòu)必須支持的典型的組織矩陣和不同焦點(diǎn)，如圖3所描述。重大的組織變更超出了這個(gè)小組的職權(quán)范圍，但是方法卻必須要遵循已知的最佳案例。比如，顆粒監(jiān)控的第一步，可能要求刻蝕操作工（組織）通過(guò)追蹤制造執(zhí)行系統(tǒng)（MES）中的點(diǎn)檢片，來(lái)遵循設(shè)備驗(yàn)收的規(guī)范（方法）， 但是下一步可能要求良率操作工（組織）通過(guò)使用缺陷分析軟件（系統(tǒng)）來(lái)遵循分析規(guī)范（方法）。這對(duì)于設(shè)備缺陷的控制過(guò)程的確是正確的?！ ∵@個(gè)缺陷控制小組認(rèn)為：要完成缺陷降低的任務(wù)，最有效的方法，就是推動(dòng)迅速?gòu)氐椎迷谒泄に囍袑?shí)施已經(jīng)存在的最佳實(shí)踐案例，同時(shí)提供一個(gè)基礎(chǔ)來(lái)支持高效、一致地運(yùn)用這些案例?！ ?晶圓廠中的人并不是均等地?fù)碛腥毕轀y(cè)量和結(jié)果分析的能力?！ 〗档腿毕莸耐緩健 ∵@個(gè)缺陷控制小組決定首先來(lái)分析整個(gè)工廠范圍內(nèi)現(xiàn)存的設(shè)備缺陷控制方法，以發(fā)現(xiàn)改進(jìn)的機(jī)會(huì)?！ ?002年，在LSI 的Gresham晶圓廠里，出于新技術(shù)導(dǎo)入和良率經(jīng)濟(jì)效益的考量，要求設(shè)備的顆粒水平降低50%。對(duì)以上兩者都非常關(guān)鍵的是如圖1所示的簡(jiǎn)單的設(shè)備顆粒驗(yàn)收檢測(cè)。這種新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)叫作Yield DRIVER，它意味著通過(guò)設(shè)備的明顯改進(jìn)而實(shí)現(xiàn)缺陷的降低。對(duì)設(shè)備的缺陷狀況做出的判斷，對(duì)于器件的良率有非常重要的影響。改善Fab良率的最佳方案 很久以來(lái)，定期檢測(cè)每個(gè)工藝步驟增加的缺陷來(lái)驗(yàn)收用于生產(chǎn)的設(shè)備，已經(jīng)成為半導(dǎo)體業(yè)的慣例。這種方法調(diào)研了設(shè)備缺陷驗(yàn)收的整個(gè)企業(yè)過(guò)程，建立了一個(gè)新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)構(gòu)造來(lái)支持所有人在這方面的努力。 良率和生產(chǎn)率 IC制造工廠利潤(rùn)率中最高的兩個(gè)杠桿因素是芯片的良率和設(shè)備的生產(chǎn)率。結(jié)果之一便是如何進(jìn)行缺陷檢測(cè)的確切細(xì)節(jié)已經(jīng)變得非常關(guān)鍵，同時(shí)這個(gè)過(guò)程還要足夠簡(jiǎn)單，使操作人員能夠每天來(lái)進(jìn)行。授權(quán)一個(gè)工廠范圍內(nèi)的缺陷控制職能交叉小組來(lái)完成這個(gè)任務(wù)?！ ?缺陷測(cè)量和控制的BKMs并沒(méi)有在所有的設(shè)備中都貫徹實(shí)施。 簡(jiǎn)而言之，人們發(fā)現(xiàn)缺陷控制的知識(shí)和財(cái)富已經(jīng)存在于這個(gè)組織中，但是并沒(méi)有把這些知識(shí)均衡地應(yīng)用，在做一件事情時(shí)沒(méi)有把所有的已知最佳方案結(jié)合起來(lái)。 人們經(jīng)常說(shuō)：大部分問(wèn)題的起因是缺乏溝通。要取得成功，設(shè)備缺陷控制過(guò)程必須在這所有三個(gè)維度上都采取措施?！ 榱烁倪M(jìn)設(shè)備缺陷的控制實(shí)踐，這個(gè)小組不得不考
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