《真空技術(shù)基礎(chǔ)iii》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 / ( 1 ) 1 sdVEeor??????（ e 1 ） =1 , ,sVE?著火電壓相當(dāng)于放電伏安曲線上 D點(diǎn)的電壓，數(shù)值上決定于氣體的壓力 P、極間距 d。氣體放電的特點(diǎn)： （ 1）氣體放電的前提是氣體電離，有載流子； （ 2）恒定溫度下，氣體電導(dǎo)率由載流子密度和平均自由程決定。 電子平均自由程 總截面 1een? ??1e eQn? ???Collision Number Distribution of Electron in Accelerating Electric Field between Two Pole 電子從陰極飛躍到陽(yáng)極的過(guò)程中，不斷與氣體分子碰撞，損失能量和改變運(yùn)動(dòng)方向。稱此時(shí)的球?qū)ΨQ勢(shì)能截面為有效截面（ Effect CrossSection）。 1 e x p ( )aEd Vd t R T? ?? ? ?1 d 0, V , R E , T , ??，Two Level Desorption Speed 在超高真空系統(tǒng)中許多化學(xué)活潑的雙原子氣體在金屬表面上化學(xué)吸附時(shí)分級(jí)為原子態(tài)。 1( ) e x p ( ) ( s e c )ac n cEuFRT??? ? ?2個(gè) /m為了簡(jiǎn)單起見(jiàn)，通常定義粘附概率 αc, 得到化學(xué)吸附速率的表達(dá)式為： 下面給出一些實(shí)際測(cè)量的結(jié)果。這些方程都是在普遍的熱力學(xué)規(guī)律基礎(chǔ)上，結(jié)合特定的假設(shè)得到的，所以適用性是有局限的。 大量的實(shí)驗(yàn)表明吸附等溫線有 5中類型，其中類型 I為單分子層吸附。 范德瓦爾斯力源于電偶極子，強(qiáng)度隨距離 6次方衰減； 化學(xué)鍵力源于吸附劑與吸附質(zhì)之間的電子交換，有離子鍵和共價(jià)鍵的區(qū)分； 吸附的過(guò)程： 分子以 能量與固體表面碰撞，以一
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