《電子顯微技術(shù)》ppt課件 (2)-全文預(yù)覽
【正文】 197。在這一范圍內(nèi) 可任意移動(dòng)像平面 ， 而成像清晰 。 D0=2022197。八、場(chǎng)深、焦深：D0 Df場(chǎng)深與焦深 ：指軸上物方的一 段距離。 樣品 10nm表層的二次電子可以逸出樣品表面，所以 它能夠反映出樣品的表面形態(tài)結(jié)構(gòu)。： 入射電子束與樣品物質(zhì)的原子核或 電 子碰撞后，使運(yùn)動(dòng)軌跡發(fā)生改變，叫做彈性散射電子。即 ： M有效 =δ人 /δ儀δ人 =：當(dāng) δ=， M有效 =當(dāng) δ= M有效 =當(dāng) δ=5nm時(shí)， M有效 =!!超出有效放大范圍的放大稱為空放大，或無(wú)效放大！裸眼的分辨率為： 光鏡分辨率： δ=五、分辨率： (分辨力、分辨本領(lǐng)或解像力）δ=（ α0為最佳孔徑角， λ為電子束波長(zhǎng) ）指電子顯微鏡能夠清楚分辨出兩個(gè)質(zhì)點(diǎn)圓心間最小距離的能力。 ：透鏡缺陷使近軸磁場(chǎng)與邊緣磁場(chǎng)對(duì)電子束偏轉(zhuǎn)能力不同，一質(zhì) 點(diǎn)成像為一個(gè)彌散球。解決了電子束聚焦的關(guān)鍵問(wèn)題 。?中科院科儀廠自 KYKY1000B以后， KYKY2800型， KYKY3800型掃描電鏡 。1942年， 掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室裝置；216。1932年向世界宣告了 電子顯微鏡 的誕生 。電子顯微鏡于 1931年，在 德國(guó)柏林大學(xué) 高壓實(shí)驗(yàn)室由Knoll 和 RUska研制成功，證實(shí)了由電子束為光源、電子透鏡組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，可以對(duì)物體放大成像。1935年， Knoll首先提出了掃描電鏡的設(shè)計(jì)思想和工 作原理；
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