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正文內(nèi)容

中芯國(guó)際集成電路制造(天津)有限公司驗(yàn)收評(píng)價(jià)報(bào)告-全文預(yù)覽

  

【正文】 須與爆炸物品、氧化劑、易燃物品、自燃物品、腐蝕性物品隔離貯存。性質(zhì)相抵觸的化學(xué)危險(xiǎn)品嚴(yán)禁放在一起。 SJ3000292 √ 貯存氧化劑、易燃易爆物質(zhì)的貯存室地面為不發(fā)火花地面。 √ 該庫(kù)安全要求。 公安部 6號(hào)令第 41條 √ 庫(kù)房?jī)?nèi)照明開(kāi)關(guān)、用電設(shè)備控制都在庫(kù)外的電氣間。 化學(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)的通風(fēng)管應(yīng)采用非燃燒材料制作。 化學(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)房,必須安裝通風(fēng) 設(shè)備。應(yīng)采取隔熱、通風(fēng)、防止陽(yáng)光直射措施,保證庫(kù)內(nèi)空氣流通、干燥涼爽,應(yīng)避免可燃?xì)怏w積聚,并根據(jù)物品的種類、性質(zhì),采取相應(yīng)的防爆、泄壓、防火、滅火、防雷、報(bào)警、調(diào)溫、防潮、消除靜電、防護(hù)圍堤等安全措施。 貯存化學(xué)危險(xiǎn)品的建筑物,不得 有地下室或其它地下建筑。 2 建筑物及設(shè)施 化學(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)房的建筑耐火等級(jí)應(yīng)為二級(jí),單層,建筑面積不大于 750m2。 貯存化學(xué)危險(xiǎn)品的建筑物,區(qū)域 內(nèi)嚴(yán)禁吸煙和使用明火。 國(guó)務(wù)院令第344號(hào) 9條 ∽ 此項(xiàng)工作正在辦理過(guò)程中。只要在生產(chǎn)過(guò)程中嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程,可以實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)。通過(guò)對(duì)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)安全現(xiàn)狀考察與分析,還存在一些不符合規(guī)定的安全問(wèn)題,具體問(wèn)題和建議如下: A. 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施,并且未按SJ3000292 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層,因此需采取有效措施,保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。 4) 危險(xiǎn)源綜合分析與評(píng)價(jià) ① 單元的主要危險(xiǎn)因素 SMIC 中芯國(guó)際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜,同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體,按照GBJ1687“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類 ”為甲類,因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素,其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。 廠房、動(dòng)力站房的安全出口及疏散通道,應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 瓶,必須放置在設(shè)有排風(fēng)防護(hù)裝置的金屬柜內(nèi)。 氣瓶放置地點(diǎn)不得靠近熱源和明火,應(yīng)保證氣瓶干燥。 SJ3000292 √ 設(shè)置不同類型報(bào)警裝置。 SJ3000292 √ 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警檢測(cè) 系統(tǒng)。 在重點(diǎn)防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處,應(yīng)設(shè)計(jì)人體導(dǎo)除靜電裝置;并配備個(gè)人防靜電防護(hù)用品。 電氣設(shè)備線路必須安全可靠 ,照明應(yīng)采用有防護(hù)罩的燈具。 SJ3000292 √ 消防設(shè)施、防煙排煙系統(tǒng)、電動(dòng)防火門窗、火災(zāi)應(yīng)急照明、消防用電設(shè)備,應(yīng)采用單獨(dú)的供電回路,并當(dāng)發(fā)生火災(zāi)切斷生產(chǎn)、生活用電時(shí),應(yīng)仍保證消防用電。 檢測(cè)和控制儀表的電源和氣源,停電或停氣可能使生產(chǎn)、動(dòng)力設(shè)備造成重大事故時(shí),必須有備用電、氣源。報(bào)警裝置宜與生產(chǎn)設(shè)備、操作閥聯(lián)鎖,不工作,亦應(yīng)定時(shí)進(jìn)行排風(fēng)。 有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識(shí)、專業(yè)技術(shù)的培訓(xùn),經(jīng)考核合格,方可上崗作業(yè)。 GB156031995 √ 單獨(dú)存放。 工作場(chǎng)所安全使用化學(xué)品規(guī)定 第 17 條 √ 設(shè)置應(yīng)急用品柜,提供處理方法。 GBJ1687 ∽ 硅烷室設(shè)泄壓其余無(wú),安全出口均不少于 2 個(gè)。 易燃、易爆的車間,應(yīng)采用易于清洗、 撞擊或磨擦?xí)r不產(chǎn)生火花的地面。 對(duì)于輸送具有較強(qiáng)腐蝕性液體的化學(xué)藥劑泵、在其填料函或機(jī)械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處,應(yīng)設(shè)置適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)。 SJ3000292 √ 雙層套管內(nèi)設(shè)泄漏檢測(cè)。 SJ3000292 √ 分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃?xì)怏w室等。 SJ3000292 √ 潔凈廠房?jī)?nèi)用于硅烷等容易自燃?xì)怏w的風(fēng)管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用不燃或經(jīng)過(guò)防火處理的專用塑料風(fēng)管或不銹鋼風(fēng)管。 凡使用酸、堿或有機(jī)溶劑進(jìn)行化學(xué)清洗 的設(shè)備,必須裝設(shè)局部排風(fēng)聯(lián)鎖。 SJ3000292 √ 防泄漏收集采用二次容器, 倍容積。 SJ3000292 ∽ 已做監(jiān)測(cè),數(shù)據(jù)暫 不能提供。 GB5002893 √ 管道應(yīng)標(biāo)志介質(zhì)及流向。 SJ3000292 √ 管道系統(tǒng)通過(guò)管架接地。 SJ3000292 √ 設(shè)置洗眼、淋浴器。 SJ3000292 √ 設(shè)置緊急制動(dòng),設(shè)置警告標(biāo)志及排風(fēng)系統(tǒng),帶電作業(yè)設(shè)置接地故障、短路故障保護(hù)裝置。 ~393 第 條 廢液收集罐處平臺(tái)護(hù)欄不符要求。在專用消防出口處應(yīng)設(shè)紅色應(yīng)急照明燈。 SJ3000292 √ 設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng),常開(kāi);特殊氣體室室外設(shè)手動(dòng)開(kāi)關(guān),設(shè)自動(dòng)聯(lián)鎖報(bào) 警。 GB500732020 √ 潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。 GB500732020 √ ≤65dB。 SJ3000292 除硅烷室單獨(dú)設(shè)置外,均設(shè)在多層廠房一、二層內(nèi)。 GBJ1687 √ 廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足地震烈度 7 度設(shè)防要求,框架抗震等級(jí)二級(jí)要求。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 1000m3 的建筑,不宜小于 。 GBJ1687 √ 單獨(dú)設(shè)置。 GBJ1687 √ 均為二級(jí)。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸,造成嚴(yán)重的生命、財(cái)產(chǎn)損失。 ⑦ 高處墜落 當(dāng)去廢溶劑儲(chǔ)罐等相對(duì)基準(zhǔn)面標(biāo)高超過(guò) 2m 設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時(shí),若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺(tái)或設(shè)置不完善,作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時(shí),稍不慎會(huì)發(fā)生高處墜落事故。 ③ 物理爆炸 各類壓力容器(包括氣瓶)、管道,如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計(jì) 不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等,可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計(jì)壓力而發(fā)生爆炸,造成人員傷亡,設(shè)備損壞。 CO2 1 CF4 2 CHF3 2 SF6 2 He 1 4%H2/N2 1 6 酸室 HCl CDM 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH 在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置,自動(dòng)水噴淋裝置。 %鍺烷 /氫氣( GeH4/H2) 1 1% 磷化氫 / 氮?dú)饣旌蠚猓?PH3/N2) 1 5% 磷 化氫 / 氮?dú)饣旌蠚猓?PH3/N2) 2 2 易燃?xì)?體室 氨氣( NH3) 8 10%氦氣 /氮?dú)夤に嚧祾摺?TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)(酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開(kāi))、火災(zāi)聲光報(bào)警、 shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。 ④ 廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標(biāo)志 。安全標(biāo)志的涂色應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行的《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。需采取相應(yīng)措施以消除可能導(dǎo)致事故發(fā)生的隱患。 ③ 廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺(tái)、平臺(tái)無(wú)防護(hù)圍欄或蓋板,直梯、斜梯不符合有關(guān)規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 SJ3000292 未按規(guī)定涂色。 SJ3000292 √ 凡容易發(fā)生事故危及安全的場(chǎng)所,應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志。 SJ3000292 √ 廠區(qū)平臺(tái)、鋼梯基本符合要求。 有完好的照明設(shè)施。 GB438794 √ 廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置交通標(biāo)志。 GB438794 √ 易燃易爆區(qū)、儲(chǔ)存庫(kù)區(qū)將道路劃分為限制車輛通行或禁止車輛通行的路段,并設(shè)標(biāo)志。 廠區(qū)主干線雙向行駛路寬≥ 5m,單向行駛路寬≥ ;并有單向行駛 標(biāo)記,且能形成環(huán)形通道;人行道 ;沿主干線人行道 。 道路與主要建筑物軸線平行或垂直,主要生產(chǎn)廠、倉(cāng)庫(kù)區(qū)、動(dòng)力區(qū)的道路應(yīng)呈環(huán)形布置。 GB5018793 √ 三個(gè)出入口,人、 物分流。 工廠主要建筑物宜呈南北向布置,建筑物的方位應(yīng)保證室內(nèi)有良好的朝向、采光和自然通風(fēng)條件。 與耐火等級(jí)為 3級(jí)廠房距離分別為20m、 25m,與廠內(nèi)主干道距離 15m,與次干道距離 10m。 GB5018793 √ 鍋爐房宜布置在廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的 上風(fēng)側(cè)。對(duì)于大容量的總降壓站,尚應(yīng)在其周圍加設(shè)圍墻。潔凈廠房的布置應(yīng)符合“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的規(guī) 定。 序號(hào) 檢查項(xiàng)目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注 由廠部辦公樓、多層廠房、廠區(qū)主入口等組成的廠前區(qū),宜 置于廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。 GB5018793 √ 七度設(shè)防。 √ 廠址應(yīng)具有滿足生產(chǎn)、生活及發(fā)展規(guī)劃所 需要電源和給排水條件。 1) 總平面布置及常規(guī)安全防護(hù)設(shè)施安全評(píng)價(jià)單元 2) 生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元 3) 化學(xué)品庫(kù)安全評(píng)價(jià)單元 4) 超純水制備設(shè)施系統(tǒng)安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)單元 5) 鍋爐房安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)單元 6) 油罐區(qū)、冷凍機(jī)房、空壓站、水泵房安全評(píng)價(jià)單元 7) 污水處理站安全評(píng)價(jià)單元 8) 供配電安全評(píng)價(jià)單元 9) 安全生產(chǎn)管理安全評(píng)價(jià)單元 5 安全評(píng)價(jià) 總平面布置及常規(guī)安全防護(hù)設(shè) 施安全評(píng)價(jià)單元 安全檢查表 依據(jù) GB5018793 《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、 SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、 GB438794《工業(yè)企業(yè)廠內(nèi)鐵路道路運(yùn)輸安全規(guī)程》、 GBJ1687《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 (2020 版 )、GB500742020《石油庫(kù)設(shè)計(jì)規(guī)范》、 GB28941996《安全標(biāo)志》、GB161791996《安全標(biāo)志使用導(dǎo)則》等相關(guān)法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)及現(xiàn)場(chǎng)狀況編制總平面布置及常規(guī)安全防護(hù)設(shè)施安全檢查表,檢查項(xiàng)目及內(nèi)容見(jiàn)表 。 9)噪聲危險(xiǎn) 空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機(jī)等設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可產(chǎn)生噪聲危害。 6)車輛傷害 廠內(nèi)各類運(yùn)輸車輛如車輛本身缺陷,或制動(dòng)、音響、燈光等失效,道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。 3)觸電危險(xiǎn) 變配電設(shè) 備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運(yùn)行不當(dāng)、機(jī)械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計(jì)、安裝不規(guī)范,安全凈距不足,或違章操作,均可能引發(fā)觸電危險(xiǎn)。其主要危險(xiǎn)因素有: 1)火災(zāi)爆炸 油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏,遇明火可引發(fā)火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)。 3)氧化劑(如過(guò)氧化氫等)如泄漏與有機(jī)物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。 由于公司對(duì)工藝及產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)保密且芯片生產(chǎn)線工藝設(shè)備自動(dòng)化程度高,人、機(jī)分離,安全性能高,據(jù)同行業(yè)生產(chǎn)實(shí)踐,發(fā)生事故的可能性極小,對(duì)建設(shè)項(xiàng)目的總體勞動(dòng)安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)結(jié)果影響較小,應(yīng)公司的要求,在芯片生產(chǎn)廠房勞動(dòng)安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)中,在危險(xiǎn)危害因素辨識(shí)分析的基礎(chǔ)上,僅對(duì)其危險(xiǎn)性大的芯片生產(chǎn)的輔助設(shè)施進(jìn)行勞動(dòng)安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)。 評(píng)價(jià)目的及評(píng)價(jià)范圍 評(píng)價(jià)目的及評(píng)價(jià)內(nèi)容 1) 安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)的目的是貫徹 “安全第一,預(yù)防為主 ”的方針,為建設(shè)項(xiàng)目安全驗(yàn)收提供科學(xué)依據(jù),對(duì)建設(shè)項(xiàng)目未達(dá)到安全目標(biāo)的系統(tǒng)或單元提出安全補(bǔ)償及補(bǔ)救措施,以利于提高建設(shè)項(xiàng)目本質(zhì)安全程度,滿足安全生產(chǎn)要求。 10) 中芯國(guó)際集成電路制造(天津)有限公司委托天津泰山安全科技有限公司進(jìn)行《中芯國(guó)際集成電路制造(天津)有限公司項(xiàng)目》安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)合同書。 評(píng)價(jià)范圍 根據(jù)本項(xiàng)目安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)技術(shù)服務(wù)合同書的規(guī)定內(nèi)容,經(jīng)與建設(shè)單位商定:對(duì)中 芯天津芯片生產(chǎn)廠房、化學(xué)品庫(kù)、污水處理站以及變配電站、鍋爐房、油庫(kù)、空壓站、冷凍站、水泵房的設(shè)備、設(shè)施進(jìn)行勞動(dòng)安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)。 2)易燃液體(如丙酮、異丙醇等)如泄漏、揮發(fā)與 空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災(zāi)爆炸。電氣設(shè)備有 110kV和 10kV 變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房?jī)?nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng);特種設(shè)備有燃?xì)忮仩t、空壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣 瓶和廠內(nèi)機(jī)動(dòng)車輛;儲(chǔ)存設(shè)備有儲(chǔ)氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。 2)物理爆炸 鍋爐、壓力容器(蒸發(fā)器、冷凝器、儲(chǔ)氣罐)設(shè)備、氣瓶等,如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當(dāng),可引發(fā)物理爆炸。 5)高空墜落危險(xiǎn) 凡 2m 以上各類高空作業(yè)點(diǎn)位, 其梯、臺(tái)、道、護(hù)欄等常規(guī)性防護(hù)措施不符合規(guī)范要求或損壞,可引發(fā)高空墜落危險(xiǎn)。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上,如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng),致使光源直射觀察者眼睛,將會(huì)造成眼灼傷。 評(píng)價(jià)單元的劃分 依據(jù)已確定的評(píng)價(jià)范圍及建設(shè)內(nèi)容的實(shí)際,本項(xiàng)目的安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)劃分如下評(píng)價(jià)單元。 廠址應(yīng)位于生活區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè),避免建在已建工廠煙囪主導(dǎo)風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。 地震斷層和設(shè)防烈度低于九度地震區(qū)。 SJ3000292 √ 按功能分為辦公區(qū)、生產(chǎn)區(qū)、公用工程區(qū)、預(yù)留區(qū)
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