《微電子學概論》--b03(文件)
【正文】 電勢增加 方程的形式 1 ? ?02 x,????st ???方程的形式 2 ? ???ssdxxE ??? 01電荷密度 ?(x) 可動的 －載流子（ n,p) 固定的 －電離的施主、受主 ? ?npNNq AD ???????特例： 均勻 Si中，無外加偏壓時， 方程 RHS＝ 0， 靜電勢為常數 電流連續(xù)方程 可動載流子的守恒 ? ?RGqtnn ???? j1?? ? ?RGqtpp ????? j1??熱平衡時： 產生率＝復合率 np=ni2 電子： 空穴 電流密度方程 載流子的輸運方程 在漂移－擴散模型中 擴散項 漂移項 nqDnq nnn ??? Ej ? pqDpq ppp ??? Ej ?方程形式 1 nBn qTkD ??pBp qTkD ??愛因斯坦關系 波耳茲曼關系 kTqi fenn/)( ?? ?? kTqi fenp/)( ?? ??in nnqkT ln?? ??qE Ff ??? 方程形式 2 ip npqkT ln?? ?? nnn qnJ ?? ??? ppp qnJ ?? ???電子和空穴的準費米勢： 費米勢 北京大學 微電子學研究所 重 點 ? 半導體、 N型半導體、 P型半導體、本征半導體、非本征半導體 ? 載流子、電子、空穴、平衡載流子、非平衡載流子、過剩載流子 ? 能帶、導帶、價帶、禁帶 ? 摻雜、施主、受主 ? 輸運、漂移、擴散、產生、復合 北京大學 微電子學研究所 作
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