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【材料課件】13電子探針顯微(文件)

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【正文】 3/1/2023 8 HNUZLP ?鋰漂移硅能譜儀方框圖 3/1/2023 9 HNUZLP ?能譜和波譜譜線比較 3/1/2023 10 HNUZLP 波譜儀( WDS)與能譜儀( EDS)比較 比較項(xiàng)目 WDS EDS 元素分析范圍 元素分析方法 能量辨率 /eV 靈敏度 檢測效率 定量分析精度 儀器特殊性 4Be~ 92U 分光晶體逐個(gè)元素分析 高( 3/ 5~ 10) 低 低,隨波長而變化 好 多個(gè)分光晶體 11Na~ 92U/ 4Be~ 92U 半導(dǎo)體檢測器元素同時(shí)檢測 低( 160/ 135) 高 高,一定條件下是常數(shù) 差 探頭液氮
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