【正文】 機(jī) 壓阻式傳感器 ? P6746 壓阻式傳感器 ? P69 結(jié)構(gòu)與特性a單晶錠； b按一定晶軸方向切成薄片； c進(jìn)行研磨加工；d切成細(xì)條經(jīng)過光刻腐蝕工序； e安裝內(nèi)引線； f粘貼在基底上并安裝外引線。使用時(shí)，外界的壓力作用先引起硅膜形變，形變使壓敏電阻承受應(yīng)力，該應(yīng)力比壓力直接作用在壓敏電阻上產(chǎn)生的應(yīng)力要大得多，好像硅膜起了放大作用。硅平膜片上的擴(kuò)散電阻通常構(gòu)成橋式測量電路，相對的橋臂電阻是對稱布置的，電阻變化時(shí)，電橋輸出電壓與膜片所受壓力成對應(yīng)關(guān)系。傳感器硅膜片兩邊有兩個(gè)壓力腔。膜片上的四個(gè)電阻在應(yīng)力作用下，阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，其輸出的電壓與膜片兩邊壓力差成正比。 1基座； 2擴(kuò)散電阻； 3單晶硅懸臂梁； 4質(zhì)量塊。利用導(dǎo)電材料的電阻率隨本身溫度變化而變化的溫度效應(yīng)制成的傳感器，稱為 熱電阻式傳感器 ?！?時(shí)的電阻值； （ 1）鉑熱電阻： 熱電阻式傳感器 P75? 優(yōu)點(diǎn)：銅電阻具有較大的電阻溫度系數(shù)，材料容易提純，銅電阻的阻值與溫度之間接近線性關(guān)系，銅的價(jià)格比較便宜，所以銅電阻在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。為了使熱電阻能得到較長的使用壽命，熱電阻加有保護(hù)套管。熱電阻的類型包括鉑熱電阻、銅熱電阻、銦電阻、錳電阻等。54 電位計(jì)式傳感器 P78 電位計(jì)式傳感器 也稱變阻器式傳感器，其工作原理是通過改變電位計(jì)觸頭位置，實(shí)現(xiàn)將位移變化轉(zhuǎn)換為電阻的變化。常用電位器式傳感器：有 直線 位移型、 角 位移型和 非線性 型等 限制，繞線式電位計(jì)分辨力不高。繞線式電位計(jì)因?yàn)槭艿诫娮杞z直徑的限制，因而分辨力不高。 (P75)（問答題 10分）（ ； 。℃ 以上時(shí)容易氧化，因此只能用于低溫及沒有浸蝕性的介質(zhì)中。 并繞法繞制在具有一定形狀的云母、石英或陶瓷塑料支架上，支架起支撐和絕緣作用。51 熱電阻式傳感器 P75 熱電阻類型及特點(diǎn) ： 熱電阻的類型包括鉑熱電阻、銅熱電阻、銦電阻、錳電阻等。② 康銅、錳銅等合金，電阻率幾乎與溫度變化無關(guān)，常用制作標(biāo)準(zhǔn)電阻； ③ 有些金屬的氧化物，如氧化銀，具有負(fù)的溫度系數(shù)。Rt=ρt=GAE813固態(tài)壓阻式加速度計(jì)的有關(guān)參數(shù)：量程 10～ 100g； 靈敏度： 1～ 5V/g； 非線性誤差：土 1％；溫度范圍： 40一 +200；固有頻率： 1000～ 2022Hz。壓阻式加速度傳感器是利用單晶硅作懸臂梁，在其根部擴(kuò)散出 4個(gè)電阻（上下面各兩個(gè)等值電阻），當(dāng)懸臂梁自由端的質(zhì)量塊受到外界加速度作用時(shí)，就將感受到的加速度轉(zhuǎn)變?yōu)閼T性力，產(chǎn)生應(yīng)力，使 4個(gè)電阻值發(fā)生變化。 壓阻式傳感器應(yīng)用 P7449電視大學(xué)(2)壓阻式加速度傳感器： ? R3R1R2R4R3R1 R2 R4 固體受力后電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為壓阻效應(yīng)。壓阻式應(yīng)變片（切片）的靈敏系數(shù)雖然比金屬高得多，但還覺得不夠高。敏感柵長度一般為 1~9mm.47 壓阻式傳感器 ? P70 固態(tài)壓阻傳感器的測量電路 ?B、動(dòng)態(tài)C、精確 20世紀(jì) 50年代出現(xiàn)半導(dǎo)體應(yīng)變片制成的傳感器（稱為固態(tài)壓阻式傳感器），固態(tài)壓阻式傳感器的突出優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高 (比金屬絲高50～ 80倍 )，尺寸小，橫向效應(yīng)也小，滯后和蠕變都小，適用于動(dòng)態(tài)測量。 電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用（ P66） 43電視大學(xué)案例：沖床生產(chǎn)記數(shù) 和生產(chǎn)過程監(jiān)測 電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用（ P66） 44 壓阻式傳感器 ? P67? 沿一塊半導(dǎo)體某一軸向施加一定應(yīng)力時(shí)，除了產(chǎn)生一定應(yīng)變外，材料的電阻率也要發(fā)生變化，這種現(xiàn)象稱為半導(dǎo)體的 壓阻效應(yīng) 。41 電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用（ P66） 　 (3)應(yīng)變式壓力傳感器主要用來測量流動(dòng)介質(zhì)的動(dòng)態(tài)或靜態(tài)壓力a圖為筒式壓力傳感器，圓柱體內(nèi)有一盲孔，被測壓力進(jìn)入應(yīng)變筒腔內(nèi)，使筒發(fā)生變形，它將流體壓力的變化轉(zhuǎn)換成應(yīng)變量的變化，因而得到壓力 P。 電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用（ P66） 應(yīng)變片式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中 2是懸臂梁，自由端安裝質(zhì)量塊 1，另一端固定在基座 4上。柱式、筒式力傳感器，應(yīng)變片粘貼在彈性體外壁應(yīng)力分布均勻的中間部分，對稱地粘貼多片， 可承受很大載荷，最大可達(dá) 107N，★ 環(huán)式彈性體一般用于測量 500N以上的荷載與柱式相比，特點(diǎn)是應(yīng)力分布均勻，便于接成差動(dòng)電橋?！?被測物理量為荷重或力的應(yīng)變式傳感器，統(tǒng)稱為應(yīng)變式力傳感器。按照用途不同，應(yīng)變式傳感器可以分為應(yīng)變式測力傳感器、應(yīng)變式壓力傳感器、應(yīng)變式加速度傳感器等。 接線 → 復(fù)查 → 貼片 → 防護(hù) 選擇題（每空 2分）粘貼應(yīng)變片做好準(zhǔn)備工作后要進(jìn)行的工作是： 37電視大學(xué)中央電大往屆試題（ ） P65　應(yīng)變片選擇與粘貼工藝 （ P65） ： :在應(yīng)變片基底上擠一小滴 502膠水， 輕輕涂抹均勻，立即放在應(yīng)變貼片位置。 ?(2)應(yīng)變片的粘貼35電視大學(xué)電阻應(yīng)變片的選擇、粘貼技術(shù) ?　　 ③ 貼片： 將涂好膠的應(yīng)變片與試件，按坐標(biāo)線對準(zhǔn)貼上 → 用手指順軸向滾壓，去除氣泡和多余膠液 → 按固化條件固化處理。F、結(jié)構(gòu)的選擇34　應(yīng)變片選擇與粘貼工藝 （ P65） ：? ① 準(zhǔn)備工作 :　　 ：在粘貼部位的表面，用砂布在與軸向成 45176。和 應(yīng)變片的選擇包括類型的選擇、材料的選用、 交流電橋平衡條件還可表為： 但在電路具