d3偏心量測技術(shù)與發(fā)展(文件)
【正文】 的陰影圖邊界皆為同心圓；如果該非球面之光軸有偏差，所得到的陰影圖內(nèi)圈邊界與外圈邊界將不同心，如圖 10(a)、(b) 所示。2. 干涉式偏心量測法以費索 (Fizeau) 干涉法架設(shè)為例來進(jìn)行鏡片偏心量測，雷射光束穿過分光鏡後，於標(biāo)準(zhǔn)鏡頭參考面分為反射與穿透兩道光，反射光回到分光鏡後，再次反射向下，經(jīng)聚焦鏡聚焦後，投射在成像面上，為參考光。假若待測面光軸與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭之光軸重合，則干涉圖形成為圓心位於干涉圖形中央之同心圓干涉條紋，如圖 11(a)、(b)。另外，量測光學(xué)成像系統(tǒng)對空間頻率的響應(yīng) (modulation transfer function, MTF) 時，由於彎曲的成像面在平面型接收器上產(chǎn)生的場曲 (field curvature) 現(xiàn)象，對於偏心光學(xué)系統(tǒng)量測離軸 MTF 時將有非對稱現(xiàn)象出現(xiàn)的問題。儀器科技研究中心所開發(fā)之偏心量測方式擁有架設(shè)簡單且相對便宜之優(yōu)點，其功能與目前市售主流量測設(shè)備比較，如圖 12 所示。 內(nèi)，目鏡約需在 339。 內(nèi)，傳統(tǒng)相機(jī)鏡頭約需在 139。 表1. 常見的偏心誤差定義偏心誤差定義偏折角(Deviation)機(jī)械軸向之入射線與出射線間角度橫向位移(Decentration)光軸與機(jī)械軸間距離外緣偏心(Edge Runout)以光軸旋轉(zhuǎn)時外緣幾何傾偏量邊緣厚差(Edge Thickness Difference, ETD)待測件幾何邊緣厚度差值錶計差量(Full Indicator Movement, FIM)以機(jī)械式量表實際接觸待測表面變動值投影偏差量(Total Image Runout, TIR)以準(zhǔn)直光束通過光學(xué)系統(tǒng)其聚焦影像偏移量(a) 偏心橫向位移 (lateral displacement)(b) 偏心傾角 (tilt)圖1. 偏心誤差種類圖2 單透鏡幾何外型偏心量測 圖3 鐘夾式偏心量測圖4 厚鏡片雙面傾斜偏心量測圖5 反射之十字線旋轉(zhuǎn)圓圖6 雷射光點聚於於感測器 (PSD)圖7 準(zhǔn)直儀穿透式偏心量測—Trioptics OptoCentric圖8 雷射穿透式偏心量測—LOH Leser Centering Unit M1圖9 射出鏡片澆口處折斷面(a) 無偏心 (b) 偏心圖10 刀口陰影圖 (a) 無偏心(b) 偏心圖11 費索 (Fizeau) 干涉法偏心圖圖12 市售偏心量測設(shè)備功能比較圖10 / 10。參考文獻(xiàn)1. W. J. Smith, Modern Optical Engineering, McGraw Hill, 1972.2. Optical Measuring Instrument, Introduction to Instrumentation, Precision Instrument Development Center, NSC, 1998.3. Joseph. M. Geary, Introduction
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