《精密測(cè)量技術(shù)》ppt課件 (2)(文件)
【正文】 。因此，測(cè)量時(shí)首先將儀器與靶子調(diào)整好，然后將靶子沿被測(cè)表面測(cè)量方向移動(dòng)，便能得到直線度誤差的原始數(shù)據(jù)。此面偏振光經(jīng)反射鏡 分光鏡 渥拉斯特棱鏡 6后，分成夾角為 ?、頻率為 f1和 f2的兩束面偏振光垂直射向夾角為180?的角反射鏡 7,再由反射鏡 7返回，經(jīng)渥拉斯特棱鏡b、分光鏡 反射鏡 檢偏器 9，最后到達(dá)光電接收器 D2。當(dāng)反射鏡 7的位置偏離光軸時(shí) (圖中虛線，偏離量為 E)，則頻率為 f1的偏振光在 R1’點(diǎn)反射，頻率為 f2的偏振光在 R2’點(diǎn)反射，則匯合光束的兩個(gè)頻率的光程差 ?L=4 ， 39。采用節(jié)距法逐段地測(cè)出每段前后兩點(diǎn)連線與測(cè)量基準(zhǔn)之間的角度 θi(i＝ l， 2． … ， n)，然后經(jīng)過數(shù)據(jù)處理，求出直線度誤差值。 2022/6/1 42 2022/6/1 43 2022/6/1 44 ? ? 按最小區(qū)域法評(píng)定直線度誤差時(shí)，作包容被測(cè)實(shí)際線 (誤差曲線 )，且符合最小條件的兩平行包容線，如圖所示。 ? 一、測(cè)量方法 ? 統(tǒng)一基準(zhǔn)法 ? 統(tǒng)一基準(zhǔn)法是通過實(shí)物（如精密平板、平晶、水平面等）建立一基準(zhǔn)平面，然后被測(cè)實(shí)際面與該基準(zhǔn)平面相比較，以確定被測(cè)實(shí)際面的平面度誤差。當(dāng)條紋數(shù)不足一條時(shí)，則根據(jù)條紋彎曲程度來評(píng)定平面度誤差。 2022/6/1 49 2022/6/1 50 ? 對(duì)角線法 ? 用對(duì)角線法測(cè)量平面度誤差的方法是：先把被測(cè)面劃分為若干條被測(cè)線，每線若干點(diǎn)，其測(cè)線技對(duì)角線布點(diǎn)，即布點(diǎn)形式呈封閉的米字形，如圖 (a)，然后用角差法或線差法測(cè)出每條測(cè)線上各點(diǎn)對(duì)兩端點(diǎn)連線的直線度偏差，最后通過數(shù)據(jù)處理?yè)Q算為同一評(píng)定基準(zhǔn)的平面度偏差 ?i。轉(zhuǎn)臺(tái)式適用于測(cè)量小型工件，轉(zhuǎn)軸式適用于測(cè)量大型工件。 ? A的誤差曲線的包容線 l3和 l4； ? B的誤差曲線且垂直于 l3（或 l4）的包容線 l l2； ? ll2間坐標(biāo)距離。則同軸度誤差 f為 222 xyf f f??2022/6/1 65 35同軸度誤差的測(cè)量 ? 對(duì)于小型零件的同軸度誤差，通常采用圓度儀進(jìn)行測(cè)量。此兩截面的中心與基準(zhǔn)要素中心的最大偏移量的兩倍即為同軸度誤差的近似值。首先按照基準(zhǔn)要素的上、下兩截面調(diào)整被測(cè)零件在儀器工作臺(tái)上的安裝位置，使此兩截面中心的連線與儀器回轉(zhuǎn)軸線重合。 2022/6/1 64 35同軸度誤差的測(cè)量 ? 首先將目標(biāo)靶放在基準(zhǔn)孔中，找正目標(biāo)靶的位置，再調(diào)整準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡的方位，使望遠(yuǎn)鏡分劃板上十字線中心與目標(biāo)靶十字線中心重合。 2022/6/1 59 34垂直度誤差的測(cè)量 ? 大型工件 （ 如鏜床床身與立柱 ） 的導(dǎo)軌垂直度誤差的測(cè)量見圖 332，首先用自準(zhǔn)直儀 2和反射鏡 4按測(cè)量直線度誤差的方法測(cè)出工件 1上的 A表面的直線度偏差 ，然后放上五棱鏡 3， 并將反射鏡 4放在 B表面上進(jìn)行測(cè)量 ， 經(jīng)數(shù)據(jù)處理得基準(zhǔn)面 A及被測(cè)面B各點(diǎn)的偏差值 。 2022/6/1 51 2022/6/1 52 2022/6/1 53 2022/6/1 54 2022/6/1 55 2022/6/1 56 ?33 圓度誤差的測(cè)量 ? 圓度誤差的測(cè)量用得最多的方法是半徑法（圓度儀測(cè)量法） ,其次還有兩點(diǎn)法、三點(diǎn)法。 ? 例如用分度值 c為 ／ l000(2”)的合像水平儀測(cè)量 400mm 400mm平板的平面度誤差。該方法是以平晶表面為基準(zhǔn)平面，使它與被測(cè)平面接觸，在單色平行光照射下，形成等厚干涉。誤差值 fMZ可用下式計(jì)算： 2022/6/1 45 2022/6/1 46 167。直線度誤差評(píng)定方法常用下列三種： ? 兩端點(diǎn)連線法 ? 按兩端點(diǎn)連線法評(píng)定直線度誤差時(shí)，是以誤差曲線的兩端點(diǎn)連線作為評(píng)定基準(zhǔn)曲線最高點(diǎn)與最低點(diǎn)的代數(shù)差為直線度誤差。 2s i n39。 2022/6/1 38 ? 測(cè)量時(shí)，若反射鏡 7沿被測(cè)表面安放，由于被測(cè)表面存在形狀誤差，因而使反射鏡 7在光軸上、下發(fā)生偏移，如圖所示。這樣，上下一對(duì)硅光電池，可以用來測(cè)量靶子相對(duì)于激光束在垂直方向上的偏移；左右一對(duì)硅光電池，可用來測(cè)量靶子相對(duì)于激光束在水平方向上的偏移。 2022/6/1 36 ? 當(dāng)光電接收靶中心與激光束能量中心重合時(shí)，相對(duì)的兩個(gè)光電池接收能量相同，因此輸出光電信號(hào)相等，無(wú)信號(hào)輸出，指示電表指示為零。 ? 激光準(zhǔn)直儀的原理如圖所示。 ? 沿被測(cè)線移動(dòng)瞄準(zhǔn)靶 2，同時(shí)記錄各點(diǎn)示值(y
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