《精密測量技術(shù)》ppt課件 (2)(文件)
【正文】 。因此，測量時首先將儀器與靶子調(diào)整好，然后將靶子沿被測表面測量方向移動，便能得到直線度誤差的原始數(shù)據(jù)。此面偏振光經(jīng)反射鏡 分光鏡 渥拉斯特棱鏡 6后，分成夾角為 ?、頻率為 f1和 f2的兩束面偏振光垂直射向夾角為180?的角反射鏡 7,再由反射鏡 7返回，經(jīng)渥拉斯特棱鏡b、分光鏡 反射鏡 檢偏器 9，最后到達光電接收器 D2。當(dāng)反射鏡 7的位置偏離光軸時 (圖中虛線，偏離量為 E)，則頻率為 f1的偏振光在 R1’點反射，頻率為 f2的偏振光在 R2’點反射，則匯合光束的兩個頻率的光程差 ?L=4 ， 39。采用節(jié)距法逐段地測出每段前后兩點連線與測量基準(zhǔn)之間的角度 θi(i＝ l， 2． … ， n)，然后經(jīng)過數(shù)據(jù)處理，求出直線度誤差值。 2022/6/1 42 2022/6/1 43 2022/6/1 44 ? ? 按最小區(qū)域法評定直線度誤差時，作包容被測實際線 (誤差曲線 )，且符合最小條件的兩平行包容線，如圖所示。 ? 一、測量方法 ? 統(tǒng)一基準(zhǔn)法 ? 統(tǒng)一基準(zhǔn)法是通過實物（如精密平板、平晶、水平面等）建立一基準(zhǔn)平面，然后被測實際面與該基準(zhǔn)平面相比較，以確定被測實際面的平面度誤差。當(dāng)條紋數(shù)不足一條時，則根據(jù)條紋彎曲程度來評定平面度誤差。 2022/6/1 49 2022/6/1 50 ? 對角線法 ? 用對角線法測量平面度誤差的方法是：先把被測面劃分為若干條被測線，每線若干點，其測線技對角線布點，即布點形式呈封閉的米字形，如圖 (a)，然后用角差法或線差法測出每條測線上各點對兩端點連線的直線度偏差，最后通過數(shù)據(jù)處理換算為同一評定基準(zhǔn)的平面度偏差 ?i。轉(zhuǎn)臺式適用于測量小型工件，轉(zhuǎn)軸式適用于測量大型工件。 ? A的誤差曲線的包容線 l3和 l4； ? B的誤差曲線且垂直于 l3（或 l4）的包容線 l l2； ? ll2間坐標(biāo)距離。則同軸度誤差 f為 222 xyf f f??2022/6/1 65 35同軸度誤差的測量 ? 對于小型零件的同軸度誤差，通常采用圓度儀進行測量。此兩截面的中心與基準(zhǔn)要素中心的最大偏移量的兩倍即為同軸度誤差的近似值。首先按照基準(zhǔn)要素的上、下兩截面調(diào)整被測零件在儀器工作臺上的安裝位置，使此兩截面中心的連線與儀器回轉(zhuǎn)軸線重合。 2022/6/1 64 35同軸度誤差的測量 ? 首先將目標(biāo)靶放在基準(zhǔn)孔中，找正目標(biāo)靶的位置，再調(diào)整準(zhǔn)直望遠鏡的方位，使望遠鏡分劃板上十字線中心與目標(biāo)靶十字線中心重合。 2022/6/1 59 34垂直度誤差的測量 ? 大型工件 （ 如鏜床床身與立柱 ） 的導(dǎo)軌垂直度誤差的測量見圖 332，首先用自準(zhǔn)直儀 2和反射鏡 4按測量直線度誤差的方法測出工件 1上的 A表面的直線度偏差 ，然后放上五棱鏡 3， 并將反射鏡 4放在 B表面上進行測量 ， 經(jīng)數(shù)據(jù)處理得基準(zhǔn)面 A及被測面B各點的偏差值 。 2022/6/1 51 2022/6/1 52 2022/6/1 53 2022/6/1 54 2022/6/1 55 2022/6/1 56 ?33 圓度誤差的測量 ? 圓度誤差的測量用得最多的方法是半徑法（圓度儀測量法） ,其次還有兩點法、三點法。 ? 例如用分度值 c為 ／ l000(2”)的合像水平儀測量 400mm 400mm平板的平面度誤差。該方法是以平晶表面為基準(zhǔn)平面，使它與被測平面接觸，在單色平行光照射下，形成等厚干涉。誤差值 fMZ可用下式計算： 2022/6/1 45 2022/6/1 46 167。直線度誤差評定方法常用下列三種： ? 兩端點連線法 ? 按兩端點連線法評定直線度誤差時，是以誤差曲線的兩端點連線作為評定基準(zhǔn)曲線最高點與最低點的代數(shù)差為直線度誤差。 2s i n39。 2022/6/1 38 ? 測量時，若反射鏡 7沿被測表面安放，由于被測表面存在形狀誤差，因而使反射鏡 7在光軸上、下發(fā)生偏移，如圖所示。這樣，上下一對硅光電池，可以用來測量靶子相對于激光束在垂直方向上的偏移；左右一對硅光電池，可用來測量靶子相對于激光束在水平方向上的偏移。 2022/6/1 36 ? 當(dāng)光電接收靶中心與激光束能量中心重合時，相對的兩個光電池接收能量相同，因此輸出光電信號相等，無信號輸出，指示電表指示為零。 ? 激光準(zhǔn)直儀的原理如圖所示。 ? 沿被測線移動瞄準(zhǔn)靶 2，同時記錄各點示值(y
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