sputter基本原理培訓(xùn)(文件)
【正文】 阻抗與電源阻抗互相適配，得到最大功率輸出地一種工作狀態(tài)。 輝光放電： 第二章 等離子體 20 陰極輝光區(qū) 陰極暗區(qū) 負(fù)輝光區(qū) 法拉第暗區(qū) 正柱區(qū) 0 電壓 空間靜電荷 兩極區(qū)間 輝光放電示意圖 在真空室內(nèi)安置兩個(gè)電極。演講人：王金萍 1 目錄 第一章 真空 第二章 等離子體 第三章 濺射原理 第四章 反應(yīng)性濺射 第五章 濺射鍍膜設(shè)備 第六章 濺射靶及靶材配置 2 目錄 第二章 等離子體 第三章 濺射原理 第四章 反應(yīng)性濺射 第五章 濺射鍍膜設(shè)備 第六章 濺射靶及靶材配置 3 第一章 真空 第一章 真空 4 11 生活中的真空 大氣壓、真空、真空度？ 第一章 真空 5 ?帕斯卡 Pa： 1Pa=1N/㎡ ?標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 atm： 1atm=101325Pa ?托 Torr： 1Torr= ?毫巴 mbar： 1mbar=100Pa 壓強(qiáng)單位 第一章 真空 6 — 大氣： 103mbar — 低真空： 103~103mbar — 中真空： 103~106mbar — 高真空： 106~109mbar — 超高真空： ＜ 109mbar 第一章 真空 7 22 氣體分子平均自由程 不同真空度下的平均自由程： 真空度 平均自由程 分子 數(shù) （ mbar） （ cm） （個(gè) /cm3） 1103 105 1019 1102 100 1014 1106 104 1010 11010 108 106 第一章 真空 8 第一章 真空 9 第一章 真空 10 ? 旋葉泵 旋葉泵的特點(diǎn)： ? 經(jīng)濟(jì)耐用 ? 工作范圍： 大氣壓 ~103mbar ? 極限真空： 103mbar ? 缺點(diǎn)：振動(dòng)、反油
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