基于fp光纖干涉儀的壓力傳感器(文件)
【正文】 , 采用微機電系統(tǒng) (m icro electro mechanical systems, MEMS ) 工藝制作微型 FP腔的光纖壓力傳感器具有 本質(zhì)安全、抗電磁干擾、體積小及適于惡劣工作環(huán)境 等優(yōu)點 . THANKS~ 高溫光線壓力傳感器 AP1200是絕對型高溫光纖壓力傳感器，適用于對溫度有要求的高精度測量環(huán)境，運轉(zhuǎn)溫度高達 500℃ 。由于光纖傳感的固有優(yōu)勢， OPPB光纖壓力傳感器在嚴苛環(huán)境中能長期保持精度，耐久力，低漂移和高保真的壓力測量。 OPPW光纖壓力傳感器主要應(yīng)用領(lǐng)域：在極端嚴苛環(huán)境下石油 amp。 醫(yī)用光纖壓力傳感器 光纖壓力傳感器 OPPM光纖壓力傳感器 專為醫(yī)療領(lǐng)域而設(shè)計，在血管、子宮和腦顱腔壓力監(jiān)控上有廣泛應(yīng)用 。 OPPB光纖壓力傳感器是裸露的光纖傳感器（非金屬封裝），應(yīng)用于要求最小侵入的原位壓力測量。 第二個問題的優(yōu)化 測量范圍的限制 源于 λ/4 可采用 “多傳感” 融合 測量 , 既擴大單值測量范 圍 , 又保持較高的靈敏度 . 即一個傳感器結(jié)構(gòu)中有 多個硅膜片同時探測被 測壓力 , 厚膜的實驗數(shù)據(jù) 用來擴大測量范圍 , 而薄 膜的數(shù)據(jù)用來細化壓力 測量值 , 提高靈敏度和測 量精度 . 通過幾個不同硅模厚度的傳感器來實現(xiàn) 第二個問題的優(yōu)化 大波長的實驗數(shù) 據(jù)用來擴大測量 范圍 , 而小波長 的數(shù)據(jù)用來細化壓力 測量值 , 提高靈 敏度和測量精度 . 通過幾個不同波長來實現(xiàn)，只需要一個傳感器
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