基于fp光纖干涉儀的壓力傳感器(專業(yè)版)
【正文】 光纖壓力傳感器的應(yīng)用優(yōu)勢： 高溫和腐蝕環(huán)境 爆炸和危險區(qū)域 高電磁干擾區(qū)域 光纖壓力傳感器 ? Opsens的 OPPB是基于 MEMS技術(shù)，專為不易達(dá)到的應(yīng)用而設(shè)計的光纖壓力傳感器。 在后續(xù)將提到，為滿足單值測量， d的變化量限制在 λ/4內(nèi) ?；?FP干涉儀的光纖壓力傳感器 張翼翔 一、基本知識儲備 1. 光的干涉，尤其是光的分振幅等傾干涉。 硅模的力學(xué)模型及其撓度分布 硅膜的力學(xué)模型為一個四邊簡支的方形薄板 ,如下圖： 硅模的力學(xué)模型及其撓度分布 在滿足小撓度近似條件和均布載荷的情況下 ,硅膜的撓度分布可近似表示為： 其中 , a 為正方形硅膜的邊長 。 OPPB光纖壓力傳感器是裸露的光纖傳感器（非金屬封裝），應(yīng)用于要求最小侵入的原位壓力測量。 通過測量信號與參考信號 之比 來進(jìn)行 歸一化 ，便可以屏蔽掉光源功率的波動?。?！ 光纖壓力傳感器的應(yīng)用 與傳統(tǒng)的電量壓力傳感器相比 , 采用微機(jī)電系統(tǒng) (m icro electro mechanical systems, MEMS ) 工藝制作微型 FP腔的光纖壓力傳感器具有 本質(zhì)安全、抗電磁干擾、體積小及適于惡劣工作環(huán)境 等優(yōu)點(diǎn) . THANKS~ 高溫光線壓力傳感器 AP1200是絕對型高溫光纖壓力傳感器，適用于對溫度有要求的高精度測量環(huán)境，運(yùn)轉(zhuǎn)溫度高達(dá) 500℃ 。 FP干涉儀 用多模光纖端面作為 FP干涉腔的靜止反射面 , 硅膜作為另外一個可調(diào)反射面
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