【正文】 1 頁(yè) 共 28 頁(yè) 有可靠 保護(hù)機(jī)構(gòu)和報(bào)警方式。還有變頻器、伺服驅(qū)動(dòng)器控制得 速度 以及位置控制回路，及人機(jī)界面和儀表組成復(fù)雜得 現(xiàn)場(chǎng)總線控制系統(tǒng)，該控制系統(tǒng)具有以下功能： 系統(tǒng)有計(jì)算機(jī)控制，要求穩(wěn)定可靠。 ITO 生產(chǎn)的工藝流程 ITO 生產(chǎn)線所有設(shè)備示意圖如下圖 （ ） 所示 12 畢 業(yè) 設(shè) 計(jì) 說 明 書 ( 論 文 ) 第 10 頁(yè) 共 28頁(yè) 圖 （ ） ITO 生 產(chǎn)線 設(shè)備示意圖 生產(chǎn)線設(shè)備主要包括以下幾個(gè)部分：分別是 Feeder 收發(fā)片機(jī)， Inline 傳送機(jī)構(gòu) ， INCLamp。 設(shè)計(jì) 根據(jù) ITO 成膜 工藝及結(jié)合目前生產(chǎn)工藝，對(duì) ITO 生產(chǎn)線的控制系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)分析，主要包括 ITO 生產(chǎn)工藝各個(gè)關(guān)鍵工藝得 相關(guān)生產(chǎn) 參數(shù)，總結(jié)以往生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)得不足，提出改善 。 ITO 控制系統(tǒng)的發(fā)展?fàn)顩r 任何產(chǎn)品地生產(chǎn)設(shè)備都將經(jīng)過人工手動(dòng)到機(jī)械自動(dòng)化的發(fā)展過程，任何工藝都在不斷隨著產(chǎn)品的更新而改進(jìn)， ITO 產(chǎn)線也經(jīng)歷了幾個(gè)階段。按照蒸發(fā)源加熱部件不同 ,蒸發(fā)鍍膜法可分為電阻蒸發(fā)、高頻感應(yīng)蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、電弧蒸發(fā)法 ,激光蒸發(fā)法等。 目前 ,還沒有有關(guān)噴霧熱分解法制備 ITO 薄膜實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)的報(bào)道 ,仍處于實(shí)驗(yàn)室研究階段。 4)所鍍膜層與基板結(jié)合牢固性能良好 。 SP 法可以用于氧化物陶瓷粉末合成纖維合成薄膜制備。此外 ,CVD 法還有一個(gè)超越其它成膜方法的優(yōu)點(diǎn) ,即用該方法較容易地制備范圍廣泛的可準(zhǔn)確控制化學(xué)成分及薄膜結(jié)構(gòu)的材料。 化學(xué)沉淀法 (CVD) 化學(xué)氣相沉淀方法指：利用兩相或多相反應(yīng)氣體在加熱的基片表面上或接近該表面的位置上發(fā)生化學(xué)反應(yīng) ,并使化學(xué)產(chǎn)物同時(shí)沉積，在基片表面上而形成薄膜。 4)薄膜與襯底的附著性好。其原理是在電場(chǎng)和交變磁場(chǎng)作用下 ,被加速的高能粒子轟擊錫合金靶材或氧化銦錫靶材表面 ,經(jīng)能量交換后，靶材表面的原子脫離原晶格而逸出并轉(zhuǎn) 9 畢 業(yè) 設(shè) 計(jì) 說 明 書 ( 論 文 ) 第 7頁(yè) 共 28 頁(yè) 到襯底表面成膜。 我國(guó)具有豐富的銦錫資源鑒于溶膠凝膠法具有可廣泛成膜的特點(diǎn) ,若能適時(shí)開展溶膠凝膠法制備 ITO 薄膜的研究 ,則很有可能在不久得將來(lái)形成 ITO 薄膜優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)。本文對(duì)以上 5 種主要制膜工藝的特點(diǎn)進(jìn)行了分析 ,并在此基礎(chǔ)上探討了 ITO 工業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)。近年來(lái) ,由于 ITO 薄膜材料所具有的優(yōu)異光電特性 ,其應(yīng)用得到迅速發(fā)展 ,特別是在薄膜晶 8 畢 業(yè) 設(shè) 計(jì) 說 明 書 ( 論 文 ) 第 6頁(yè) 共 28 頁(yè) 體管 (TFT)制造、平板液晶顯示 (LCD)、太陽(yáng)能電池透明電極以及火車飛機(jī)用玻璃除霜、紅外輻射反射鏡涂層、建筑物幕墻玻璃方面 ,其應(yīng)用得到迅速推廣。如反差濾光片、分色用濾光片、 LB 濾光片等。 Color Filter 的概況 彩色濾光片（ Color filter）是一種表現(xiàn)顏色的光學(xué)濾光片，它可以精確選擇欲通過的小范圍波 段光波，而反射掉其他不希望通過的波段。利用液晶的電光效應(yīng)，英國(guó)科學(xué)家在本世紀(jì)制造了第一塊 液晶顯示器 即LCD。通過分析生產(chǎn)工藝以及生產(chǎn)條件，分析該控制系統(tǒng)的原理，介紹相關(guān)硬件的選型。本人授權(quán) 大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編本學(xué)位論文。除了文中特別加以標(biāo)注引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫的成果作品。盡我所知，除文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，不包含其他人或組織已經(jīng)發(fā)表或公布過的研究成果，也不包含我為獲得 及其它教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過的材料。對(duì)本研究提供過幫助和做出過貢獻(xiàn)的個(gè)人或集體，均已在文中作了明確的說明并表示了謝意。對(duì)本文的研究做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。 涉密論文按學(xué)校規(guī)定處理。 考慮到電機(jī)是生產(chǎn)線的一個(gè)重要組成，分析與介紹本產(chǎn)線使用的所有電機(jī)型號(hào)與變頻器控制和伺服控制，使用變頻控制每個(gè)單元之間的平穩(wěn)傳送，伺服控制系統(tǒng)精確控制位置的定位系統(tǒng) ITO 薄膜直接影響液晶電視的顯示效果，因此本文利用 PID 控制器結(jié)合功率調(diào)節(jié)器實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度的平穩(wěn)控制 利用以太網(wǎng)實(shí)現(xiàn)工控機(jī)與 PLC 之間的通訊，實(shí)現(xiàn)設(shè)備控制、顯示、報(bào)警等功能于一體的人機(jī)交互系統(tǒng) 關(guān)鍵詞： 關(guān)鍵詞 :PLC，變頻器，伺服，控制系統(tǒng) 5 畢 業(yè) 設(shè) 計(jì) 說 明 書 ( 論 文 ) 第 3 頁(yè) 共 28 頁(yè) 目 錄 第 1 章 緒論 ................................................................. 5 液晶顯示器發(fā)展概況 ................................................... 5 Color Filter 的概況 ............................................ 5 ITO 生產(chǎn)技術(shù)概況 ............................................... 5 ITO 控制系統(tǒng)的發(fā)展?fàn)顩r ............................................... 8 論文的主要內(nèi)容 ...................................................... 9 第 2 章 ITO 生產(chǎn)工藝及控制方案設(shè)計(jì) ........................................ 9 ITO 生產(chǎn)的工藝流程 ................................................... 9 ITO 生產(chǎn)線控制系統(tǒng)的要求及主要參數(shù) .................................. 10 ITO Inline Network ................................................. 11 ITO 設(shè)備控制系統(tǒng)的組成 .............................................. 11 現(xiàn)場(chǎng)總線介紹 .................................................. 12 現(xiàn)場(chǎng)總線 結(jié)構(gòu)介紹 .............................................. 12 第 3 章 生產(chǎn)線控制系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì) ............................................ 12 System overview .................................................... 13 ITO+RGB Module................................................ 13 Heater equipment.............................................. 14 Pump system................................................... 15 基礎(chǔ)配置選型 ........................................................ 16 工控機(jī)硬件配置 ................................................ 16 PLC 介紹 和選型 ................................................ 18 數(shù)字量模塊 選型 ................................................ 19 PROFIBUS CP 模塊 選型 .......................................... 19 第 4 章 生產(chǎn)線電機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì) ............................................ 17 變頻調(diào)速 ............................................................ 17 變頻調(diào)速原理 .................................................. 19 變頻器的選型依據(jù) .............................................. 20 ITO 生產(chǎn)線伺服控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì) ........................................ 21 伺服電機(jī)介紹 .................................................. 21 伺服電機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì) ........................................ 21 6 畢 業(yè) 設(shè) 計(jì) 說 明 書 ( 論 文 ) 第 4 頁(yè) 共 28 頁(yè) 伺服電機(jī)軟件實(shí)現(xiàn) .............................................. 20 第 5 章 ITO 溫度控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì) .............................................. 21 ITO 生產(chǎn)溫度控制的工藝要求 .......................................... 21 溫度控制系統(tǒng)的 介紹 .........