高純氣體管路施工規(guī)范方案-wenkub
2023-05-28 12:38:44 本頁面
【正文】 0) .進(jìn)出工作區(qū)內(nèi)的全部材料必須清理干凈，才可進(jìn)入。6) .所有工作區(qū)內(nèi)必須有密封式垃圾筒，收集廢料等東西。2) .使用真空吸塵器清除臟東西。6) .材料人員進(jìn)出必須清潔一次。2) .最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方。3) .有規(guī)則的存放材料。7) .所有人員及設(shè)備每周必須清潔一次。3) .有規(guī)則的存放材料。7) .材料人員進(jìn)出必須管制。11) .所有工作區(qū)必須換穿干凈工作服。3) .有規(guī)則的存放使用材料。7) .材料人員進(jìn)出必須管制。11) .除入無塵室應(yīng)換穿無塵依及尼龍手套外，余均應(yīng)穿著干凈之工作服。1) .指定專人辦理安全事宜。5) .在清潔室須戴安全帽，特別是有震動時。9) .特殊危險工作區(qū)，須有安全圍籬及警告標(biāo)志。13) .工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須系安全帶(索)。17) .工作區(qū)域內(nèi)須有良好照明設(shè)備。21) .電纜及電線須正確使用，不可過載。25) .如須移動圓柱型物品，須使用特殊格架舉。29) .任何閥、開關(guān)插座、電源插座，不可隨意開、關(guān)、拔除(機(jī)臺管線)。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開。l 倒角原則上，在使用倒角機(jī)(TUBE SIZE用)或銼刀(PIPE SIZE用)時，小心地移開切割面。l 工作后的清潔檢視切割機(jī)的潔凈度，保持機(jī)具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的碎屑?xì)堄啵凑障铝械姆椒ㄇ鍧嵵?。u 點(diǎn)焊點(diǎn)焊使用TIG焊接，點(diǎn)焊的點(diǎn)數(shù)按照下列規(guī)定。u 沖吹用管套連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路，使用(Back seal jig)如圖(一)所示 Back sea jig (Back seal gas) 圖(一) (參考用) u 架設(shè)程序(圖二)將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥氬氣沖吹(預(yù)先沖吹1分鐘以上) 242。 氬氣沖吹風(fēng)(收尾沖吹1分鐘以上) GAr GAr 圖(二)u 裝封(在Clean booth內(nèi)進(jìn)行)完成焊接之后，在管內(nèi)充滿Ar氣，而且用無塵的塑料紙?jiān)谀┒税鼉蓪印? GAr GAr (iii) 242。(iii) 拆卸要焊接端封套，并沖吹干凈。l 焊機(jī)電源 供給電源的電壓的變動，對于管路焊接的質(zhì)量影響甚巨。10%，在焊接進(jìn)行時電壓警報器一直監(jiān)視著電壓，如果電壓超過可容許的范圍時，警報器就會發(fā)出聲音。u 使用采樣品閥從鋼瓶或氣體來源收集氬氣，測量氬氣純度確定露點(diǎn)是在80℃以下，微粒含量為0 ()。l 簡易潔凈室(Clean booth)的潔凈度的控制u 在Clean booth內(nèi)測量焊接處的微粒數(shù)量()不能超過100個/，class 10000是用作貯藏用，class 1000是組裝用。l 潔凈室依據(jù)潔凈室人員管制規(guī)定的管制細(xì)則，所有的工作人員皆需致力于工作在一個高潔凈空氣環(huán)境中。l 樣品制作及焊接條件的檢查(焊接者或監(jiān)工)u 每日早上在上工前要制作數(shù)個同樣大小的樣品。l 機(jī)器攜入及架設(shè)u 從側(cè)邊帶入機(jī)器要在事先申請同意路線，并且使用的拖車放在特定的地方。l 管路標(biāo)記u 至少每5M要有標(biāo)簽貼在管路上，標(biāo)明氣體名稱流向l 開/關(guān)顯示除了球閥外，所有的閥都要有開/關(guān)的標(biāo)示。 “a” “a” 通常在配管分岐點(diǎn)實(shí)施熔接很多，茲以下圖表示之。配管切割使用Tube Cutter (Pipe Cutter)工具RIDGID ，配管開始切割時，必須前后旋轉(zhuǎn)3~4次半周，使配管軸部方向不致造成直角，溝才開始進(jìn)行。最后用銑面Cutter將突屑、粉屑清除。這個時候R彎曲尺寸在配管上做記號，而將此處置在Bender左側(cè)予以Set之。l 使用Argon Arc分岐部份，使用專用冶具，并使用Bord板開孔。，為保護(hù)配線，要使用附有漏電Breaker之插座。c、 熔接時氧化膜無法去除時要檢查Gas及輸氣管路。c、 Taper角度請參考下記圖面。b. Set直管接住熔接機(jī)頭用Vis調(diào)整。b. 使用Date表確認(rèn)Arc Gas Sealed Gas流量，并記入Data表。d. 為防止表面氧化用噴槍Ar Gas。 切割面有突起物。，再確認(rèn)熔接條件。c、 水洗后，用氮?dú)馇宄儆肐PA洗凈。清除用氮?dú)猓哂谐バ阅苤瓹eramic或Stainless Filter，并在8kg/cm2的氮?dú)鈮毫ο聦⒐軆?nèi)清除。* 第四部份為HE測試。 : 半導(dǎo)體于管線組裝成后,須做管路之外觀檢驗(yàn),其檢驗(yàn)項(xiàng)目為:l 所有管線是否依設(shè)計排列施工,并予標(biāo)示氣體種類。l 管線是否有凹陷、龜裂等不良缺陷。就必須進(jìn)行查漏步驟。 1). m過濾器過濾的氮?dú)饣驈S內(nèi)PN2系統(tǒng)做壓力測試。5). 記錄使用中的壓力表讀得有關(guān)數(shù)據(jù)。 最后壓力值= 測完壓力/測完溫度 *100~98% 始測壓力/始測溫度9).未接受試壓部份,如安全閥、控制閥、壓力計等,均應(yīng)接受氣密試驗(yàn)。c、 由所欲測特殊氣體以N2充壓該管路至一定壓力,并觀察五分鐘,視壓力計是否有下降現(xiàn)象。b、 本公司使用為BALZER HLT 1
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