ecvd工作工藝原理ppt課件-wenkub
2023-05-13 22:03:14 本頁面
【正文】 ECVD的作用 在太陽電池表面沉積深藍(lán)色減反膜 SiN膜。 其還具有卓越的抗氧 化和絕緣性能，同時(shí)具有良好的阻擋鈉離子、掩蔽金屬和水蒸汽 擴(kuò)散的能力；它的化學(xué)穩(wěn)定性也很好，除氫氟酸和熱磷酸能緩慢 腐蝕外，其它酸與它基本不起作用。 PECVD的作用 鈍化太陽電池的體內(nèi) 在 SiN減反射膜中存在大量的H，在燒結(jié)過程中會(huì)鈍化晶體內(nèi)部懸掛鍵。氨氣會(huì)嚴(yán)重灼傷眼、皮膚及呼吸道。暴露在氨氣中會(huì)對(duì)眼睛造成中度到重度的刺激。上呼吸道易受傷害并導(dǎo)致氣管炎。 皮膚接觸：用大量水沖洗，立即脫掉被污染的衣服，并立即進(jìn)行藥物處理。該氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色無定型二氧化硅煙霧。泄漏的硅烷如沒有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近，不要試圖在切斷氣源之前滅火。過度吸入硅烷會(huì)引起肺炎和腎病。 從泄漏區(qū)疏散所有人，切斷氣源，根據(jù)燃燒的物質(zhì)滅火。 泄漏的微波會(huì)損傷人體 致謝 謝謝各位！ 。 緊急救助 由于硅烷泄漏引起人員灼傷應(yīng)由受過培訓(xùn)的人員進(jìn)行 急救，并立即尋求醫(yī)療處理，眼睛接觸：應(yīng)立即用水沖洗至少 15分鐘，水流不要太快，同時(shí)翻開眼瞼，使受難者為“ O”形眼， 立即尋求眼科處理；吸入：將患者盡快移到空氣清新處，如有 必要由受過培訓(xùn)的人員進(jìn)行輸氧或人工呼吸。 安全 火災(zāi)撲救 切斷氣源滅火，用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物，不要 用鹵化物類滅火器。吸入高濃度的硅烷會(huì)引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。如果嚴(yán)重甚至?xí)旅?。由于受熱鋼瓶?nèi)壓力會(huì)升高，如果泄壓裝置功能失靈，會(huì)
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