化學品供應系統簡介-wenkub
2023-01-28 07:47:04 本頁面
【正文】 ? 一般無機酸堿類 – 外管： CPVC – 內管： PFA Piping amp。 Tubing – 管件：鐵弗龍材質制品 ? 有機溶劑類 – 外管： SUS 304 – 內管： SUS 316L EP – 管件： SUS 316L以上制品 ? 有機堿類 – 外管： SUS 304 – 內管： PFA Piping amp。Chemical Supply System 化學 品 供應系統簡介 課 程 大 綱 ? 系統之目的 ? 化學品之種類與用途 ? 系統之基本要求 ? 化學品供應質量要求 ? 系統之流程圖 ? CDU之流程圖 ? TEEBOX之構造 ? VMB之構造 ? SAMPLING BOX之構造 ? 系統設備之材料要求 ? 運轉操作注意事項 系統之目的 ? 供應高純度化學品以 清洗 芯片上之 雜質、微粒子 ? 供應高純度化學品以 蝕刻芯片圖案 ? 供應高純度化學品以 顯影芯片圖案 ? 供應高純度化學品以為 化學氣相沉積前置反應物 ? 供應高純度化學品以 研磨芯片 ? 供應高純度化學品以 清洗制程設備零配件 化學品之種類與用途 (一 ) ? 酸性 : – 腐蝕性 :H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4... – 毒性 :HF,HNO3,PolyMix,BOE... ? 堿性 :NH4OH,KOH,Developer... ? 有機溶劑 – 易燃液體 :IPA,Acetone,NBA,光阻液 ... – 腐蝕性有機溶劑 :EKC,EBR,HMDS... ? 氧化性 :HNO3,H2O2... 化學品之種類與用途 (二 ) N O 名 稱 成 分 比 例 用 途 R EM A R K 1 光 阻去 除 劑 E KC 2 6 5 將 感 光 過 之 光 阻去 除 2 異 丙 醇 I P A 99 . 9 清 洗芯片 表 面 之 E KC 2 6 5 3 氫 氧 化 胺 N H 4 O H 2 8 3 0 去 除 P A R T I C A L N H 4 O H + H 2 O 2 + H 2 O ? 4 鹽酸 H C l 3 5 3 7 去 除 金 屬 離 子 H C l + H
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